Способ изготовления электретов на основе анодного оксида алюминия

СООЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК 7/(5)5 Н ЗОБРЕТ САНИ СВИДЕТЕЛЬСТ К АВТОР(71) Ижевский механический институт (72) А,И,Зудов, Л.А.Зудова и С,И.Наймушина(56) Зудова Л,А, Об электретном состоянии анодных окисных пленок. Известия Вузов. Физика, Томск, 1976, 7 с, Деп, в ВИНИТИ М 380,носитсна осн котор личных микроф и возду ленка ьным в м на ос Известен способ получе ных систем А-АОП А, включа окисление А в водном раствор лоты 1. Электреты, изготовленные собом, имеют нестабильное э чины электретной разности по что затрудняет практические использованием электретны АОП А. Целью предложенного сп ся повышение стабильности разности потенциалов исследуния электретющий анодное е борной кисданным споачение велиенциалов 4, разработки с х систем А)имеет значеволяет рета в. особа являе электретно емых систем ОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНЕДОМСТВО СССРОСПАТЕНТ СССР) Изобретение оттовления злектретовсида алюминия,использованы в разских устройствах:фильтрах для очистканодная оксидная ипо своим потенциалуступают электретадругой природы. я к технике изгоове анодного окые могут быть электрофизичеонах, датчиках, ха, Системы А - (АОП) алюминия озможностям не нове материалов 1780114 А 1(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕ ТОВ НА ОСНОВЕ АНОДНОГО ОКС АЛЮМИНИЯ(57) Использование: в различных электрофизических устройствах: микрофонах, датчиках, фильтрах для очистки воздуха, Сущность способа заключается в том, что алюминиевую пластину предварительно окисляют в 5%-ном водном растворе щавелевой кислоты в течение 30 мин, после чего процесс окисления продолжается в водном растворе борной кислоты, При этом осуществляется электризация получаемой пленки оксида алюминия, 1 ил. 1 табл,Сущность предложенного способа залючается в том, что А предварительно кисляют в водном растворе щавелевой кисоты, после чего процесс окисления продолжается в водном растворе борной кислоты,Сопоставительный анализ заявляемого ешения с прототипом показывает, что завляемый способ отличается от известного ем, что А предварительно окисляют в водом растворе щавелевой кислоты.Таким образом заявляемый способ сответствует критерию изобретения "новизИ Известны технические решения. в которых производят окисление А в растворе щавелевой кислоты (2),Однако величина электретной разностипотенциалов систем А-АОП А, полученныхокислением А в щавелевой кислоте,при комнатной температуре низкоение(2-3) В. Это обстоятельство не позиспользовать их в качестве электАнодный оксид алюминия, выращенный вщавелевой кислоте, широко используется в1780114 з / Оэонения, сутки )1010,95 Оэ 8 5 0,4 качестве изоляционных слоев и защитныхпокрытий,Заявленный способ позволяет получатьэлектреты с более стабильным значениемэлектретной разности потенциалов, 5Таким образом предложенный способизготовления электретов соответствует критерию "существенные отличия".На чертеже представлен график зависи-,мости коэффициента стабильности 10К=Оы/Оэ 0 электретной разности потенциалов от времени хранения образцов сПредложенный способ изготовленияэлектретов на основе анодного оксида алюминия реализован следующим образом. 15Образцы в виде прямоугольных пластинокплощадью =30 см вырубалисьизалюминиевой фольги марки А 99 и очищались сприменением водных растворов едкого натрия и азотной кислоты с последующей отмывкой в бидистиллированной воде, Послевысушивания пластин фильтровальной бумагой они окислялись при комнатной температуре в 5 -ном водном оастворещавелевой кислоты с добавкой борной кислоты 15 г/л) в течение 30 мин при плотноститока 10 мА см 2. По окончании процесса вщавелевокислом электролите окислениепродолжалось в водном растворе борнойкислоты 60 г/л) при температуре 70 С в 30смешанном режиме пои плотности тока 7мА см и напряжениях 450 и 600 В с общимвременем формирования 50 мин. По окончании окигления образцы высушивались навоздухе при комнатной температуре, после 35чего измерялась электретная разность потенциалов Оз методом виброэлектрода с компенсацией при комнатных условиях, Временная зависимость коэффициента К представлена на чертеже, где кривая 1 характеризует прототип, кривые 2 и 3 - образцы, сформированные по предлагаемому способу при напряжениях формирования оксида в борнокислом электролите 450 и 600 В соответственно, Коэффициент стабильности К электретной разности потенциалов системы А 1-АОП А представлен в таблице.Технико-экономические и реимущества заявляемого способа получения систем А- АОП А по сравнению с прототипом заключаются в возможности получения электретов, обладающих стабильным значением величины электретной разности потенциалов, представляющих практический интерес для разработки элементов электронной техники с использованием электретного эффекта,Формула изобретения Способ изготовления электретов на основе анодного оксида алюминия, включающий анодное окисление алюминиевой пластины в водном растворе борной кислоты с одновременной электризацией, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения стабильности электретной разности потенциалов, перед анодным окислением алюминиевой пластины в водном растворе борной кислоты осуществляют дополнительное анодное оисление алюминиевой пластины в 5;,-ном водном растворе щавелевой кислоты в течение 30 мин при плоскости тока 2-10 мА см,1780114 080Составитель А.Зудов Редактор Техред М.Моргентал Корректор С.Пека аказ 4438 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКН113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5изводственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул. Гагарина, 1