Измеритель параметров ферритовых пленок

.,Ы 1686386 А 1 ОБРЕТЕНИ АНИ О ОРСКОМУ СВИДЕТЕЛ ЬСТВУ подключен делитель 3 мо дающие антенны МСВ, д тенны МСВ, соединенные мощности, Передающие и ны расположены паралле ортогонально входным и нительным проводникам, ны совместно с антен стороне подложки, а дели 14 мощности - на другой. печивается исключение буждения МСВ проводник и делителя 3, что снимае размеры исследуемых фе Разворот проводников на влияние электрических д на величины измеряемых ляет измерять толщину, насыщения. 3 ил,рина тво СССР /04, 1987.тво СССР 04, 1986, МЕТРОВ ФЕРР ся к технике измеваться для опредеитовых пленок на актеристик магни- В). Цель изобретеости измерений и лируемых парамететров ферритовой тор 1, к которому Ы 00/3 М ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР(54) ИЗМЕРИТЕЛЬ ПАРАТОВЫХ ПЛЕНОК(57) Изобретение относитрений и может использоления параметров ферроснове исследования хартостатических волн (МСния - повышение точнувеличение числа контроров. Измеритель парампленки содержит генера(53)5 6 01 В 27/04 щности, две переве приемные анс сумматором 14 приемные антенльно друг другу и выходным соедикоторые размещеными на одной тель 3 и сумматор За счет этого обеспаразитного возами сумматора 14 т ограничения на рритовых пленок, угол а исключает лин проводников частот, что позво- намагниченность5 10 15 20 25 ЗО 35 40 45 50 55 Изобретение относится к технике измерений и может использоваться для определения параметров ферритовых пленок на основе исследования характеристик магнитостатических волн (МСВ).Цель изобретения - повышение точности измерений и увеличение числа контролируемых параметров,На фиг,1 приведена конструкция измерителя параметров ферритовых пленок; на фиг,2 - вид А на фиг,1; на фиг,З - вид Б на фиг.2.Измеритель параметров ферритовых пленок содержит генератор 1, подсоединенный к входу 2 делителя 3 мощности в полосковом исполнении, размещенного на одной стороне 4 диэлектрической подложки 5, на второй стороне 6 которой расположен экран 7, две переда ощие антенны 8 МСВ в полосковом исполнении, подключенные к выходным плечам 9 делителя 3 через входные соединительные проводники 10, две приемные антенны 11 а МСВ, подключенные через выходные соединительные проводники 12 к входным плечам 1 3 сумматора 14 мощности, выход 15 которого подключен к индикатору 16.В экране 7 образована щель 1, в которой расположены передающие 8 и приемчые 11 антенны, которые вместе с экраном 7 образуют отрезки несимметричных компланарных линий.Передающие и приемные антенны 8 и 11 расположены параллельно друг другу и ортогонально входным и выходным соединительным проводникам 10 и 12, которые размещены на второй стороне 6 подложки 5 таким образом, что вместе с экраном 7 образуют отрезки компланарных линий, причем эти проводники 0 и 12 имеют равную длину, Подключение соединительных проводников 10 и 12 к соответствук)щим плечам 9 и 13 делителя 3 и сумматора 14 выполнено через металлизированные отверстия 18, образованные в подложке 5, На первой стороне 4 подложки 5 установлены вокруг сумматора 14 и делителя 3 экранирующие перегородки 19, Эти перегородки могут быть соединены между собой и представлять собой каркас, на который крепятся разъемы и подложка 5. Экран 7 может быть соединен с перего)одками 19 пуем металлизации торцов подложки 5 и подпайки перегородок 19 к торцам. Оси сумматора 14 и делителя 3 развернуты по отношению к осям соединительных проводников 10 и 12 на уголГа- агсщ , - =3 ГС 1 цдЬ 3 13 где А К - расстояние по шкале волновыхчисел между двумя соседними значениямипараметра затухания 2 Ь Нк; а - расстояниемежду соседними соединительными проводниками, При данном угле обеспечивается сдвиг между приемными антеннами 11,как и между передающими антеннами 8,Лравный . В результате разница длин.Кканалов МСВ составляет г= 2 . Ферритовая пленка не показана), параметры которой измеряются, накладывается на антенны8 и 11 либо непосредственно, либо черезтонкую прокладку из слюды, Магнитнаясистема (не показана), полюса которойрасполагают по торцам подложки 5, намагничивает ферритовую пленку вдоль антенн8 и 11,Измеритель работает следующим образом,СВЧ-сигнал, поступающий от свипируемого генератора 1, делится пополам делителем 3 и затем передается через входныесоединительные проводники 10 на передающие антенны 8 МСВ. В исследуемой ферритовой пленке с помощью антенн 8ьозбуждаются две поверхностные магнитные магн", остатические волны, имеющиеодинаковые амплитуды и фазы, которыераспространяются ортогонально к магнитному полю в направлении к приемным антеннам 11, Магнитостатические волныпреобразуются антеннами 11 в электромагнитные сигналы, Пути, проходимые МСВ,2 лотличаются на величину г , в резульЛКтате амплитуды и фазы МСВ и, соответственно, амплитуды и фазы электромагнитныхсигналов на входах сумматора 14 различаются. Результирующее колебание на выходе 15 сумматора 14 после детектированияотображается на индикаторе 16, По интерференционной характеристике при известной разнице длин каналов МСВ можноопределить параметры этих волн и, соответственно, параметры среды, в которой этиволны распространяются.Благодаря разнесению делителя 3 исумматора 14 и антенн 8 и 11 на разныестороны диэлектрической подложки 5уменьшена связь между ними, т.е, исключено паразитное возбуждение МСВ проводниками сумматора 14 и делителя 3. чтоснимает ограничения на размеры исследуемых ферритовых пленок, Поскольку разницадлин каналов МСВ обеспечивается не засчет разницы длин соединительных проводников 10 и 12, а эа счет разворота сумматора14 и делителя 3 на угол а, то исключаетсявлияние на величины измеряемых частот электрических длин проводников 10 и 12, что позволяет определять такие параметры пленки как толщину и намагниченность насыщения.Формула изобретения Измеритель параметров ферритовых пленок, содержащий генератор, к выходу которого подключено входное плечо делителя мощности, размещенного на одной стороне диэлектрической подложки, на другой стороне которой расположен экран, две передающие антенны, подключенные к выходным плечам делителя мощности через соответствующие входные соединительные полосковые проводники и расположенные параллельно друг другу и ортогонально входным соединительным проводникам, две приемные антенны, расположенные параллельно передающим антеннам и подключенные через соответствующие выходные соединительные проводники, ортогональные приемным антеннам, к входным плечам сумматора мощности, размещенного на первой стороне диэлектрической подложки, индикатор, вход которого подсоединен к выходному плечу сумматора мощности, и магнитную систему для намагничивания исследуемой ферритовой пленки, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения точности измерений и 5 увеличения числа контролируемых параметров, передающие и приемные антенны, и входные и выходные соединительные проводники расположены на другой стороне диэлектрической подложки, причем переда ющие и приемные антенны размещены вщели, выполненной в экране перпендикулярно входным и выходным соединительным проводникам, а входные и выходные соединительные проводники выполнены в 15 виде отрезков компланарных линий равнойдлины и подсоединены к соответствующим плечам сумматора и делителя через металлизированные отверстия, выполненные в диэлектрической подложке, при этом оси 20 делителя и сумматора мощности развернутыотносительно осей входных и выходных соединительных проводников на угол а= агсц г/2 а, где г - разность в расстояниях между приемными антеннами и передающими антеннами;25 а - расстояние между соседними соединительными проводниками.