Многорядное соединение деталей

СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИРЕСПУБЛИК 501779961 1 М 3/02 1)5 ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕВЕДОМСТВО СССРГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(57) Использование тельные вакуумные и куумная система со насос 1, паромасля ловушку 4, масс-спек ру 8, вакуумные клап чики 11 и 12 и устрой или пневматического сосуд 5 ловушки 4. размещены в нижней суда 5 на различных в(21) 4914754/ (22) 27,02.91 (46) 07,12.92. (72) А.Л. Гусев (56) Авторское М 1244396, клТече искат порт 1983. контрольно-измеририборы. Сущность: вадержит механический йый насос 2, азотную трометрическую камеаны 3, 6 и 7, термодатство подачи теплового потока в криогенный Термодатчики 11 и 12 части криогенного соысотах, соответствую1779961 щих уровню предупреждения и критическому уровню. Чувствительные элементы термодатчиков 11 и 12 выполнены в виде оболочек 14, охватывающих постоянные магниты 15 и изготовленных из ферромагнитного материала с точкой Кюри, близкой к температуре кипения криогенной жидкости. Вблизи чувствительных элементов размещены магнитоуправляемые контакты - герконы 16, один из которых связан с регистрирующей, суммирующей и командной аппаратурой 17 - 19 воздействия на электроИзобретение относится к вакуумной технике, в частности к конструкциям средств испытаний изделий на герметичность,Известна вакуумная система течеискателя, содержащая механический насос с напускным клапаном, паромасляный насос, выход которого подключен при помощи магистрали с электромагнитным клапаном к входу механического насоса, и азотную ловушку с сосудом для хладагента, подклюценную через дроссельный клапан к входу паромасляного насоса, а при помощи байпасной магистрали с запорными вентилями и масс - спектрометрической камерой - к входу механического насоса. Кроме того, система содержит магистраль с запорным электромагнитным клапаном, подсоединенную к полости сосуда для хладагента и паромасляному насосу, а дроссельный клапан снабжен электромагнитным приводом с регулируемой частотой включения. Подключение системы к испытуемому иэделию осуществляется при помощи входной магистрали с контрольной гелиевой,течью. Изобретение позволяет уменьшить время останова течеискателя путем интенсификации охлаждения паромасляного насоса,Однако во время работы течеискателя при испарении криоагента понижается его уровень, и верхние части сосуда и вакуум - провода отогреваются. При этом происходит ухудшение защитных свойств ловушки и деконденсация с отогретых поверхностей ранее сконденсировавшихся паров, которые, попадая обратно в откачиваемый объем, загрязняют его и ухудшают вакуум, Кроме того, сильно загрязняются катод и магнитный вакуумный датчик, что приводит к существенным флюктуациям показаний 5 10 15 20 25 30 35 40 магнитный клапан 7, расположенный между масс - спектрометрической камерой 8 и азотной ловушкой 4, а также насистемы 20 и 22 электропитания катода 21 и магнитного вакуумного датчика 23. Кроме того, на дне сосуда 5 установлен дополнительный термодатчик 24, связанный с регистрирующей командной аппаратурой 19 воздействия на коммутационное устройство 25 подачи теплового или пневматического потока в криогенный сосуд. 1 с. и 2 з. и. ф., 1 ил,последнего и большим погрешностям измерений, Загрязнение раскаленной нити катода может привести к перегоранию катода, Все зто сильно снижает надежность в работе катода и магнитного вакуумного датчика, уменьшает время межрегламентного периода, снижает точность измерений, существенно повышает эксплуатационные и трудозатраты при работе с течеискателем.Известна форвакуумная криогенная ловушка, содержащая сосуд Дьюара и трубу для прохода откачиваемого газа, установ-. ленную по оси сосуда Дьюара. Наружная поверхность трубы покрыта слоем пористого теплопроводного материала, например спекаемым бронзовым порошком, В этом изобретении слой пористого материала увеличивает теплообменную поверхность трубы, а за счет капиллярности обеспечивает смачивание хладагентом всей трубы независимо от уровня хладагента в сосуде Дьюара, что повышает эффективность работы ловушки. Однако при испарении всего хладагента в сосуде Дьюара происходит резкое ухудшение защитных свойств ловушки, что негативно сказывается на функционировании приборов, размещенных в масс-спектрометрической камере течеискателя.Известна охлаждаемая сорбционная ловушка, содержащая корпус с помещенными в него кольцевым медным сосудом для жидкого хладагента с антимиграционным барьером и сорбирующими элементами, причем к нижней части кольцевого сосуда герметично прикреплен патрубок, покрытый слоем сорбента в катализато, например окисью титана, При отсутствии жидкого хладагента в кольцевом сосуде пары масла, мигрируя по стенкам ловушки, попадают на патрубок, покрытый слоем сорбента-ката5 10 15 20 лизатора, разлагаются на легкие фракции и откачиваются диффузионным насосом. Однако при испарении всего хладагента в сосуде Дьюара происходит резкое ухудшение защитных свойств ловушки, что отрицательно сказывается на функциональных и эксплуатационных характеристиках масс - спектрометрического течеискателя.Известно устройство для охлаждения элемента, расположенного в вакуумируемом обьеме, например для захалаживания ловушки диффузионного насоса, содержащее средство, установленное снаружи объема и теплоизолираванное вакуумируемым кожухом; эти средства соединены с охлэждаемым элементом так,чтобы от него можно было отводить тепло. Кроме того, оно содержит теплоотводящее соединение, образованное охлаждающим стержнем, составляющим одно целое с охлаждающим средством. Теплоотводящее соединение вводится в обьем через трубчатую, деталь, отходящую ат вакуул 1 ируемого кожуха, и соединяется с обьемом так, что вакуумный обьем, и кокух соединяется друг с другом. Трубчатая деталь снабжена вакуум - плотным фланцем, соединяющимся с подобным фланцем на вакуумируемам обьеме. Охлаждающий стержень выполнен в виде полого элемента, по которому течет хладагент. Охлаждающее средство выполнено в виде резервуара - хранилища для жидкого хладагента. Это техническое решение существенна снижает степень вероятности испарения всего хладагента в азотной ловушке, на все же не исключает полное опорожнение хладагента в сосуде Дьоара криогенной ловушки, и, как следствие, загрязнение приборов масс - спектрометрической камеры,Известна вакуумная ловушка, содержащая корпус и расположенный в нем хладопровод, на котором с возможность поворота установлены жалюзи, соединенныес приводом, причем последний выполнен в виде биметаллического элемента, снабженного подогревателем, Данное техническое решение позволяет автоматически регулировать проводимость ловушки в зависимости от величины вакуума в системе. Однако при полном опорожнении сосуда Дьюара криогенной ловушки не обеспечивается полная отсечка масс - спектрометрической камеры от десорбирующихся с поверхностей ловушки летучих загрязнений, что ведет к загрязнению и повреждению приборов масс - спектраметрической камеры.Известна система автоматического управления вакуумной установкой, содержа 25 30 35 40 45 50 55 щая входной и выходной управляемые венгили диффузионного насоса с нагревателем и размещенный на форвакуумном трубопроводе датчик давления, выполненный радио- метрическим и связанный с регистрирующей, сигнализирующей и командной аппаратурой воздействия на вентили, причем датчик давления установлен в зоне диффузионного насоса и снабжен обоймой с прорезями и приемниом инфракрасного излучения, связанным с командной аппаратурой воздействия нэ входной вентиль. Данное техническое решение позволяет проводить контроль работы установки по давлению, расходу охлаждающей воды и электропитанию по одному каналу, что в целом повышает надежность системы управления. Однако данное техническое решение не обеспечивает и не предполагает защиты вакуумируемого обьема, в частности масс - спектрометрической камеры, от загрязняющих поверхностей ловушки в случае полного испарения хладагента,Наиболее близким по технической сущности аналогом является вакуул 1 нэя система течеискателя, содержащая масс - спектрометрическую камеру, паромасляный насос, пластинчато-роторный насос, семь клапанов, калиброванную гелиевую течь, азотную ловушку, вакуумный датчик и термопарный манометрический преобразователь, В этой системе при испарении криоагента с понижением его уровня верхние части сосуда и вакуум - провода отогреваются. При этом происходит ухудшение защитных свойств азотной ловушки и деконденсация с атогретых поверхностей ранее скондснс,;ровавшихся паров, которые, попадая обратно в откачиваемый обьем, загрязняют приборы масс - спектрометрической камерь. В результате снижаются надежность в работе катода, магнитного вакуумного датчика, время мекрегламентного периода, то пасгь измерений, возрастают эксплуатационные затраты,Целью изобретения является повыше - ние надежности в работе катода лагнитного вакуумного датчика масс-спектраметрической камеры, увеличение времени л 1 ежреглалентного периода и точности измерений, Кроме того, целью изобретения также является повышение достоверност";:;онтроля асупки азотной лавушки после сканчания работы и его автоматизации, а 1 ак.:е снижение затрат и экономия ресурса огка ной системы при вакуул 1 ной осушке азотной ловушки. Поставленная цель достигается тем, чтоизвестная вакуумная система течеискателя,