Устройство для измерения линейных перемещений

СОВХОЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК ИЕ ИЗО ЕНИЯ КОМ ТЕЛ ЬСТ К АВ вид предласечение А-А оГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕВЕДОМСТВО СССР(22) 04 12.9046) 23,03.93. Бюл, М 1171) Специальное конструкторское бюро(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ЛИ.НЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано вотсчетных системах измерительных приборов, координатно-измерительных машин, прецизионных станков, Цельизобретения - повышение точности измерений. Поставленная цель достигаетсятем, что устройство для измерения линейных перемещений, содержащее корпус, закрепленные в нем измерительнуюдифракционную решетку и установленную вдоль нее коррекционную линейку,отсчетную головку с закрепленным в нейкоррекционным клиновидным элементом,установленную с возможностью перемещения вдоль измерительной решетки, установИзобретение относится к измерите ной технике и может быть использован отсчетных системах измерительных при ров, координатно-измерительных маш прецизионных станков. ленную в головке каретку, контактирующую с рабочей поверхностью измерительной решетки посредством подшипниковых опор, индикаторную дифракционную решетку, установленную на каретке с возможностью взаимодействия с измерительной решеткой, шарнирное соединение каретки с отсчетной головкой, имеет вторую опорную поверхность, выполненную сферической и закрепленную в цилиндрическом отверстии, ось которого совпадает с осью измерительной решетки, выполненном в отсчетной головке свозможностью продольного перемещения в нем. Соосно с этим подшипником в отсчетной головке жестко закреплен второй подпятник, имеющий цилиндрическую опорную поверхность; Коррекционный клиновидный элемент вставлен между этими подпятниками с образованием контакта с ними и установлен в цилиндрическом отверстии, выполненном в отсчетной головке, ось которого перпендикулярна оси измерительной решетки, с возможностью возвратно-поступательного перемещения в нем, На выступающей из отсчетной головки части клиновидного коррекционного элемента закреплен ползун с роликовыми опорами, постоянно поджатый к коррекционной линейке. 2 ил. Целью изобретения является повышение точности измерения,На фиг,1 изображен общийгаемого устройства; на фиг.2 -на фиг.1.Устройство для измерения линейных перемещений содержит корпус 1, закрепленные в нем измерительную дифракционнун) решетку 2 и установленную вдоль нее коррекционную линейку. 3, отсчетную головку 4 с коррекционным элементом 5, имеющим, например, клиновидную форму. Головка 4 установлена с воэможностью перемещения вдоль измерительной решетки 2. В отсчетной голове 4 установлена каретка 6, контактирующая с рабочей поверхностью измерительной решетки 2 посредством подшипниковых опор 7, 8 и 9. Устройство содержит индикаторную дифракционную решетку 10, закрепленную на каретке 6 с возможностью взаимодействия с измерительной решеткой 2. Устройство содержит узел коррекции 11 перемещения каретки 6. Причем узел коррекции 11 перемещения каретки 6 выполнен в виде соосно и последовательно установленных плоского подпятника 12, закрепленного на каретке 6, шарика 13, плунжера 14 с плоским торцем на конце, обращенным к шарику 13, и со сферическим торцем 15 на противоположном конце, установленного с возможностью ,осевого перемещения в отверстии 16, которое выполнено в головке 4 так, что его ось совпадает с осью инДикаторной решетки 10. При этом подпятник 12, шарик 13 и плунжер 14 выполнены из твердого материала, например лейкосапфира, и имеют оптически чисто обработанные поверхности.В головке 4 закреплен цилиндрический подпятник 17, ось которого перпендикулярна оси плунжера 14, выполненный также из твердого материала, например лейкосапфира.Коррекционный элемент выполнен в виде ползуна 18 с роликовыми опорами 19, установленными на коррекционной линейке 3 и подпружиненными к ней с помощью, например, цилиндрической пружины 20.На ползуне 18 закреплен элемент 5 с клиновидной рабочей поверхностью на свободном конце, размещенном между сферическим торчем 15 плунжера 14 и цилиндрическим подпятником 17 и контактирующим с ними, а оси симметрии этого элемента 5 и плунжера 14 взаимоперпендикулярны, 5 10 Головка 4 выполнена из прочного материала, имеющего большое сопротивление на изгиб и сжатие, например из стали или спекаемого аллюминиевого сплава САС. Корпус каретки 6 выполнен из легкого прочного сплава с высокой равномерной стабильностью. Коррекционный элемент 5 выполнен из лейкосапфира или другогО1твердосплавного материала. Формула изобретения Устройство для измерения линейныхперемещений, содержащее корпус, закреп ленные в нем измерительную дифракционную решетку и установленную вдоль нее коррекционную линейку, отсчетную головку с коррекционным элементом, установленную с возможностью перемещения вдоль 20 измерительной решетки, установленную вотсчетной головке каретку, контактирующую с рабочей поверхностью измерительной решетки посредством подшипниковых опор, индикаторную дифракционную ре щетку, закрепленную на каретке с воэмож.ностью взаимодействия с измерительной решеткой, и узел коррекции перемещения каретки, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности измерения, 30 узел коррекции перемещения каретки выполнен в виде соосно и последовательно установленных плоского подпятника, закрепленного на каретке, шарика, плунжера с плоским торцом на конце, обращенным к 35 шарику, и со сферическим торцом на противоположном конце, установленного с возможностью осевого перемещения в отверстии, которое выполнено в головке так, что его ось совпадает с осью индикатор ной решетки, и закрепленного в головке цилиндрического подпятника, ось которого перпендикулярна оси плунжера, коррекционный элемент выполнен в виде ползуна с роликовыми опорами, установленными .на коррекционной линейке и подпружиненными к ней, закрепленного на ползуне элемента с клиновидной рабочей поверхностью на свободном конце, размещенном между сферическим торцом плунжера и цилиндрическим подпятником и контактирующем с ними, а оси симметрии этого элемента и плунжера взаимно перпендикулярны.1803713Составитель М. Орловаедактор Е, Полионова Техред М. Моргентал Корректор Л.ф Заказ 1047 Тираж ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СС113035, Москва, Ж, Раушская наб 4/5Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, улХагарина, 101