Зондовая головка

С 0103 СОВЕ ГСКИХСОЦИАЛИС ГИ 1 Е СКИХГЕСПУБЛИК(191 111 974 А 5 К 1/11,В 10 Я " САНИЕ ИЗОБРЕТ АВТОРСКОМ ЕТЕЛЬСТ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР(57) Изобретение относится к электронной технике и может найти применение в зондовых установках, используемых в производстве интегральных микросхем, Цель лизобретения - повышение надежности контактирования путем улучшения термостабилизации положения зонда в пространстве. При опускании зондовой головки в рабочее положение зонд 2 приводится в контакт с площадкой 9, Сила прижима определяется упругими свойствами материала зондодержателя и спиральными изгибами 5. которые придают жесткость конструкции, а также работают как пружины кручения. К консольным балкам 6 прикреплены упругие элементы 3, образующие с ними биметаллическое соединение. При повышении температуры биметаллическое соединение изгибается наружу и укорачивает основание трапеции. 2 ил.Изобретение относится к электронной техникс, в часности к конструкции элеменгов контрольного оборудования, и может найти применение при разработке измерительных зондовых установок, используемых в производстве интегральных микросхем и других полупэоаодниковых приборов на агапе их контроля,Цель изобретения - повышение надежности контактирования путем улучшения термостабилизации полокения зонда в простран "тве.На фиг. 1 изображена зондовая головка и ри нормальной температуре; на фиг, 2 - то ке, при работе в условиях повышенных температур,Зо,довая головка содеркит зондодержатель 1 и зо .д 2, соединенный с первым 3 и вторым 4 упругими элементами со спиралыым л изгибами 5, образующими трапецию. Спиральный изгиб 5 каждого упругого :,лемента прикреплен к зонду 2, Соединение каждого упругого элемента с зондодержателем 1 выполнено в вире консольной балки б, образованной прорезью 7 в зондодержателе,Зондадержатель 1 закреплен в корпусе К зондовой головки. Зонд 2 в рабочем положении приводи-ся г контакт с контактной площадкой 9 полупроводникового прибора О3 ондовая головка работает следующими образом,Гри опуса:ии зондовой головки в рабоче; положение зонд приводится в электоический контакт с площадкой 9, Сила прикима определяется упругими свойства" ми материала зондодержателя и спиральными изгибами 5, которые придаю" жесткость конструкции, а также работаю" как г.рукины кручения. Прорези 7 в плас и:е зондодержателя сделаны с целью созд;" ния слоя материала определенной толщины консольные балки б), к которому крепятся по всей его длине упругие элементы 3 и 4, образующие совместно с ним биметаллическое соеди; ение вследстьие различия в коэффициента; температурного расширения их материалов. При изменении температуры (повышенная температура, фиг, 2) биметаллическое соединение изгибается наружу и укорачивает основание трапеции (упругие 5 элементы 3 и 4),Такое биметаллическое соединениеобеспечивает зондовой головке высокие термомеханические эксплуатационные ха рактеристики, т,е, зонд всегда остается наконтактной площадке полупроводникового прибора.В случае контроля параметров интегральных или гибридных микросхем, или 15 других полупроводниковых устройств свысокой плотностью монтажа и контактных площадок данная конструкция позволяет расположить плотно, например, в ряд необходимое количество зондов в кор пусе зондовой головкиПлоская конструкция зондовой головкиувеличивает надежность визуального контроля настройки зонда. Высокие термомеха нические свойства зондовой головкиустраняют влияние температуры на точность настройки смещения зонда с контактной площадки прибора.30 Формула изобретенияЗондовая головка, содержащая зондодержатель и зонд, закрепленный на упругом элементе со спиральным изгибом, о т л и ч а ющ а я с я тем, что, с целью повышения надеж ности контактирования путем улучшения термостабилиэации положения зонда в пространстве, в нее дополнительно введен второй упругий элемент, образующий трапецию с первым упругим элементом, зондом и О зондодержателем, спиральный изгиб каждого упругого элемента прикреплен к зонду, а соединение каждого упругого элемента с эондодержателем выполнено в виде консольной балки, образованной про резью в эондодержателе, при этом упругийэлемент и зондодержатель выполнены из материалов с различными коэффициентами температурного расширения,, ул,Гагар Заказ 3935 ВНИИПИ Госу Тираж Подписноевенного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ ССС 113035, Москва, Ж, Раушская наб 4/5