Мера для поверки увеличения и систем позиционирования микроскопов

Номер патента: 1663999

Авторы: Иноземцев, Куликов, Федорец

ZIP архив

Текст

1 В 11 Е ИЗОБРЕТЕНИ ИДЕТЕЛЬСТ аВТОРСКО 10.03.89 Иноземе 1 ег Зе 8 й пб р.402. 1489351, ЕЛИ ЧЕНИЯ ВАНИЯерительвки увеКомитет Российской Федерации по патентам и товарным знакам(56) З.Реазеп Р. ЗМ ЗпЬ - ЬИсгоаае(гоо 8 у: ргоЫевз, (есЬп 8 геззопйопз 1 п "ЗБМ" 1980, СИса 8 оАвторское свидетельство СССР Хкл, О 01 В 11/00, 1987,(54) МЕРА ДЛЯ ПОВЕРКИ УВИ СИСТБМ ПОЗИЦИОНИРОМИКРОСКОПОВ(57) Изобретение относитсяной технике, к мерам для к личения и систем позиционированич оптических и электронных микроскопов. Цель изобретения - повышение точности аттестации и проверки микроскопов путем точного определения периода металлических полос меры. Мера состоит из подложки, на которой сформирована система параллельных металлических полос с контактными площадками. В данной системе возбуждают поверхностную акустическую волну, определяют амплитудно - частотную характеристику меры (АЧХ), из данной АЧХ находят период Л параллельных металлических полос, 3 ил.1663999 Изобретение относится к измерительной технике, в частности к мерам для калибровки увеличения и систем позиционирования оптических и электронных микроскопов,Цель изобретения - повышение точности аттестации и поверки микроскопов путем точного определения периода металлических полос меры.На фиг. 1 представлена конструкция меры; на фиг, 2 приведена ее амплитудно-час тотная характеристика; на фиг, 3 дана структурная схема подключения меры,Мера представляет собой систему параллельных металлических полос 1, соединенных с шестью контактными площадками 15 2, 3, 4, причем средние полосы 1 соединены с верхней и нижней контактной площадкой 3.Остальные металлические полосы обаединены попарно и подсоединены соответственно к контактным площадкам 2 и 4. 20 Формула изобретения МЕРА ДЛЯ ПОВЕРКИ УВЕЛИЧЕНИЯ И СИСТЕМ ПОЗИЦИОНИРОВАНИЯ МИКРОСКОПОВ, содержащая пьезоэлектрическую подложку. на поверхности которой нанесен ряд параллельных металлических полос, и ри этом полосы, расположенные на периферийных участках, поочередно соединены с контактными площадками, образуя преобразователи возбуждения акустических волн и приема, отличающаяся тем, что, с35 Устройство работает следующим образом. Подсоединяют к контактным площадкам 2 генератор и возбуждают поверхностную акустическую волну, при этом контактные площадки 4 заземляют. При этом одновременно снимают амплитудно- частотную характеристику АЧХ) мерц (см. фиг. 2), показывающую взаимодействие ПАВ с решеткой из полос меры, находят из АЧХ верхнюю Ьв и нижнюю 1 н частоты режекции ПАВ и из выражения Л= Чв(1 в+ 1 н) определяют точный период полос Л где Ч 8 - скорость используемой ПАВ,В конкретно реализованной мере, где полное число полос равно 682, период параллельных полос составляет 10,022+ 0,003 мкм. целью повышения точности аттестации микроскопов путем точного определения периода металлических полос, мера снабжена двумя дополнительными контактными площадками, соединенными с центральным участком металлических полос, и преобразователи возбуждения и приема волн выполнены в виде попарно соединенных с контактными площадками металлических полос, при этом число полос, образующих преобразователи, не менее 20% от общего количества металлических полос.1663999 Ыустота оставитель С. Пржевскехред М.Моргентал ор Л. Пилипенк Редактор Г, Мозжечков исно Заказ 145 Гага ри роизводственно-издательский комбинат "Патент", г, Уж Тираж НПО "Поиск" Ро13035, Москва, Ж,атентааушская наб., 4/

Смотреть

Заявка

4660591/10, 10.03.1989

Куликов В. А, Федорец В. Н, Иноземцев С. А

МПК / Метки

МПК: G01B 11/00

Метки: мера, микроскопов, поверки, позиционирования, систем, увеличения

Опубликовано: 20.01.1996

Код ссылки

<a href="https://patents.su/3-1663999-mera-dlya-poverki-uvelicheniya-i-sistem-pozicionirovaniya-mikroskopov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Мера для поверки увеличения и систем позиционирования микроскопов</a>

Похожие патенты