Способ формирования периодической структуры

п 44468 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Соеэ Советскик Социалистических РеспубликГосударственный комитет Совета Министров СССР по делам изобретений(54) СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ПЕРИОДИЧЕСКОЙ СТРУКТУРЫ Изобретение относится к технологии изготовления оптических деталей из полимерных материалов и может быть применено при изготовлении обратных сеток-фильтров для инфракрасной области спектра.Известен способ формирования периодической структуры путем формования штрихов решетки-матрицы, нанесения в вакууме па нее разделительного слоя и отражающего покрытия с последующим формованием штрихов в слое полиэфирного клея холодного отвердевания, жестко связанного с подложкой копии, и отделением по разделительному слою копии от решетки-матрицы,Однако при таком способе формирования поверхность копии полностью покрывается отражающим слоем, что не дает возможности получать периодическую поверхность с чередованием отражающих и пропускающих элементов. Структура решетки-матрицы не позволяет использовать ее в качестве матрицы при формировании обратных сеток-фильтров для инфракрасной области спектра, Полиэфирный клей, как материал, из-за селетивности не пригоден для изготовления обратных сеток- фильтров.Для расширения области применения обратных сеток-фильтров и улучшения их спектральных характеристик по предлагаемому способу штрихи матрицы формуют треугольной симметричной формы в двух взаимно перпендикулярных направлениях и после нанесения защитного и разделительного покрытий наносят отражающее покрытие с двух испарптелей, расположенных с диаметрально противоположных сторон от матрицы под углома - сб- агс 1 д212 а+ с(2 а ч с)1 10 к поверхности матрицы, штрихи которой ориентируют под углом 45 по отношению к проекции направления нанесения покрытия на поверхность матрицы,где а и 6 - соответственно ширина штриха 1 б и расстояние между штрихами;с - соотношение между размерами пропускающих и отражающих элементов сетки, изменяющееся в пределах 0,25 - 0,33.После нанесения покрытий формуют перио дическую структуру сеток-фильтров горячимпрессованием полиэтиленовой пленки, расположенной между матрицей и стеклянной пластинкой.Полученная пленка с отформованной в ней 25 периодической структурой представляет собойготовый фильтр-сетку.На фиг. 1 изображена матрица, вид сверхи сечение по А - А; на фиг. 2 - схема ориен тации матрицы перед нанесением на нее отра жающего покрытия; на фиг. 3 - схема нанесения отражающего покрытия и образования периодической структуры на поверхности матрицы с чередованием пропускающих и отражающих элементов; на фиг. 4 - обратная сетка-фильтр, вид сверху и сечение по Б - Б.На фиг, 3 даны следующие обозначения: т - ширина отражающего элемента; п - ширина пропускающего элемента; 1 - расстояние между центрами соседних элементов по линии, параллельной направлению на испаритель; стрелками указано направление нанесения покрытия.Технологический процесс осуществляется следующим образом.Штрихи матрицы треугольной симметричной формы с общим углом близким к 90 (см. фиг, 1) формуют алмазным резцом в слое алюминия, нанесенного на полированную заготовку из стекла.формование штрихов производят на дели- тельной машине, причем штрихи наносят в двух взаимно перпендикулярных направлениях через равные промежутки, обеспечивающие соотношение между шириной а штриха и расстоянием о между штрихами в пределах 0,6 - 0,8 соответственно заданному соотношению между размерами пропускающих и отражающих элементов.Защитное покрытие ЯО и разделительный слой - маннит наносят на матрицу в вакууме последовательно в процессе одной откачки. Отражающее покрытие наносят одновременно с двух испарителей 1, и 1, расположенных с диаметрально противоположных сторон от матрицы под углом к к поверхности матрицы, При этом штрихи матрицы предварительно ориентируют под углом 45 по отношению к проекции направления нанесения покрытия в центре матрицы (см, фиг. 2). Отражающее покрытие может быть нанесено с одного испарителя, при этом матрицу после первого испарения поворачивают в оправе на 180 вокруг оси, перпендикулярной к центру поверхности матрицы.Отражающее покрытие наносят на участки элементов матрицы, не подвергающиеся экранировки со стороны соседних элементов (см. фиг, 3) и таким образом на поверхности матрицы образуется периодическая структура с 5 10 15 20 25 30 35 40 45 чередованием отражающих и пропускающих элементов. Соотношение между размерами образованной периодической структуры определяется размерами элементов исходной матрицы и углом а, под которым производят нанесение отражающего покрытия,Периодическую структуру сеток-фильтров формуют путем горячего прессования при 110 в 1 С в слое полиэтилена. Для этого полиэтиленовую пленку помещают на матрицу и сверху прижимают стеклянной пластинкой усилием 1 - 2 кг/см. По окончании формования обратную сетку-фильтр отделяют от матрицы и стеклянной пластинки. При этом отражающее покрытие по разделительному слою отделяется от матрицы и переходит на полиэтиленовую пленку, образуя на ее поверхности периодическую структуру обратной сетки (см. фиг. 4). Полученная обратная сетка используется в качестве фильтра для фильтрования излучения в инфракрасной области спектра.Предмет изобретенияСпособ формирования периодической структуры, преимущественно обратных сеток-фильтров для инфракрасной области спектра, путем формования штрихов матрицы треугольной симметричной формы, нанесения в вакууме защитного покрытия, разделительного слоя и отражающего покрытия с последующим формованием периодической структуры сетки и отделением сетки от матрицы, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью расширения области применения обратных сеток-фильтров и улучшения их спектральных характеристик, штрихи матрицы формуют в двух взаимно перпендикулярных направлениях и после нанесения защитного и разделительного покрытий наносят отражающее покрытие под углом к поверхности матрицы с двух испарителей, расположенных с противоположных сторон матрицы, штрихи которой ориентируют под углом 45 по отношению к проекции направления нанесения покрытия на поверхность матрицы, после чего формуют периодическую структуру обратных сеток- фильтров на полимерном материале горячим прессованием между матрицей и стеклянной пластинкой,444681 А-А г. иг. 3 Составитель Ю. Артемодактор Н. Суханова Техред Н, Ханеева рректор Л. Кот дписно Тираж комитета Совета ретений и открыт Раушская наб., д. аказ 2275/13 4/ ипография, пр. Сапуно Изд.1396 сударственного по делам изо Москва, Ж, 6791 инистрой