Устройство для совмещения подложек микросхем

Союз Советскив Социалистицеских Республик(51) М. Кл 00 рисоединение осударственный номнтетСовета Министров СССРпо делам нзооретеннйм открытий(71) Заявител основанием всего устройства, столик совмещения 2, узел экспонирования 3, пульт управления 4, вакуумный насос 5 с системой трубопроводов 6. Столиковмешения предназначен для точного совмещения изображения фотошаблона 7 с изображением на подложке 8. В цилиндре 9 помещается плунжер 10, в верхней части которого помещена полусфера 11 с вакуумным обратным клапаном 12 для постоянного прижатия подложки 8 к полусфере при прекраще.нии вакуумной откачки. Плунжер, посаженный ца регулирующую гайку 13, при подьеме зажимается мембранным вакуумным фиксатором 14. Держатель шаблона 15 закреплен раздельно с осветителем 16.Микроскоп 17 имеет самостоятельное горизонтальное перемещение. Для пер ния подложки из бункера на место рования служит пневматический18. Пневмоклапаны 19 и 20 и ро ры 21, 22 осуществляют рабочий цикл установки. Винты 23 служат для выставления шаблона относительно подложки. Две рб;плоские пружины 24 под действием штырей рп производстых плат, маемешеэкспонизахваттамет 0 ОЛ ИСАНИЕИЗ 0 ЬЕЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 0.72 (21) 1836647/26 заявки54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ СОВМЕЩЕНИЯ ПОДЛОМИКРОСХЕМ Изобретение отнссится к радиотехнике и может быть использовано пве интегральных схем, печати :сок и электронных фильтров.Известны устройства для совмещения и экспонирования, преимущественно при изготовлении интегральных микросхем, содержащие основание, пульт управления, осветитель и узел совмещения, состоящий из механизмов фиксации и перемещения с цилиндром, плунжером и полусферой.Однако известные устройства не обеспе,чивают достаточной точности совмещения подложек,Целью изобретения является повышение точности совмещения подложек.Для этого цилиндр жестко закреплен на основании установки, а полусфера снабжена вакуумным обратным клапаном и закреплена в верхней сферической части плунжера.Изобретение пояснено чертежами.На фиг. 1 приведена схема устройства; на фиг, 2 - конструкция узла совмещения.Устройство для совмещения подложек микросхем содержит стол 1, являющийся1,лы325, 26 ориентируют подложку по штифтал27 (см. фиг. 2).,Устройство работает следующим образом,Подложку 8 с нанесенным светочувствительным споем укладывают на полусферу 11 пневматическим захватом 18. Привключении пневмоклапанов 19, 20 достигаются прижим шаблона и образование вакуума в пространстве около полусферы 11.Переключением пневмоклапана. 20 на атмосфвру через ротаметр 21 осуществляется подъем плунжера 10 с полусферой11 и подложкой 8 до упора к фотошаблону 7, При этом под действием пружины24 и штырей 25, 26 происходит ориен,тация подложки 8 по штифтам 27. Пере,ключением пневмоклапана 20 на вакуумпроизводится фиксация плунжера 10 мем- .бранным вакуумным фиксатором 14, откачка через обратный вакуумный клапан,12 и прижим подложки 8 к полусфере 11,.Переключением пневмоклапана 19 на сжатый воздух из выхлопа вакуумного насосачерез ротаметр 22 осуществляется подьем шаблона 7 от подложки 8 на определенный зазор. Винтами 23, наблюдая в микроскон 17, производят совмещение, При,жим фотошаблона 7 к подложке 8 осуще ствляют переключением пневмоклапана;19 на вакуум, затем включают осветитель 16 и производят экспонирование,5Так как ориентация подложки 8 постоян,на, на последующих подложках фиксация,зажим и экспонирование подложек происходят автоматически за счет определенногоколичества воздуха, проходящего через10 ротаметры 21, 22,Предмет изобретения15 Устройство для совмещения подложекмикросхем, преимущественно при изготовлении интегральных микросхем, содержащее основание, пульт управления, осветитель и узел совмещения, состоюций измеханизмов фиксации и перемещения с цилиндром, плунжером и полусферой, о тл и ч а ю ш е е с я тем, что, с цельюповышения точности совмещения, цилиндржестко закреплен на основании установки,ф а полусфера снабжена вакуумным обратньиклапаном и закреплена в верхней сферической части плунжера, 451220г зд. Мказ 1 иражитета Совета Министний н открытийаушская наб 4 дпис 1 ИИП 11 Государственного ко по делам изобре Москва, 113035, ССС 1 редприятие Патент, Москва, Г 59, Бережковская иаб Составитель АфТУПЯкОВРедак пор А,Зиньковский Техред И.Кардцйцщ Корректор