Способ настройки режущего струнного инструмента

СОЮЗ СОВЕТСКИХю:ниищащаРЕСПУБЛИК ОЕ 01) А 1 Щ)з В 28 Р 1/06 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯН АВТОРСИОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГННТ СССР(54) СПОСОБ НАСТРОЙКИ РЕИЛ 1 ЕГО СТРУННОГО ИНСТРУМЕНТА(57) Изобретение относится к химическому мапыностроению и может быть использовано при обработке кристаллов,2Цель изобретения - повышение точности настройки. Настройка инструмента и контроль натяжения осуществляется путем установления на индикаторе 5 технологического устройства рабочего усилия пружин 8 толкателя 6, выбранного меньше критического усилия. Затем надавливают толкателем 6 с рабочим усилием на струны 3 и измеряют провис струн от первоначального положения натяжения струн, а после этого сравнивают этот провис с провисом, соответствующим критическому усилию разрыва. 3 ил.Изобретение относится к химическому машиностроению и может бытьиспользовано при обработке кристаллов.5Цель изобретения - повышение точ"нОсти настройки,Способ настройкирежущего струнногоинструме нта включает обмотку с на гяжением по лазам крепежных приспособленийструны с закреплением ее концов, конт- .роль усилия натяжения, При этом предварительно определяют критическоеусилие разрыва и упругости отдельныхтрун инструмента в плоскости резания 15утем измерения величины провисаструн при помощи индикатора, а контоль усилия напряжения осуществляютутем замера величины провиса струнсравнения величины провиса с велииной провиса, соответствующим кри 1 ивескому усилию разрыва,Са Фиг. 1 изображен струнный инструмент с контролирующим прибором:яа фиг. 2 - то же, разрез; на Фиг.3 - 25то же, вид сверху.Рабочий инструмент, используемыйспособе, конструктивно выполненв виде двух роликов 1, закрепленньгхВ кассете 2, с параллельно натянутыми на них струнами 3, Один из роликов 1 (с помощью регулировочногоинта) может относительно другого1 оступательно перемещаться, натягиваяСтруны. Во время работы таким рабощм инструментом струны с, намазанным на них абразивом в кассете перемещаются по плоскости объекта, выполненного в виде полупроводниковогокристалла, а объект - медленно вверхк струнам, обеспечивая глубину резки. Способ настройки рабочего инструмента осуществляется с помощью несложного прибора, конструкция которого со тоит из опоры 4, на которойзакреплена кассета 2 со струнами 3индикатора 5, содержащего толки ель6 со штоком 7 и пружиной 8, шкалу 9со стрелкой 10. Са штоке 7 имеетсяриска 11, фиксирующая критическоеусилие толкателя 6,Способ настройки рабочего инструмента, выполненного в виде параллельно натянутых струн 3, заключаетсяв следующем.На струну 3 или на ряд струннажимают толкателем 6 и Фиксируютее прогиб стрелкой 10 по индикатору 5.При равном силовом давлении, обеспечиваемом пружиной 8 и фиксируемом риской 11 на штоке 7 толкателя 6, отмечают и сравнивают отсчеты по шкале 9 индикатора 5 в разный период времени. Усилие пружины 8 подбирают исходя иэ критического усилия равным разрыву струны 3 и берут его чуть меньше, т.е. с таким усилием, чтобы при рабочих измерениях толкателем 6 индикатора 5 невозможно было порвать струну 3 и в то же время усилие должно быть достаточным для создания наибольшего усилия на струну. Следовательно, вначале устанавливают рабочее усилие на струну 3, Фиксируя ее в процессе измерения уровнем опускания индикатора, т.е, положением оправы индикатора относительно риски 11 на штоке 7 толкателя 6, и замечают стрелкой 10 начальный отсчет по шкале 9 индикатора 5. А затем при постоянном усилии давления на струну 3 (или струны 3), опуская оправу индикатора 5 до риски, берут отсчет.по шкале 9 индикатора 5 и сравнивают его с начальным отсчетом. При провисании струн 3 инструмента подтягивают один из роликов, добиваясь нулевого отсчетаоОбъект, который режут таким инструментом, был взят из полупроводникового кристалла, например из материала германий, размером 20 х 4 х х 0,15 ич, Струны 3 в кассете 2 были взяты диаметром 0,01-0,05 мм, число струн в кассете составляло 100-200. Точность резки кристалла составилаф по глубине резки по всей площади кристалла не более 0,002 мм, по ширине нарезки на квадраты 0,003- 0,004 мм, т.е. резка по взаимно перпендикулярным направлениям, оставляя недорезанную толщину кристалла в пределах 0,005-0,010 мм. Соблюдение такой точности резки необходимо для получения высококачественных параметров полупроводников. Ослабление струн вызывает неравную глубину резки кристалла по всей площади, непараллельность пазов в кристалле, неодинаковую их ширину, Повышение точности настройки предложенным способом увеличивается в 3-4 раза.Формула изобретенияСпособ настройки режущего струнного инструмента, включающий обмоткуСоставитель Г, АФиногеновТехред А.Кравчук Р Н Ревсиа М. Келемеш Ред 777 Тираж 392 ПодГосударственного комитета по изобретениям и открытия 113035, Москва, Ж, Раущская наб., д. 4/5 сн акат ГКНТ ССС ственно-издательский комбинат патент", г,ужгород, ул, Гагарина,10 Про 5 166286 с натяжением по пазам крепежных приспособлений струны с закреплением ее концов, контроль усилия натяжения, о т л и ч а ю щ и й с я тем чтоФ Ф 5 с целью повышения точности настройки, предварительно определяют критическое усилие разрыва и упругости отдель ных струн инструмента в плоскостирезания путем измерения провиса струнпри помощи индикатора, а контрольусилия натяжения осуществляют путемзамера провиса струн и сравнения этого провиса с провисом, соответствующим критическому усилию разрыва.