Привод микроперемещений

ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ340796 Союз Саеетсних Социалистичесхих Республии.1970 ( 1399526/25-8 Заявл 15 Ь 15 02 с присоединением заявкириоритет Комитет па делам иаебретеиий и открмти. ф. Агашин,Аксенов, В, Н. Кузнецов и Львов витеа,тЯстЕ 11, Вт хт ОПЕРЕМЕЩЕНИЙ РИВОД и б, прав- татиИзобретение относится к области станкостроения и может применяться, например, для точного позиционирования узлов станков.Известен привод микроперемещений, выполненный в виде гидростатической опоры, на входе в противоположные карманы которой установлены регулируемые дроссели.В предлагаемом приводе, с целью увеличения рабочего диапазона перемещения привода при незначительном расходе жидкости, гидростатическая опора выполнена в виде упорного подшипника, на валу которого по обе стороны от подвижного диска установлены два разделительных диска,Кроме того, с целью, исключения перекосов разделительных дисковна,каждом из,них со стороны, обращенной к подвижному диску, вьеполнеяы три связанных между собой кармана.На фиг. 1 показан предлагаемый привод; па фиг. 2 - схема управляющего устройства привода; на фиг. 3 и 4 представлен вид на разделительный, диск, соответственно, со стороны неподвижного и подвижного дисков.Привод состоит из,гидростатического упорного 1 подшипника, имеющего вращающийся и перемещающийся в осевом направлении диск 1, два неподвижных диска 2 и 8, соединенных защитным цилиндром 4. В неподвижных дисках запрессованы втулки 5, выполняющие роль радиальных подшипников и уплотнении.Между вращающимся диском 1 и неподвижными дисками 2 и 8 на валу б установлены свободно разделительные диски 7 и 8, 5 В дисках 2 и 8 выполнены каналы ачерез которые подводится жидкость от у ляющего устройства к карманам гидрос ческой опоры.Управляющее устройство содержит элект ромагнит 9 с заслонкой 10, расположенноймежду двумя соплами П. Последние образуют с дросселями 12 постоянного сопротивления гидравлический мост, являющийся первым каскадом управления. Во втором каска де управления между двумя корпусами 18зажата мембрана 14, являющаяся заслонкой для двух сопл 15.На каждом из,подвижных дисков 7 и 8 состороны неподвижных дисков 2 и 8 выполнен 20 кольцевой карман 1 б и со стороны подвижного диска 1 - три связанных между собой кармана 17.Привод работает следующим образом.Прн отсутствии сигнала на электромагните 25 9 привод микроперемещений работает кзкобычный упорный подшипник. Масло от насоса проходит через регулируемые дроссели, образованные соплами 15 и мембраной 14, и далее через каналы а и б попадает в кармаЗо ны 1 б.340796 15 3При,перекосе диска 7 или 8 зазор между промежуточным диском и неподвижным, предположим, для одной канавки увеличится, а между диском 1 и тем же промежуточным диском уменьшится, но увеличение зазора между неподвижным и промежуточным дисками вызывает увеличение расхода жидкости в соответствующий краман между вращающимся и промежуточным дисками, что ведет к восстановлению правильного положения промежуточного диска.При,подаче на электромагнит 9 управляющего сигнала заслонка 10 отклоняется в соответствующую сторону и нарушает равновесие,гидравлического моста, образованного сопротивлениями сопл 11 и дросселей 12. В камерах управления, образованных корпусами 18, мембраной 14 и наружной частьюсильфонов 18, появляется перепад давлений, под действием которого мембрана 14 изгибается и изменяет гидравлические сопротивления между мембраной 14 и соплами 15, Например, сопротивление правого зазора увеличивается, а левопо, соответственно, уменьшается. Тогда нарушается равновесие гидравлического моста, образованного сопротивлениями зазоров между мембраной 14,и соплами 15 и сопротивлениями зазоров гидростатического упорного подшипника по одну сторону вращающегося диска 1 и по другую. 4Под действием неуравновешенной силы подвижный диск 1 смещается вправо, пока равновесие моста вновь не восстановится. Поскольку уменьшение или увеличение зазора 5 между неподвижным и промежуточным дисками вызывает соответствующие изменения количества жидкости, подводимой в карман между подвижным и промежуточным дисками, то зазор между ними изменяется в том 10 же направлении, что и зазор между неподвижным и промежуточным дисками. Предмет изобретения1. Привод микроперемещений, выполненный 15 в виде гидростатической опоры, на входе впротивоположные карманы которой установлены регулируемые дроссели, связанные с управляющим устройством, отличающийся тем, что, с целью увеличения рабочего диапа зона перемещения привода при незначительном увеличении расхода жидкости, гидростатическая опора ,выполнена в виде упорного подшипника, на валу которого по обе стороны от подвижного диска установлены два 25 р азделительных диска.2. Привод по п, 1, отличающийся тем, что,с целью исключения перекосов разделительных дисков, на каждом из них со стороны, обращенной к подвижному диску, выполнены зо три связанных между собой кармана.340796 фиг. 5 фиг.9 Составитель М. СаковаТехред 3, Тараненко Редактор Т. Баранова Корерктор Е. Жаворонкова Типография, пр, Сапунова, 2 Заказ 1824/14 Изд.770 Тираж 448 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5