Устройство для измерения профиля отражающей поверхности

Номер патента: 1661571

Авторы: Белопухов, Волостников, Качалов, Кривко

ZIP архив

Текст

(5 й)5 С 01 В 21/О ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯПРИ ГКНТ СССР ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ изического инлостн иков,1987,54, М 6,(54) УСТРОЙ ФИЛЯ ОТРА (57) Изобре ной технике ние разре , света формиго излучения(71) Куйбышевский филиал Фститута им, П.Н.Лебедева(56) Тесппзсйез Меззеп,р. 243-252. СТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПРОЖАЮЩЕЙ ПОВЕРХНОСТИ ение относится к измерительЦель изобретения - повышешающей способности, Пучок руется источником 1 когерентно , проходит телескопическую си,.Ы 2 1661571 стему 2, светоделитель 3 и фокусируется объективом 4.на отражающую поверхность объекта 11, Отраженный пучок света проходит объектив 4, светоделитель 3, объектив 5 и фокусируется на дифракционную решетку 6 с линейно изменяющейся шириной штрихов. С фотоприемников 7, 8, установленных в ненулевых порядках дифракции, снимаются сигналы, разность которых находится блоком 9 нахождения разностного сигнала, При смещении отражающей поверхности объекта 11 от среднего положения происходит перераспределение интенсивностей потоков излучения в ненулевых порядках дифракции, что приводит к формированию на выходе блока 9 нахождения разностного сигнала сигнала соответствующего знака. 3 ил,Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано дляизмерения профиля отражающих поверхностей различных объектов, например колецподшипников.Цель изобретения - повышение разрешающей способности.На фиг,1 представлена функциональнаясхема устройства; на фиг. 2 показаны три.по ложения дифракционной решетки и распределение интенсивностей потока излученияв +1, О, - 1 порядках дифракции; на фиг.3показано изменение амплитуды сигнала,формируемого на выходе блока нахожденияразностного сигнала при смещении отражающей поверхности объекта.Устройство содержит оптически связанные источник 1 когерентного излучения, телескопическую систему 2, светоделитель 3,первый объектив 4, установленный в направлении прохождения через светоделитель 3 прямого пучка света, второй объектив5, установленный в направлении прошедшего через светоделитель 3 обратного пучкасвета, дифракционную решетку б с линейноизменяющейся шириной штрихов, установленную в фокальной плоскости второго объектива 5 перпендикулярно его оптическойоси, фотоприемники 7, 8, установленные взонах формирования ненулевых дифракционных максимумов одного порядка, блок Янахождения раэностного сигнала, входы которого подключены к фотоприемникам 7, 8,привод 10, Измеряется профиль отражающей поверхности объекта 11,Устройство работает следующим образом,Пучок когерентного излучения, формируемый источником 1, расширяется телескопической системой 2, проходит светоделитель 3, первый объектив 4 и фокусируется по отражающей поверхности объекта 11.Отраженный от отражающей поверхности объекта 11 пучок когерентного иэлучения проходит первый объектив 4, светоделитель 3, второй обьектив 5 и падает на дифракционную решетку б, на которойдифрагирует, С фотоприемников 7, 8 снима 5 ются сигналы, разность которых находитсяблоком 9,При нахождении отражающей поверхности объекта 11 в среднем положении дифракционнце максимумы формируются10 симметричными и разность сигналов, снимаемых с фотоприемников 7, 8, равна нулю,При смещении отражающей поверхностиобъекта 11 в том или ином направлении приего перемещении приводом 10 интенсив 15 ность потока излучения в одном из дифракционных максимумов возрастает, а вовтором убывает за счет дополнительных фазовых сдвигов дифрагирующего потока из,- лучения из-эа неодинаковой ширины20 штрихов дифракционной решетки б.Использование устройства позволяетповысить разрешающую способность определения профиля отражающей поверхностиобъекта.25 Формула изобретенияУстройство для измерения профиля отражающей пОверхнОсти, сОдержащее Оптически связанные источник когерентногоизлучения, телескопическую систему, свето 30 делитель, первый объектив, установленныйв направлении прохождения через светоделитель прямого пучка света, второй объектив, установленный в направлениипрошедшего через светоделитель ооратно 35 го пучка света, два фотоприемника, блокнахождения разностного сигнала, входы кОторогО подключены к фотоприемникам,.о тл и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения разрешающей способности, оно снаб 40 жено дифракционной решеткой с линейноизменяющейся шириной штрихов, установленной в фокальной плоскости второго объектива перпендикулярно его о, тическойоси, а фотоприемники установлены в зонах45 формирования ненулевцх дифракционнцхмаксимумов одного порядка,1661571 Составитель Т, Айсинедактор Т, Юрчикова Техред М,Моргентал Корректор Т.Палий изводственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул. Гагарина, 101 каз 2115 ВНИИП Тираж 383 Подписноесударственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СС 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5

Смотреть

Заявка

4619879, 14.12.1988

КУЙБЫШЕВСКИЙ ФИЛИАЛ ФИЗИЧЕСКОГО ИНСТИТУТА ИМ. П. Н. ЛЕБЕДЕВА

БЕЛОПУХОВ ВАЛЕНТИН НИКОЛАЕВИЧ, ВОЛОСТНИКОВ ВЛАДИМИР ГЕННАДЬЕВИЧ, КАЧАЛОВ ИГОРЬ ВИКТОРОВИЧ, КРИВКО ТАТЬЯНА ВЯЧЕСЛАВОВНА

МПК / Метки

МПК: G01B 21/00

Метки: отражающей, поверхности, профиля

Опубликовано: 07.07.1991

Код ссылки

<a href="https://patents.su/3-1661571-ustrojjstvo-dlya-izmereniya-profilya-otrazhayushhejj-poverkhnosti.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для измерения профиля отражающей поверхности</a>

Похожие патенты