Сканирующее устройство

, %47А.Петросян88.8)идетельство02 В 26/10идетельство02 В 26/10 и В.Г,Се СССР986.СССР983. РОЙСТВО ся к оптическому ности к устройстого луча, и может ерных сканирую- обретения - уве 3 ил ст ла ОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТРИ ГКНТ СССР САНИЕ ИЗО АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬ(54) СКАНИРУЮЩЕЕ УСТ (57) Изобретение относит приборостроению, в част вам для отклонения свето быть использовано в лаз щих микроскопах. Цель и Изобретение относится к оптическому приборостроению, в частности к устройствам для отклонения светового луча в проранстве, и может быть использовано в зерных сканирующих микроскопах.Цель изобретения - увеличение частоты сканирования, уменьшение колебательности устройства и исключение взаимного влияния по двум координатам.На фиг,1 изображено сканирующее устройство, общий вид; на фиг.2 - то же, вид сверху; на фиг.З - структурная схема устройства с усилителем.Сканирующее устройство содержит зеркало 1, заслонки 2 - 5, закрепленные на траверсе б, основание 7, которое через упругий стержень 8 жестко соединено с траверсой б, электромагниты 9-12 с управляющими обмотками, оптический датчик (ОД) 13, выполненный из четырех пар светодиод-фотодиод 14 и 15; 16 и 17; 18 и 19;20 и 21, установленных в держателях друг личение частоты сканирования, уменьшение колебательности устройства и исключение взаимного влияния по двум координатам. При подаче управляющего тока через усилитель на один из диаметрально расположенных электромагнитов 9 возникает момент, приложенный к траверсе 6, Под действием момента траверса с зеркалом поворачивается, Оптический датчик 13 преобразует угол поворота траверсы в фототок, который поступает на вход усилителя и сравнивает с током управления. Разностный ток, усиленный усилителем мощности усилителя, посредством управляющих обмоток воздействует на траверсу. против друга и перекрываемых заслонками 2 - 5. Для каждой координаты Х,У две противоположно расположенные пары светодиод-фотодиод представляют собой датчики 22 и 23 по одной координате, выходами которых являются общие точки дифференциально включенных фотодиодов 14,16 и 18,20. Каждый из выходов датчика по координате подключен к одному из концов переменных сопротивлений 24 и 25 и через другие сопротивления 26 и 27 - к входу усилителя сканирующих устройств 29 и ЗО, к которому через конденсаторы 28 и 31 подключены средние выводы переменных сопротивлений 24 и 25, другой конец которых заземлен, Каждый из усилителей сканирущего устройства содержит операционный усилитель (ОУ) и усилитель мощности (УМ), Выходы усилителей подключены к обмоткам управления электромагнитов 9-12.Устройство .работает следующим обра 1700520При отсутствии управляющего тока отсутствует ток в обмотках электромагнитов и зеркало 1 занимает нулевое положение, При подаче управляющего тока через усилитель устройства на один из диаметрально расположенных электромагнитов, например 9, возникает момент, приложенный к траверсе 6. Поддействием момента траверса 6 с зеркалом 1 поворачивается. Оптический датчик 13 (датчик по координате Х) преобразует угол поворота траверсы в фототок, который поступает на вход усилителя устройства 29 и сравнивается с током ,управления упр.1, Разностный ток, усиленный усилителем мощности (УМ) усилителя сканирующего устройства, посредством управляющих обмоток воздействует на траверсу,6, при этом в установившемся режиме разница между током управления и фототоком равняется величине тока в обмотке катушки, деленного на коэффициент усиления усилителя мощности по току, Наличие двух независимых систем поворота обеспечивает сканирование оптического луча в пространстве,Регулировкой глубины отрицательной обратной связи по первой производной (с помощью сопротивлений 24 и 25 изменяют степень демпфирования сканирующего устройства), колебательность подвижной частисводят к минимуму,Формула изобретенияСканирующее устройство, содержащее5 зеркало, закрепленное на траверсе, установленной на основании с помощью упругого стержня, привод зеркала, выполненный ввиде четырех электромагнитов с обмоткамиуправления, размещенными на основании,10 источник питания, о т л и ч а ю щ е е с я тем,что, с целью увеличения частоты сканирования, уменьшения колебательности устройства и исключения взаимного влияния подвум координатам, в него дополнительно15 введен оптический датчик, выполненный ввиде четырех пар светодиод-фотодиод с заслонками, размещенными между ними и закрепленными на траверсе, при этом датчикразмещен над траверсой, а пары фотодиодов20 каждой координаты соединены дифференциально и подключены к одному из концов нагрузочных переменных сопротивлений и квходу усилителя через другое сопротивление,выход усилителя соединен с первыми конца 25 ми обмоток управления электромагнитов,вторые концы которых подключены к источнику питания, а к входу усилителя такжеподключен средний вывод переменных нагрузочных сопротивлений,30