Способ сборки многозондовой головки

союз советскихсоциАлистических РЕСПУБЛИ 1/07ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ.ВЕДОМСТВО СССР(46) 23.04.93. Бюл. М 15 зондов на опорное кольцо, заливку их ком. (71) Научно-исследовательский институт паундом и отверждение компаунда, с поточной технологии. мощью точечных источников ИК излучения,(72) В,И.Башарин, В.А,Макаров, С.В.Кисе- .тепловые потоки которых направлены по. лев, И,В.Акифьев иААЛюбушкин осевой линии образующегося шва, перпен(56) Лвторское свидетельство СССР: дикулярно. горизонтальной плоскости, аЬ 1374940, кл. О 01 Я 1/06,: температура нагрева превышает рабочуюУстройство сборки контактных уст- температуру компаунда не менее, чем наройств ЭМ,1,2;245.005 ТО г. Минск, КБ30 С, причем зондовую головку вращают в(54) СПОСОБ СБОРКИ МНОГОЗОНДОВОЙ цикла отверждения,1 ил,ГОЛОВКИИзобретение относится к области контрольно-измерительной техники и можетбыть использовано в производстве контак- .тирующих устройств с фиксированными. зондовыми контактами (УКФ) для измерения нагретых. пластин с кристаллами интегральных схем,Цель изобретения - повышейие надежности и.термостойкости многозондовых головок,:Изобретение иллюстрируется чертежом, где показана схема устройства сборкимногозондовой головки (вид сбоку),На чертеже приняты следующие обозначения; 1 - зонд; 2 - корпус устройствасборки; 3 - шаблон ИС; 4 - опорное кольцо;5- несущее кольцо; 8- источник ИК-излучения; 7 - экран нагревательного элемента; 8- заливочный компаунд.Заявляемый способ многозондовой го.ловки иллюстрируется примерами его реализа ци и п р и сборке У КФ-Т, где Г-термостойкость, 150 - предельная температура эксплуатации,П р и м е р 1. Зонды.1, закрепленнйе вплоских держателях, устанавливают в корпусеустройства. сборки 2 так, чтобы загнутый конец зонда находился в глухомотверстйи шаблона ИС 3, сам зонд-надопорным кольцом 4 с зазором, обеспечивающим свободное протекание компаунда подостальные зонды.Глухие отверстия шаблона 3 наколоты вточном соответствии с топологией измеряемого кристалла ИС,После установки всех зондов на опорное кольцо, поверх них мягко опускаетсянесущее кольцо-плата 5, связанное тонкимслоем эпоксидного компаунда, напримерВК. После 2-х часовой сушки при комнатной температуре зонды оказываются скреп-,ленными затвердевшим слоем компаундамежду опорным и несущим кольцами.Окончательная заливка температуро- Изменение температуры отверждения,стойким компаундом типа УПпроизво- до 150 ОС при сохранении той же скоростидится после предварительного разогрева, .вращения приводиткпоявлениюзластичносвободной поверхности опорного кольца До сти шва при изгибе на угол 90, что недопу 60 ОС от точечных источников ИК излучения 5 стимо по условиям эксплуатации зондовыхв течение 2-х минут при вращении узла со головок,скоростью - 120 об/мин П р и м е р 2, Все операции проводят.какЭто приводит к равномерному растека- в примере 1, только компаунд отверждаютнию компаунда по поверхности опорного при температуре, превышающей оптималь- .кольца и смачиванию зондов. 10 ную длл данного компаунда.(180 С) на 20 Источники ИК-излучения б (кварцевые ЗО С 8 этом случае полученный шовлампы типа КГМ 10 в, 70 Вт) расположены становится слишком хрупким, подгорает и. таким образом, что световой и тепловой по- наблюдается недопустимый уход эондовыхтоки. направлены перпендикулярно гори- контактов, возможно, от более сильнойзонтальной плоскости по осевой линии 15 усадкикомпаунда,образующегося шва, причем расстояние отТаким образом; .опытным путем устанити накала. лампы до поверхности Заливкиновлена определенная зависимость темпе-;составляет 15 мм. ратур отверждения. компаундов для заливки,Экран 7 позволяет получить направлен-. зондов многозондовых головок, работаю-ный поток ИК-излучения, контролируемой 20 щихприповышенныхтемпературахпо световому пятну от лампы Б на повеРх-: Тога =Трав+ ВОС,ность заливки 8. где Тотв "температура отверждения, С;Следующийэтап 0 тверждениякомпаун-Трав-температураэксплуатаций;С,да производится с соблюдением следующе: Зта зависимость проверена для целогого режима: подьем температуры на 26 рядаклеевкампаундов:типаУП-Б.поверхности опорного кольца от 60 С до Использование предлагаемого изобре 100.С в течение ЗО минут при скорости вра- текил обеспечивает надежность идостовер.щения 10 обмин; отверждение компаунда ность результатов контроля микросхем напри температуре 180 С в течение 4 часов и пластинах при повышенных температурах,скорости вращения 120 об/мин; охлажде- ЗО чтовсаоЮ:очередь приводитк повышениюние образовавшегося шва путем ступенча процента выхода годных микросхем в кортого снижения температуры со 180 С до . пусахвпрацессетермоиспйтаний.ЗООС втечение.ЗО минут при 120 обУмин, Форяул а изоб р ет.в н и яСпособ сборки многозондовой головки,ГОтОВая ЗОНдОВая ГОЛОВКЕ СНИМавтСя С ЗБ ВКЛЮЧаащИй уСтаНОВКу ЗОНДОВ На ОПОРНОЕустройства сборки и передаетсядля распай- кольцо, йх фйксацию путем заливки компаки зондов на печатную плату, монтажа и ундоыиотверядениекомпаунда, о тл и ч араспайкинанесенныхзлементавнаповерх- ю щ и й о я тем; что,.с целью повйшенияности несущего кольца-платы. надежности й термостойкости многозондаКритерием термостойкости полученно вой. головки, отаерждение осуществляют с:;го шва является испытание имитатора зон- помощью точечных источников ИК-лучей,довой головки (без зондое) путем изгиба на тепловые и световые потоки .которых на-угол 90 в диапазоне температур от 20 С до правлены по осевой.линии образующегося,150 С, шва перпендикулярно; . горизонтальнойИзлом стекловидного шва должен быть 45 плоскости; причем: температура нагрева;хрупким, превышает рабочую температуру компаун,- Минимальная усадка 0,5-1,0 гаранти- да не менее,:чем на 30 С, а зондовую голо-рует сохранение исходного положейия зон- вку вращают в горизонтальной плоскости вдов после затвердевания шва, гечение всего цикла отверждения.Ф1810831 Корректор С;Шекм Редактор Г.Бел аказ 1443 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СС 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 415