Способ изготовления хромового распыляемого катода

- мвз к ЮКМ. 3/24 р, а у 2 ", ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ.ПРИ ГКНТ СССР ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ЙгЛ,1,(71) Всесоюзный межотраслевой научнотехнический кооператив "Практика"(56) Установка ННВ.6-41. Эксплуатационная документация ИЕВГ 681311,00-Луч,1984,Композиционные хромовые катоды.Проспект НПО "Неорганика",(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ХРОМОВОГО РАСПЫЛЯЕМОГО КАТОДА(57) Использование: для нанесения покрытий в вакууме, в частности при изготовлениикатодов из порошкового хрома для электро, Изобретение относится к нанесению.покрытий в вакууме и может быть использовано при изготовлении катодов из порошкового хрома для электродуговыхраспылителей,Известии хромовые катоды; изготовленные методом порошковой металлургии ииспользуемыефв установках ННВ.Известны сборные хромовые катоды висполнениях Т и С, которые включают хромовую рабочую часть и присоединительнуючасть иэ титана или сплава. Присоединительная часть таких катодов изолирует систему охлаждения от рабочей части катода,что исключает просачивание воды в вакуумную камеру.Ближайшим к предлагаемому являетсяспособ изготовления хромового катода в исполнении Х,дуговых распылителей, Сущность изобретения; при изготовлении хромового распыляемого катода осуществляют выполнение " .водонепроницаемого теплопроводного участка на поверхности сопряжения катода с системой охлаждения путем гальванического осаждения на указанную поверхность слоя меди при изоляции необрабатываемой поверхности катода пленкой или лаком, при этом предварительно с обрабатываемой поверхности удаляют продукты коррозии травильно-защитным раствором при тем-.пературе 70 - 90 С в течение 5-10 мин, а после нанесения изоляции на необрабатываемйе проводят дополнительное травлейие обрабатываемой поверхности кислотой йри температуре 18-25 С в течение 0,5 - 1 мин,Такой катод выполнен полностью из хрома, а для изоляции его от охлаждающей жидкости на поверхности катода, сопрягаемой с системой охлаждения, устанавливают водонепроницаемый теплопроводный элемент, выполненный в виде точеной медной прокладки.Целью изобретения является повышение эффективности охлаждения катода.При изготовлении хромового рзспыляемого катода, включающето выполнение водонепроницаемого теплопроводного участка иа поверхности сопряжения гальваническим осаждением при изоляции необрабатываемой поверхности катода пленкой или лаком с последующим лужением слоя меди, предварительно с обрабатываемой поверхности удаляют продукты коррозии травильно-защитным раствором при темпе10 20 25 30 35 40 45 50 ратуре 79 - 90"С в течение 5-10 мин, а после нанесения на необрабатываемые поверхности изоляции проводят дополнительное травление обрабатываемой поверхностикислотой при температуре 18 - 25 С в течение 0,5 - 1 мин,Последовательное использование двух травлений обеспечивает предлагаемому способу новое свойство: такая последовательность действий позволяет разрешить противоречие, заключающееся в том, что травление при комнатной температуре не обеспечйвает удаления продуктов коррозии с поверхности хрома, Травление при высокой (70 - 90 С) температуре невозможно после нанесения изоляции, поверхность хрома вновь покрывается продуктами коррозии, Предлагаемая совокупность известных признаков обеспечивает получение сверхсуммарного эффекта - нанесение слоя меди на заданную поверхность хромового катода, что не может быть достигнуто известными способами.При осуществлении предлагаемого способа катод. вытачивают из хрома, полученного методом порошковой металлургии, как единое целое. Заготовку нагревают до 70-90 С и обрабатывают поверхность сопряжения с системой охлаждения травильно-защитным раствором, выдерживая при этой температуре в течение 5 - 0 мин в зависимости от состава раствора и степени поражения поверхности коррозией, После этого, охладив заготбвку до комнатной температуры, изолируют полиэтиленовой пленкой или лаком необрабатываемые поверхности заготовки, Гак как вследствие высокой активности ювенильной поверхности хрома за время выполнения изоляции необрабатываемой поверхности происходит коррозия обрабатываемой поверхности, ее подвергают вторичному травлению кислотой при комнатной температуре в течение 0,5 - 1 мин, после чего завешивают в гальваническую ванну в качестве катода и осаждают слой меди, После йзвлечения из гальванической ванны удаляют изоляцию с необрабатываемых поверхностей катода и осаждают слой меди. После извлечения из гальванической ванны удаляют изоляцию с необрабатываемых поверхностей катода, а поверхность, на которую осадили слой меди, лудят оловянно-свинцовым припоем. Необходимость лужения вызвана тем, что гальванически осажденная медь не закрывает поры заготовки, Они заливаются расплавом припоя.П р и и е р, Катод выточен из хрома, изготовленного методом порошковой металлургии, обезжирен в установке УЗУв растворе следующего состава, г/л: едкий натрий 20; тринатрийфосфат 30; сульфанол 1 в течение 10 мин. Затем катод нагревали на электроплите; во внутреннюю часть хвостовика катода заливали раствор следующего состава, г/л: хромовый ангидрид 200; ортофосфорная кислота 70, нагретый до температуры 90 С, Процесс травления длился 10 мин, Затем раствор сливали, катод и ромы вали холодной водой (и роточной) и сушили, Рабочая часть катода изолировалась полиэтиленовой пленкой, а на внешнюю часть хвостовика наносили изолирующий лак ХВА кистью. Затем во внутреннюю часть хвостовика заливали 10 о-ный раствор соляной кислоты при температуре 20 ОС и выдерживали в течение 1 мин, Через 1 мин раствор сливали, производили промывку в холодной проточной воде и катод заливали в ванну меднения с электролитом следующего состава; меди сульфат 200 - 250 г/л; кислота серная 50 - 70 г/л; спирт этиловый 10 мл/л, температура раство 2 ра 20 С, Катодная плотность тока 1 А/дм, Время осаждения 2 ч, После завершения процесса меднения катод извлекали из ванны, промывали в проточной воде, удаляли изоляцию, Затем для нанесения припоя катод нагревали на электроплите до температуры плавления припоя, во внутреннюю часть хвостовика заливали раствор ортофосфорной кислоты вместе со свинцово-оловяйным припоем. Припой покрывает внутреннюю часть хвостовика равномерным слоем, Использование предлагаемого способа позволит улучшить охлаждение катода так как нанесение покрытия надежно изолирует катод от охлаждающей жидкости и обеспечит активный отвод тепла,Формула изобретения Способ изготовления хромового распыляемого катода, включающий выполнение водонепроницаемого теплопроводного участка на поверхности сопряжения катода с системой охлаждения, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения эффективности охлаждения катода, водонепроницаемый теплопроводнцй участок выполняют путем нанесения слоя меди на поверхность сопряжения гальваническим осаждением при изоляции необрабатываемой поверхности катода пленкой или лаком с последующим лужением слоя меди, при этом предварительно с обрабатываемой поверхности удаляют продукты коррозии травильно-защитным раствором при.80-90 С в течение 10 мин, а после нанесения на необрабаты1748881 Составитель Е,ВасильеваТехред М.Моргентал Корректор Т.Палий Редактор О,Головач Заказ 2546 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственйого комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж. Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул.Гагарина, 101 ваемые поверхности изоляции проводят дополнительное травление обрабатываемой поверхности кислотой при 18-25 С в течение 0,5-1 мин,