ZIP архив

Текст

О П И С А Н И Е 352479ИЗОБРЕТЕНИЯ Сова Советских Социалистических РеспубликК ПАТЕНТУ Зависимый от патентаМ. Кл. 6 01 Ь 9/02,Заявлено 17,1.1969 (,% 1303779/26-25 риоритет 18.1.1968,698.821,Комитет по делам изобретеиий и открытии при Совота Министров СССР.19 а опубликования описания Автор зобретени Ин ДжонстранецКент БоукерШтаты Америки)иная фирмаорпорейщнШтаты Америки) аявител ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕР ПОСТУПАТЕЛЬНОТО ПЕРЕМЕЩЕНИЯ ТЕЛА женного устроиства, постронтерферометра Майкельсона, 1 2 Изобретение относится к интерференционным устройствам для измерения линейных смещений и предназначено для использования в качестве отсчетного узла измерения перемещений объекта в прецизионных станках, дешифраторах аэрофотоснимков, установках контроля печатных плат, системах управления ит, п.Известные интерференционные устройства для измерения линейных перемещений, обладая высокой чувствительностью, реагируют не только на смещения отражательных поверхностей, но и на их развороты, что вносит погрешности в измерения и повышает требования к конструкции механизмов перемещения и устройства в целом.Особенностью предложенного устройства является использование расходящегося светового потока и точечной диафрагмы, пропускающей в приемной части на счетчик интерференционных полос лишь лучи, отраженные строго нормально к отражающим поверхностям. Это обеспечивает зависимость показаний устройства только от перемещений объекта вдоль оси измерения и полную их независимость от всех остальных его смещений и разворотов.Схема предлоенного на базе ипоказана на фиг. и Свет от лазера 1 фокусируется линзои 2 наточечное отверстие А в диафрагме 3, пройдя через которое, сферическим расходящимся пучком падает на полупрозрачную раздели тельную пластину 4 интерферометра. Частьсветового пучка 5, отраженная полупрозрачной пластиной 4, направляется системой зеркал б, 7 на плоскую отражающую поверхность 8 перемещающегося плато 9, к которо му крепится исследуемый объект 10. Пропущенная пластиной 4 часть светового пучка 11 системой зеркал 12, 13, 14 направляется на вторую плоскую отражающую поверхность 15 плато 9, параллельную поверхности 8. Отра женные поверхностями 8 и 15 световые пучки возвращаются каждый своим путем на пластину 4.Прошедшие в направлении диафрагмы 1 бчасти пучков интерферируют. Точечное отвер стие В в диафрагме 1 б пропускает на счетчикинтерференционных полос 17 только те из лучей, отраженных от поверхностей 8 и 15, которые падают и, следовательно, отражаются под прямым углом к этим поверхностям.25 Если поверхности 8 и 15 перпендикулярныоптической оси 18, то на счетчик полос. 17 попадут лучи, совпадающие с оптической осью. Если эти поверхности имеют с осью 18, например, угол а, то на счетчик попадут лучи 30 5 а и 11 а, составляющие угол а с оптическойосью, но также перпендикулярные поверхностям 8 и 15. Повороты плато 9 не изменяют разности хода между соответствующими лучами, принадлежащими пучкам б и 11. Таким образом, смещения интерференционных полос вызываются лишь перемещениями плато 9 вдоль оси 18,Отражающие поверхности плато 9 могут быть как наружными (фиг. 1), так и внутренними (фиг. 2),На неподвижной части устройства имеется перекрестие 19 (фиг. 1), с которым поочередно совмещаются, например, точки С и 0 объекта 10 для измерения расстояния между ними в направлении оси 18 путем подсчета количества интерференционных полос, прошедших при этом через отверстие В диафрагмы 1 б. Плоскость поляризации лазерного излучения развернута относительно плоскости оптических осей интерферометра. Зеркало 12 имеет металлическое покрытие, которое создает относительный сдвиг фаз поляризационных составляющих, параллельных и перпендикулярных плоскости оптических осей, В счетчике полос эти составляющие разделяются поляризационной призмой и служат для определения направления смещения интерференционных полос.В случае необходимости выполнения измерений на объекте вдоль двух координатных осей, плато 9 может иметь две пары взаимно перпендикулярных отражающих плоскостей, смещения которых измеряются с помощью двух интерференционных каналов, идентичных описанному. Оба интерференционных канала могут освещаться одним лазернымисточником света.Предмет изобретения1. Интерференционное устройство для измерения поступательного перемещения тела,содержащее интерферометр по схеме Майкельсона, концевыми зеркалами которогослужат две противоположные стороны пло 10 скопараллельной пластины, связанной собъектом измерения; источник когерентногополяризованного излучения и средства дляопределения величины и направления смещения интерференционной картины, в том чис 15 ле и средства сдвига фазы одной поляризационной компоненты в одной ветви интерферометра относительно другой, отличающеесятем, что, с целью устранения влияния на смещение интерференционных полос наклонов20 плоскопараллельной пластины, непосредственно перед полупрозрачной пластиной интерферометра установлен источник света ввиде светящейся точки, а в приемной частиустановлена диафрагма с круглым отвер 25 стием, оптически сопряженным со светящейся точкой,2. Устройство по п. 1, отличающееся тем,что, с целью определения поступательныхсмещений тела в двух взаимно перпендику 30 лярных плоскостях, две пары взаимно перпендикулярных поверхностей пластины, связанной с измеряемым телом, выполнены плоскопараллельным, отражающими световыелучи в два интерференционных канала.35 3. Устройство по п. 2, отличающееся тем,что в нем установлен источник света, общийдля обоих интерференционных каналов.Составитель Б. Адактор Т. Орловская Текрсд Л. Богданова Корректор В. Жолудевааказ 3349/19 Изд. М 1352 Тираж 406 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открьпий при Совете Мшьистров СССРМосква, Ж, Раушская наб., д. 4,5Типография, пр. Сапунов

Смотреть

Заявка

1303779

Иностранец Джон Кент Боукер, Соединенные Штаты Америки, Иностранна фирма Айтек Корпорейшн, Соединенные Штаты Америки

МПК / Метки

МПК: G01B 9/02

Метки: 352479

Опубликовано: 01.01.1972

Код ссылки

<a href="https://patents.su/3-352479-352479.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">352479</a>

Похожие патенты