Зондовое устройство

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕ ПУБЛИК Н 05 К 1/18, 1/1 ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН К АВТОРСК ВИДЕТЕЛЬС) Ву йГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР(56) Авторское свидетельство СССР(57) Изобретение относится к радиотехникеи может быть использовано при контролеэлектрических параметров печатных плат имикросхем, Цель изобретения - повышение Изобретение относится к радиотехнике и может быть использовано при контроле электрических параметров печатных плат и микросхем.Цель изобретения - повышение надежности контактирования,На чертеже показано эондовое устро ство, разрез,Зондовое устройство содержит закрепленный в корпусе 1 на опорной передвижной площадке 2 ультразвуковой пьезокерамический вибратор 3, выполненный из набора отдельных пьезокерамицеских дисков, стержневой контакт 4, установленный с возможностью вертикального перемещения в направляющих 5, толкатель 6, выполненный в форме клина призматического сечения, расположенный между наконечником 7 вибратора 3 и стержневым контактом 4, прижатым к клинообнадежности контактирования, После того, как зондовая головка устанавливается . требуемое положение сверху проверяемой печатной платы 15, приводится в действие электромагни 12, якорь 11 которого перемещаясь передвигает клинообразный толкатель 6, который нажимает стержневой контакт 4 вниз. Сила притяжения электромагнита 12, пружинная подвеска его якоря 11, а также угол наклона клинообразного элемента 6 таковы, что они гарантируют необходимый ход стержневого контакта 4 вниз до соприкосновения с контактной площадкой печатной платы 15 и создают определенное прижимное усилие, способное преодолеть изоляционное загрязнение, например оксидчую пленку. 1 з,п,ф-лы, 1 ил. разному элементу посредством пружины 8. Для обеспечения выполнения поперечного перемещения между наконечником 7 вибратора 3 и стержневым контактом 4 клинообразный элемент 6 посредством ползунов 9 установлен в поперечных направляющих 10, перпендикулярных оси стержневого контакта и закрепленных в корпусе 1, и связан с якорем 11 электромагнита 12, который закреплен в корпусе 1,Для подрегулирования необходимого контактного соприкосновения пьеэокерамического вибратора 3 (через неподвижный прикрепленный к нему иэносостойкий наконечник 7) с клинообразным толкателем 6, в верхней части корпуса 1 предусмотрен регулировочный винтовой механизм 13, соединенный с опорной площадкой 2. Для уменьшения влияния вибронагрузок на ползуны 9 и 1 направляющие 10 при действииффвибратора 3, клинообразный тодкатель 6 соединен с ползунами 9 через упругие элеменгы 14 (например, шейнообразные переходы), служащие для предотвращения прохода вертикальных вибраций,Зондовое устройство работает следующим образом,После того, как зондовое устройство устанавливается в требуемое положение св 8 рху пров 8 ря 8 МОЙ печатной платы 15 микросхемы), приводится в действие электромагнит 12, орь 11 КООроо перемещаясь (по чертежу направо) передвигае", клинообразны 1 г толкаГель 6 "д 3 ыи свою очередь, нажимает стрежневой контакт 4 вниз. Сила притяжения эдектрсмагнита 12, пружинная подвеска 8 ГО якОря 1, а также УГОЛ наклона клинообразноГО зле" мента 6 должны быть таковы, чтобы они гарантировали необходимый ход стержн 8 ВОГО контаа 4 вниз до соприкосновенич с контактной площадкой печатной платы 15 и создавали определенное прижимное усилие, способное преодолеть изоляционное загрязнение (например, Оксидную пденкф.В случае отсутствия электрического КОНТаКТа Или БВЛИЧЯЯ ПОВЫШ 8:":,НОГО ОМИЧ 6" ского сопротивления проверяемой цепи, проводится дополнитедьное ударно-виб рационное воздействие на стержневой контакт 4, Для этого путем подачи высокочастотного электоического сигнала,во".буждаютя вибра ции п езокеоами:.6 кого вибратооа 3 рые через наконечник 7, клинообразный толкатель 6 накладываотся на стержневой контакт 4, В итоге стержневой контакт 4 более интенсивно ударным способом преОдОл 8 ва 8 т изоляциОнную пленку и входит в непосредственное соприкосновение с кон- тактнОЙ площадкой печатной платы,С целью предупреждения излишнего механического нарушения початного проводника амплитуда вибраций, возбуждаемых виратором 3 в реальных условиях, подбираеся в диапазоне 1-10 мкм. Зто достаточно для эффективного разрушения изоляционных пленок, толщина которых для оксидов составляет единицы микрон, а для технологических например, фдюсовых) - десятки, в редких случаях сотни микрон.При этом предлагаемая зондовая головка 5 ь Озволяет преодолеть и более толстые изоляционные пленки, так как из-за притягивания электромагнита 12 во время ударного действия вибратора 3 клинообразный тол(ат 8 ль 6 постояннО входит В промежуток 10 между наконечником 7 и стсржневым контактом 4, гарантируя постоянный нажим по- следнеГО и надежность механической контактной взаимосвязи наконечника 7 .,Ибратора 3 через клинообразный тодка- "5 тель 6 со стержневым контактом 4.Посд 8 пр 6 одоления изОляционнОЙпленки ударно-Вибрэционное Воздействие вибратором 3 прекращается,контрадьэлекгрических параметров печатной платы 15 20 выполняется при статическом прижиместержневого контакта 4, осуществляемом электромагнитом 12.В некоторых случаях. При наличии болеепластичных изОляционных пленок Высоко 25 частотное ударно- вибрационное прокалывание не обязательно и можно ограничиться вибрационным н 1:;зкочастотньВ 6 воздейстг".6;Осуществляемым эде промагнитом 12.ЗСФормула изобретения 1, Зондовое устройство, содержащеекорпус, стержневой контакт и соосный с ним.ультразвуковой вибратор, а также тол катедь, соединенный с приводом низкочастотных колебаний, О т д и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения надежности контактирования, толкатель размещен между стержневым контактом и вибоатором, вы полнен.в Форме клона призматическогосечения и размещен в направля ощих, пер пендикулярных Оси стержн 8 ВОГО контакта и закрепленных в корпусе.2, Устройство по п, 1, о т л и ч а ю щ 8 8- 45 с я тем, что ультразвуковой вибратор выполнен иэ пьезокерамики, привод низкочастотных колебаний выполнен в виде электромагнита, а стержневой контакт подпружинен к тодкателю,1649691Составитель Н. Шмелев Редактор Н, Каменская Техред М,Моргентал Корректор О, Ципле аказ 1874 Тираж 513 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раущская наб., 4/5Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 101