Щелевая диафрагма для рентгеноструктурных исследований

Номер патента: 1672323

Авторы: Кадыржанов, Махмутов, Тулеушев, Югай, Якунин

ZIP архив

Текст

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИРЕСПУБЛИК Я 2 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕ Я ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИПРИ ГКНТ СССР АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 21) 4471853/25(71) Институт ядерной физики АН КазССР (72) К.К, Кадыржанов, Р,Х, Махмутов, Ю.Ж, Тулеушев. Н.Ф, Югай и В,С, Якунин (53) 621,386(088,8)(56) Авторское свидетельство СССР М 1213355, кл. 6 01 1 3/04, 1982.Авторское свидетельство СССР Мт 1277042, кл. С 02 В 5/18, 1985. (54) ЩЕЛЕВАЯ ДИАФРАГМА ДЛЯ РЕНТГЕНОСТРУКТУРНьХ ИССЛЕДОВАНИЙ 57) Изобретение относится к технической Изобретение относится к технической физике и может применяться при рентгеноструктурных исследованиях поликристаллических материалов,Цель изобретения - повышение точности рентгеноструктурных исследований поликристаллических материалов.На фиг, 1 показана щелевая диафрагма, вид в плане; на фиг. 2 - щелевая диафрагма, разрез.Щелевая диафрагма состоит иэ плоской пластины монокристаллического кремния 1, в которой имеется щель 2 с плоскопараллельными гранями, На передней и задней по отношению к падающему пучку 3 рентгеновского излучения поверхности кремниевой пластины напылены слои 4 и 5 металла с атомным номером 774, например свинца, а на них субмикронные слои 6 и 7 благородного металла например платины.Щелевая диафрагма для рентгеноструктурных исследований работает следующим образом. 3)5 С 01 М 23/20. С 21 К 1/ физике и может применяться при рентгеноструктурных исследованиях поликристаллических материалов. Цель изобретения - повышение точности рентгеноструктурных исследований поликристаллических материалов, Щелевая диафрагма формируется анизотропным травлением через маску пластины монокристаллического кремния и содержит напыленные покрытия из поглощающего рентгеновское излучение ме алла с обеих сторон. Для предотвращения коррозии этих покрытий на них наносят субмикронный слой благородного металла, 2 з.п. ф-лы, 2 ил. Плоскопараллельный пучок 3 рентгенвских лучей падает на сформированную плоскои пластине 1 иэ монокристаллического кремния щель 2. Идущий от источника рентгеновского излучения пучок 3 возбуждает в кремниевой пластине 1 флуоресцентное рентгеновское излучение, имеющее изотропное распределение. Поскольку площадь засветки рентгеновским пучком значительно превышает площадь сечения проходящего через щель рентгеновского излучения, то интегральная интенсивность флуоресцентного излучения в месте регистрации может быть сравнима с интенсивностью отдельных рефлексов от исследуемого образца, что делает их неразличимыми на рентгенограмме. Для предотвращения попадания первичного рентгеновского излучения в кремний служит слой 4 напыленного металла на той поверхности кремниевой пластины, куда входит рентгеновский пучок Э. Выбор металла для напыленного покрытия производится так, чтобы даже самое же 1672323сткое используемое в структуре анализа рентгеновское излучение не возбуждало в нем флуоресцентного свечения, т.е, металл должен быть тяжелее вольфрама. При толщине слоя металла (например свинца), равном 30 мкм, первичный пучок ослабляется на 997 ь. Но при использовании сверхмощных источников рентгеновского излучения, таких как, например, синхронное излучение накопителя ВЭПП/3 - интенсивность прошедшего в кремний остаточного излучения (составляющего 1 от интенсивности падающего пучка) сравнима по мощности с излучением такого источника излучений, как, например, трубка БСВ, Возникающее под действием прошедшего рентгеновского излучения флуоресцентное рентгеновское излучение способно вызвать значительную засветку регистрирующей рентгеновской пленки, что приводит к понижению контрастности линий и, тем самым, к снижению точности рентгеноструктурных исслЕдований поликристаллических материалов, Для предотвращения этого служит второй слой 5 напиленного металла, расположенный на выходной по отношению к падающему пучку 3 стороне кремниевой пластины 1, Этот слой поглощает 99 от непоглощенного в предыдущих слоях первичного рентгеновского излучения, а возникающее флуоресцентное рентгеновское иэлузчение с длиной волны Л = 7 А ослабляет в 10 - 10 раз. После прохождения описанной щелевой диафрагмы сколлимированный пучок рентгеновского излучения падает на исследуемый образец. Ширина и контрастность дифракционных линий зависит от расходимости пучкарентгеновских лучей которая связана с ши 5 риной щелевой диафрагмы, При эксплуатации щелевой диафрагмы в нормальныхатмосферных условиях напыленный слойметалла с большим атомным номером, в частности свинец, корродирует, что приводит10 к порче напыленного слоя и возрастаниюинтенсивности фонового излучения, Дляпредотвращения коррозии на слой свинцанапыляется слой благородного металла, например золота или платины, толщиной ме 15 нее 1 мкм.Формула изобретения1, Щелевая диафрагма для рентгеноструктурных исследований, содержащаякорпус в виде пластины иэ монокристалли 20 ческого кремния со щелью в ней, о т л и ч аю щ а я с я тем, что, с целью повышенияточности рентгеноструктурных исследований поликристаллических материалов,входная и выходная поверхности пластины25 выполнены с покрытием из рентгенопоглощающего металла с атомным номером Е 74,2. Диафрагма по п.1, о т л и ч а ю щ а яс я тем, что в качестве металла для покрытияиспользуют свинец,30 3, Диафрагма по пп,1 и 2, о т л и ч а ющ а я с я тем, что поверх покрытия из металла с большим атомным номером напыленосубмикронное покрытие из благородногометалла,351672323Составитель О.Алешка-Ожевский Редактор С,Патрушева Техред М.Моргентал Корректор О,Кипле Заказ 2834 Тираж 390 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101

Смотреть

Заявка

4471853, 01.08.1988

ИНСТИТУТ ЯДЕРНОЙ ФИЗИКИ АН КАЗССР

КАДЫРЖАНОВ КАЙРАТ КАМАЛОВИЧ, МАХМУТОВ РИМ ХАКИМОВИЧ, ТУЛЕУШЕВ ЮРИЙ ЖИАНШАХОВИЧ, ЮГАЙ НИКОЛАЙ ФИЛИППОВИЧ, ЯКУНИН ВАДИМ СЕРГЕЕВИЧ

МПК / Метки

МПК: G01N 23/20, G21K 1/04

Метки: диафрагма, исследований, рентгеноструктурных, щелевая

Опубликовано: 23.08.1991

Код ссылки

<a href="https://patents.su/3-1672323-shhelevaya-diafragma-dlya-rentgenostrukturnykh-issledovanijj.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Щелевая диафрагма для рентгеноструктурных исследований</a>

Похожие патенты