Фильтр

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 175589 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИПРИ ГКНТ СССР 1 0 46/5 51) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕ АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(56) Патент ФРГ йг 33113/00, 1983.Авторское свидете1282880, кл. В 01 О 46/54(57) Использование: к област ции газообразных и других микроэлектроники и други ность изобретения: выполн кольцевой проточкой обесп ность растекания газа по по ки, а выполнение встав гаэопроницаемой позволя равномерную подачу газа элементы, независимо от об фильтруемого газа. 1 з,п, фи микрофильтрасред в процессах х областях. Сущение вкладыша с ечивает воэможверхности вставки кольцевой и ет производить на фильтрующие ъемного расхода лы, 2 ил. кий институт ы шев, А.А. Арен, кл, 8010 ьство СССР Ь 1985. Изобретение относится к области мик- расположены основной и дополнительный рофильтрации гаэообразованных и других фильтрующие элементы. Во вкладыше пресред в процессах микроэлектроники, и так- дусмотрены входные и выходные каналы, же может быть использовано в других обла- Связанное с наличием каналов распредестях ление газового потока создает благоприятИзвестен фильтр,содержащий фланцы, ные условия для более равномерного его выполняющие роль корпуса, между которы- распределения. Однако скорость газа на поми заключен фильтрующий элемент, . верхности фильтрующих элементов остаетсяВ известной конструкции основная мас- переменной, Это объясняется неравномерноса газа поступает из входного отверстия в ., стью и различиемусловий подачи элементов, центральную часть фильтрующего элемен-" а также различием гидравлических сопротивта, что приводит к неравномерному распре- . лений основной и дополнительной ступени делению скорости газового потока по фильтрации.площади фильтрующего элемента и тем са- Все это приводит к снижению пропускмым снижает пропускную способность ной способности фильтра. При этом вклафильтра, эффективность фильтрации. ре- дыш имеет достаточно сложную форму, что сурс работы, а следовательно, технические приводит к усложнению всей конструкции характеристики фильтра. фильтра,Наиболее близким решением по техниче- Целью изобретения является повышескойсущности является фильтр, содержащий ние пропускной способности фильтра при боковые крышки с опорными выступами, сохраненииэффективностифильтрации. входнойивыходнойканалы,междубоковыми Эта цель достигается тем, что фильтр, крышкамиустановлен вкладыш в виде полого содержащий вкладыш с входным и выход- цилиндра с входной и выходной полостями, ным каналами для газа, боковые крышки с которыеразделены вертикальной перегород- опорными выступами и фильтрующие элекой, в полостях между опорными сетками менты, снабжен газопроницаемой вставкой, размещенной между фильтрующими элементами, вкладыш выполнен с кольцевой проточкой, соединенной с входным каналом, при этом вставка установлена под проточкой, а ее ширина превышает ширину проточки,Эта цель достигается также и тем, что вставка выполнена в виде кольца из пористого материала.На фиг. 1 йредстэвлен общий вид фильтра; на фиг, 2 - бЮение А-А нэ фиг. 1.фильтр содержит вкладыш 1 с входным 2 и выходным 3 кайалами, боковые крышки 4 и 5 с опорными выступами 6 и зазором 7. Между ними во вкладыше 1 выполнена кольцевая проточка 8, соединенная с входным каналом 2, Под проточкой 8 симметрично размещена газопроницэемая кольцевая вставка 9 между фильтрующими элементами из пористого материала 10 и 11 и выполнена в виде кольца.Фильтр работает следующим образом, Фильтрующий газ поступает через входной канал 2 вкладыша 1, затем в кольцевую проточку 8, из нее проходит через газопроницаемую кольцевую вставку 9, фильтрующие элементы 10 и 11, поступает в зазор между опорными выступами и затем в выходной канал 3 вкладыша 1,Снабжение газопроницаемой вставкой, размещенной между фильтрующими элементами, выполнение ее кольцевой и размещение под проточкой с шириной, превышающей ширину проточки, обеспечивает равномерную подачу газа нэ фильтрующие элементы, практически независимо от объемного расхода фильтруемого газа, а это повышает пропускную способность фильтра при сохранении эффективности фильтрации, . Выполнение во вкладыше кольцевой проточки, соединенной с входным каналом, обеспечивает возможность равномерного растекания газа по поверхности вставки, что 5 также повышает пропускную способностьфильтра при сохранении эффективности фильтрации,Выполнение газопроницаемой вставкииз пористого материала, например из пори стой нержавеющей стали, позволяет еще более увеличить равномерность распределения газовых потоков на фильтрующих элементах и, следовательно, повышает пропускную способность фильтра.15 Кроме этого, предлагаемая конструкцияфильтра обеспечивает повышение его срока службы за счет осуществления грубой фильтрации потока самой пористой вставкой, а также за счет более простого выполнения 20 вкладыша упрощена и сама конструкцияфильтра. Фсрмула изобретения1. Ф ильтр, содержащий вкладыш с вход 25 ным и выходным каналами для.газа, боковые крышки с опорными выступами ифильтрующие элементы, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью повышения пропускной способности фильтра при сохранении30 эффективности фильтрации, фильтр снабжен газопроницаемой вставкой, размещенной между фильтрующими элементами,вкладыш выполнен с кольцевой проточкой,соединенной с входным каналом, при этом35 вставка установлена под проточкой, а ееширина превышает ширину проточки;2. Фильтр по и, 1, о т л и ч а ю щ и й с ятем, что вставка выполнена в виде кольца изпористого материала,40Составитель Н.Ков Техред М.Моргент Тираж ПодписноеИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ ССС 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5