Библиотека iл1

ОП ИСАН ИЕИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт. сви 1 дательства-Заявлено 18.Х 11,1968 (1291494/26-25) Кл. 42(, 3/09 с 11 трисоединением заявки М -Комитет па делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРПриоритет -Опубликовано 06,Х.1970. Бюллетень31 МПК В 010 59/44УДК 621.384 (088,8) Дата опубликования описания 23,11.1971 1-. .1,11 ь",.,1 1 . 1-1 Д. ф Авторыизобретения В. Е, Скурат и Г. В. Карпов Институт химической физики АН СССРЗаявитель МАСС-СПЕКТРОМЕТРИЧЕСКИЙ СПОСОБ ОБНАРУЖЕНИЯ ТЕЧЕЙ В ВАКУУМНЫХ УСТАНОВКАХИзобретение относится к технике вакуумных испы папий. Оно может быть использо 1 вано в лабораторных и производственных условиях на предприятиях, выпуокающих вакуумную или герметическую аппаратуру.Известный способ обнаружения места течи помощью индискаторных жидкостей имеет большую инерционность, поскольку вакуумная откачка паров индикаторной жидкости из объема вакуумной установки и канала течи, в,котором индикаторное вещество может оста 1 ваться значительное время в жидком состоянии, занимает много времени.Целью изобретения является снижен че инерционности способа при повторных индикац:1 ях места течи.Предлагаемый способ отличается тем, что лрп повторных индикациях места течи после удаления первой жидкости с пробных мест в процессе вакуумной от 1 качки продолжают р- гистрировать интенсивность линии, масс-спектра этой жидкости, а на пробные места наносят другую жидкость, не содержащую в своем масс-спектре регистрируемой линии, Место течи обнаруживают при попадании на него второй жидкости по резкому опаду или увели 1 ению,интенсивности линии масе-спектр а первой жид 1 кости на кривой вакуумной откачки.В качестве второй жидкосги можно использовать, например, воды йодистого металла.С 1 тссоб 1 пояс 1 няется фиг, 1 1 и 2,Кривые вакуумной откачки при вытесненииодной жидкости другой имеют различный вид 5 в зависимости от момента времени, в которыйнаносится вторая жидкость. Если при нанесе:ии второй жидкости в канале течи еще содеркится первая жидкость, то на кривой ее вакуумной откачки обнаруживается характер ный выброс (см. фиг. 1), Если же каналтечи не перекрыт первой жидкостью, но она осталась в виде сорбированного слоя на стенках канала, то в результате закрытия этого слоя второй жидкостью на кривой от качки первой жидкости наблюдается резкийспад, (см, фиг. 2). В одном случае (см. фиг. 1) первой жидкостью являлся ксилол (регистрировалась ли ния с маосой 91); в другом случае - (см.фиг. 2) метанол; в качестве вытесняющей и;идкости применялся нонан, Величины на оси д даны в логарифмическом масштабе. Измерения производились на масс-спектрометре 25 МХс капиллярным натекателем, потоквоздух а через который составлял 3.10 6 лотт ксей,В соответст 1 вии с пре 1 длагаемым апоеобом тс 30 чи оо 1 аружива 1 от следующим образом.283669 Ю Я 7,ф 2 д 150 дре чд, сю Фиг. У На прооные места испытуемой вакуумной установки, соединенной с масс-спектрометром, наносят первую жидкость. При этом непрерывно регистрируют одну из наиболее интенсивных линий масс-спектра этой жидкости. Течь обнаруживается по увеличению интенсивности линии масс-спектра.Для повторной индицсации течами и унинения ее места, первую жидкость удаляют и на пробные места начинают наносить вторую жидкость, линии масс-спектра которой не накладываются на регистрируемые липин, следя при этом за интенсивностью линии масс-спектра первой жидкости. На кривой вакуумной откачки первой жидкости при попадании второй жидкости на место течи появляется выброс или спад, что служит сигналом обнаружения места течи. Предмет изобретения Масс-,спектрометричеокий способ обнаружния течей в вакуумных установках, при юто ром на пробные места наносят индикаторнуюкидюсть и производят регистрацию интенсивности линии масс-спектра этой жидкости, а при повторных индикациях места течи наносят вторую индикаторную жидкость, отличаю сиийсл тем, что, с целью снижения,инерционности способа при повторных индикациях м:- ста течами, при нанесении второй жидкости цроизводят непрерывную регистрацию интенсивности линии масс-спектра первой жидкости, а 15 место течи обнаруживают при попадании нанего второй жидкосги по резкому спаду или увеличению интенсивности линии первой жидкости..283669 Составитель Н. В. Алимов говская Текред А, А. Камышникова Корректор Л, А. Царькова еда втор;Т одпцснэ: Миещст,роз СС,Ооластная типография Костромского,управления по печати Заказ 7948 Тираж 480 ЫгПИПИ Комитета по делам изобретений и отк Москва, 7 К, Раушская