Устройство для измерения перемещений объектов и показателей преломления прозрачных сред

союз советскихСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 176896 О ГОСУДАРСТВЕННЬПО ИЗОбРЕТЕНИЯПРИ ГКНТ СССР КОМИТЕТИ ОТКРЫТИ ОБРЕТЕНИ АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛ ЬСТВУ(71) Малое государственное предприятиеНаучно-и роизводствен ный центр "СИ БИС"(56) Авторское свидетельство СССР К.1173177, кл, 6 01 В 11/00, 9/02, 1983,(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПЕРЕМЕЦЕНИЙ ОБЬЕКТОВ И ПОКАЗАТЕЛЕЙ ПРЕЛОМЛЕНИЯ ПРОЗРАЧНЫХ СРЕД(57) Изобретение относится к измерительной технике, и может использоваться дляизмерения физических величин, выражаемыхчерез длину, в т,ч, поецизионных измерений линейных и угловых перемещений,тепловых деформаций, изменений показателя преломления прозрачных сред и др,Целью изобретения является повышениеточности измерений, Сущность; коллимированный пучок света, проходя поляризационный расщепитель, делится на двапараллельно распространяющихся пучка.Поскольку расщепитель вь 1 полнен поляриПредлагаемое техническое решение относится к измерительной технике, а конкретно, к интерференционным измерителям, и может использоваться для измерения физических величин, выражаемых через длину, в т.ч, прецизионных измерений линейных и угловых перемещений, тепловых деформаций, изменений показателя преломленияпрозрачных сред и др,Известное устройство для измерения перемещения обаектов и показателей пре)5 8 01 В 11 02; 9 0 зационным, параллельные световые пучки после него ортогонально поляризованы, Один из этих пучков проходит через фазовый элемент и его поляризация становится аналогичной поляризации второго светового пучка. В измерительном плече лучи распространяются к отражателям и возвращенные лучи пространственно совмещаются на светоделителе с соответству/ ющими лучами света, возвращенными отражателем опорного плача, и интерфери руют, Образовавшиеся на выходе светоделителя две пары интерференционных полей регистрируются фотоприемниками, электрические сигналы от которых преобразуются в счетные импульсы, регистрируется перемещение одного из отражателей относительно другого, Синхронное перемещение отражателей измерительного плеча, перемещение отражателя опорного плеча или изменения показателя преломления воздуха в устройстве до отражателя измерительного плеча вызывают синхронное изменение интерференционных сигналов и не изменяют результата измерений. 1 ил. ломления прозрачных сред содержит лазер, расщепитель луча, светоделитель, два отражателя, образующие измерительное плечо, отражатель и модулятор, образующие опорное плечо, два фотоэлектрических преобразователя и соединенный с ними блок согласования,Однако в этом устройстве не удается выравнять интенсивности интерферирующих пучков в обоих измерительных каналах, а это приводит к низкому контрасту интер",В , , О НО 1 .":;С З,.О 1 с,. ЛО КК. Г ". "; ;:,: : 2" М:ЛЛИМИООВВННЫИ ПУЧОК СЗВ 8 ОТ ЛАЗО.РДПРОХОДЯ ПОЛЯРИЗДЦИ"ННУ, ОВ ВПИ; ВЛЬ 2, ДВЛИТСЯ НВ,д,ВВ.:ВЙВЛЛВЛ 5 НО ОСПЗОСтрЗНЯЯЦИХСЯ ПУЧКВО" КОЛ-К ПЗС ЩЕЛИТЕЛЬ 2 ВЫПО,НЕН ПОЛ,ВИЗЗЦИОННЫМ,ПВРВЛЛВЛВНЫВ СВВТОВЕ ПУКИ ПОСЛВ НВО ОПТО:"ОНВЛЬНО ЛЙРИЗОВВНЫ. 3 дИН ИЗ ЗТИОВ ООХОДИТ НВРВЗ фВЗОВЫ ЗЛО 40 НТ 33,РЯСРИ" " РлИ:; . (;,:.;,аз 383 О рственного комитета по изобр 113035, Москва, Ж, Рау / ОО зводственно-Рздательский комоинат " атент", Г, ужГОр;, ул. ЗГарина, 1 Ь б ,сганааливают на фиксированном расс;Оянии дрг От друга. Средэ, изменение показателя преломленля которой измеряетс я. 1 Омецается между зтими Отража 1 8/1 ямл. Изменения Оптического пути вследствие изменения показателя преломления будут Гэиводиь к пропооциОальному изменению ГИСЛа СЧЕТНЫХ лмпуЛЬСОВ В ЬЛОКЕ СОГЛаСОВа/.Яя измеоения по другому пути Один из о;рг:ателей измерительного плеча, преимуаес-"анно Отоака 1 ель 7, заменяют на ОГивски Ооьем с известной Оптической дллног 1,.пример, кварцевый столбик, и ПО- , - .;а,;/ - ,Гот оптический объем в исследуеСОр" у Таким Обр. м ,3-Оь:.тел," .- .:ле .-, 1 дин из лучей часть св. 8: а :, Ги,аспростр .чается в Оптической 1.,. -: .: П,:"-Н /7 ИЛИ 4 ЭМПЯЮ;ЙС=, О:,8 НОМ ".,ЯКОН/ О.,Г 1 ч-ГКОЙ ля 4 ЬОй а другой - такую же часть пути,равную двоинОЙ Длине ОптическОГО Объема) распространяется в исследуемой среде. Изменениепоказателя преломления последней вызы 5 вает изменение числа интерференционныхполос и фиксируется в виде счетных импульсов в блоке сопряжения,При использовании данного устройства; очность измерения линейных и угловых пе 0 ремещенлй возрастает в 1,5 раза.Формула изобретенияустройство для измерения перемещений объектов и показателеЙ преломленияпрозрачных сред по авт.св. М 1173177, о т"5 гичающееся тем, что, с цельюповышения точности измерения, он снабжен фазоаым эл 8 ментОм, установленным напути одного из лучей между свегоделителеми р:=;сщепителем, КООрый выполнен поляри 2/ ационным,