Вибрационный доводочный станок

(19)и ) В 37/О РЕТЕНИ СВИДЕТЕЛ ЬСТ РСКО К ковых пластин. С электромагнитные в щают соосным дов новленным на антифазные круговь антифазно колеблю креплены два кольц лен жесткий об одновременных" ко водными кольцами ругие элементы. 4 и Сахноство СССР/04, 1987. ДОВОДО ЧНЫЙ ритирки тонких и р полупроводни 3 ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОВЕДОМСТВО СССР(57) Использование: дляхрупких деталей, наприм Изобретение относится. к станкостроению и может быть использовано в электронном машиностроении для 2-сторонней обработки полупроводниковых пластин- подложек.Цель изобретения - повышение качества обработки.На фиг,1 изображен вибрационный доводочный станок, общий вид. на фиг.2 - разрез А-А на фиг,1; фиг.3 и фиг. 4 - схема усилий, действующих в точках контакта колец с кожухом,Вибрационный доводочный станок содержит соосно расположенные верхний 1 нижний 2 доводочные диски, установленные на соответствующих упругих системах из вертикальных цилиндрических стержней 3 и 4, верхние концы которых жестко связаны с фланцами 5 и 6, а нижние закреплены в общем основании 7,В нижней части упругих систем, граничной с основанием, на цилиндрических стержнях 3 и 4 жестко закреплены фланцы 8 и 9 с установленными на них элементами вибровозбудителей круговых колебаний - якорями и электромагнитами, выполненными из одинаковых магнитопроводов 10 и катуущность изобретения: ибровозбудители соободочным дискам, уста- упругих стержнях; е колебания, Йа обоих щихся дискахсоосно заа, а на водиле установод с возможностью тактов с обоими причерез фрикционные уп- л,шек с обмотками 11. Нижний доводочный . диск крепится непосредственно к фланцу 6,а верхний соединен с фланцем 5 посредст-.вом труб 12 и плоской фасонной пружины 13, Периферийная часть пружины 13 жестко прйкреплена к диску, а центральная - к конической втулке 14, присоединенной к трубе 12 посредством цанги 15 с зажимной гайкой 16.На обеих антифазно колеблющихсямассах соосно закреплены два кольца: кольцо 18, закрепленное на доводочном диске 2, и кольцо 19, прикрепленное к фланцу 5 по. средством кронштейнов 20. Кольца 18 и 19,снабженные ободами из фрикционного упругого материала охватывает кольцевой кожух 21, к которому прикреплено водило 22 с отверстиями для обрабатываемых деталей, Кожух 21 размещен с возможностью взаи-модействия с каждым из колец 18 и 19 в диаметрально расположенных точках через фрикционные упругие ободы 23.Вибрационный доводочный станок работает следующим образом. На нижний доводочный диск 2 при снятом верхнемдиске, 1 устанавливается водило 22 с жестким кольцевым кожухом 21. В водиле размещают подлежащие обработке детали - пластины, На центральную трубу 12 надеваот верхний доводочный диск 1 и закрепляют на трубе посредством цангового зажима 16. Обработка Ведется алзмано-абразивной пастой, наносимой на рабочие поверхности доводочных дискОВ.При включении электромагнитных вибровозбудителей 10 на фланцы 8 и 9 воздействуют силы, Возбуждающие круговые антифазные колебания доводочных дисков, при которых кольца 18 и 19 контактируют через фрикционный упругий обод 23 с рабочей поверхностью жесткого кольцевого кожуха 21 в диаметрально противоположных точках (фиг,3),Внутренний диаметр кожуха 21 ограничивае; возможность радиальных перемещений колец 18 и 19 В противоположные стороны, "а следовательно, возможность возрастания связанных с ними амплитуд колебаний дисков, Величина амплитуды возбуждающей силы вибровозбудителя;. М А Фр Еа величина амплитудь 1 колебаний Доводочных диСкОВМ- Г 0=ИИгде Р - сила трения; б - диаметр жесткого кожуха; й - сила нормального давления, Г - коэффициент грения.В следующую четверть периода силы нормального давления, как и силы трения, будут приложены к точкам жесткого кожуха,смещенным на 90 О, как показано на фиг,4, и образуот крутящий момент такой же величины и направления, как и в предыдущем случае,б Жесткий кольцевой кожух 21, ограничиВая воэможность возрастания амплитуд, стабилизирует колебания доводочных дисков, что обеспечивает повышение качества обработки на 10-150 а также, позволял"0 настраивать систему ближе к резонансу, снижает потребляемуо мощность и повышает КПД станка, Одновременно стабилизируется вращение водила и повышается в 2 раза крутящий момент по сравнению с15 величиной крутящего момента, имеющемся в конструкции по основному изобретенио. Формула изобретенияВибрационный доводочный станок, со 20 держащий закрепленные на упругих стержнях.два соосных доводочных диска;расположенные на стержнях вибровозбудители круговых колебаний и водило для обрабатываемой детали, о т л и ч а ю щ и и с я25 тем, что, с целью повышения качества обработки, станок снабжен двумя кольцами свнешними ободами из фрикционного упругого материала, установленными на соответствуОщих дисках, и охватывающим30 кольца и размещенным с ВозможностьюВзаимодействия с каждым иэ них в диаметрально расположенных точках кожухом,предназначенным для закрепления на водиле для обрабатываемой детали,ЗБ1812079 Составитель В. ПовидайлоТехред М,Моргентал Корректор С. Лиси дактор Заказ 1552 Тираж ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открыт113035, Уосква, Ж, Раушокая наб., 4 Япри ГКНТ СССР роизводственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул,Гагарина, 101