Способ определения поверхностного сопротивления проводящей пленки

(51)5 С 01 В 27 ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ 21) 44 делении псвер низкомной пр с-во, резлизую понер чостног щей пленки, с ностногс сводящей плщее способсопрстивлдержит СВЧий штырь 2ную линиюдами З,ч,м располдг д опротивл 7.8у бич риг ую цэм иньш317. 34яев В,.г си ч атель рдец и,реги088. 8) э 5,перед котоисследуемой рагср 7, Сна ктивпыця метдлли и др рстивлеоводящеи пле оль а перед к. - Прибор 1972,9, ,И. и др, Те ающий кснтро с сист 5-56 элу раз талонныи з задави мещаю с ндцзопд.ГЛ 9 меньшим ЕбЗон цы 3 и ч ноло тап вд ь ДуровняьногоИЛ 9 ь пласт с. 267 и не сгс получения ма Хими нала с зосида 4. 3лическийожение вд) СПОС РЕДВЛЕИЯ ПОВЕРХЧ ГНИЯ 1 РОВОДЯг.Й ПЛ: ие относится к тех его контроля полуп ате т взмечяц глуышени НОГО (57) ОПРОТ ют его бину и штырь оль Д пол Изобрет разруша ковых и ваясь и ня сиги я, до го ур кевод н о ет длличес систем и 3. поме может использ сопротивления ься для измерения змеря и образец игнал с зо б и дов с г вадрата поверхносх пленок на дит суммарныи онких прово о жках, Цель изоб очцости при оп еделяют лектрических по Ве вс к критония - псвьпдени 2 ил. ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И 01 НРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР й А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТ(46) 07,0 (71) фцзи тут ЬН Ла (72) 10, К и Я,Э.Сил (53) 621 (56) Черн СВЧ-контр ческих пл щают м аль и м водя 2Изобретение относится к технике неразрушающего контроля тонкопленочных полупроводниковых и металлических систем и может использоватьсядля измерения сопротивления квадрата поверхности тонких проводящихпленок на диэлектрических подложках,например пленочных покрытий движущихся рулонных материалов. 10Цель изобретения - повышение точности при измерении поверхностногосопротивления циэкоомной проводящейпленки.На фиг,1 приведена структурнаяэлектрическая схем устройства,реализующего способ определения поверхностного сопротивления проводящей пленки; на фиг.2 - график зависимостивеличины разности суммарных сигналовЙ 1( = 1 о 1 г и г 1 г = 1 о отсопротивления квадрата поверхностиР, пленки при измерениях известнымспособом (кривая 1) и предлагаемым(кривая 11) (10 1 02 суммаРныйсигнал на зондах при измерении эталонного образца с наименьшим В1 1 - суммарные сигналы при измерении контролируемого образца),Устройство содержит СВЧ-генера 30тор 1, металлический штырь 2, измерительные зонды 3 и 4, излучатель 5,образец 6 исследуемой проводящейпленки, регистратор 7, вход 8 двухзондовой измерительной линии 9.Способ реалиуют следующим образом. Измерения проводят в трехсантиметровом диапазоне электромагнитных40 волн. Эталонцыйл образец с наименьшим К из заданного диапазона размещаютбза излучателем 5 ца некотором расстоянии (2,0 + 0,5 мм), Зонды 3 и 4 перемещают вдоль линии 9 до получения 45 максимального уровня сигнала с первого зонда 3, т.е. Устанавливают зонд 3 в максимуме поля стоячей волны в измерительной линии 9, и минимального уровня сигнала свторого зонда,50 тев минимуме стоячей волны. В этом положении зонды 3 и 4 фиксируют. В измерительную линию 9 вводят отражатель - металлический штырь 2 диаметром 0,8+ 0,05 мм ца глубину 5 мм.ПУ- тем перемещения штыря 2 вдоль измерительной линии 9 и и з мен с цш ем глубины погружения добцан тся повышения максимального уровня сигнала на первом зонде. Положение штыря 2 фиксируетсяСигналы с зондов 3 и 4 подают на регистратор 7 и определяют суммарный сигнал с зондов 3 и 4. Далее вместо эталонного образца помешают исследуемый образец 6 и определяют суммарный сигнал с зондов 3 и 4. Повеличине суммарного сигнала и градуировочной кривой на фиг.2 судят о величице В исследуемого образ 5ца 6.Способ может быть использован дляконтроля сопротивления цизкоомныхтонких проводящих пленок в процессе их напыления, а также для контроля других параметров тонких слоев,связанных с параметром Н 5, например слоевого сопротивления и их толщины и удельного сопоотивлеция,формула и з о б р е т е н и я Способ определения поверхностного сопротивления проводящей пленки,заключающийся в возбуждении ГВЧ-энергией двухзондовой измерительной линии, измерении суммарного сигнала на выходах ее зондов при размещении перед выходным концом двухэоцдовой измерительной линии образца исследуемой проводящей пленки и определецие поверхностного сопротивления проводящей пленки по градуировочцой зависимости, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения точности приопределении поверхностного сопротивления цизкоомной проводящей пленки, предварительно перед выходным концом двухзондовой измеритсльцой линии размещают эталонный образец с наименьшим значением повсрхцостного сопротивления в измеряемом диапазоне значений, перемещают первый и второй зонды вдоль двухэоц.оной измерительной линии до поц чс цця минимального значения сигнал, ца первом зонде и максимального ца втором зонде и фиксируют положения первого и второго зондов, затем вц чгят в двухзондовую иэмерительцую пинию между ее входным коццсм цядами металлический штырь, кот рый перемещают вдоль двухзондовой ц мс рительной линии, и изменяютубццу его погружения до получения ."цьсималь-. ного значення сигнала ца гсыходс первого зонда.1626191 Р 5 Составитель Р.КуэнецоваТехред М,дидык Корректор А.Осаулен дактор И. Г Закаэ 216ВНИИПИ Государственног113035 тельский комбинат "Патент,Проиэводственн Гагарина, 1 иго ь,рА ьа Тирам 409комитета поИосквз Ж 3 Подписноеэобретениям и открытиям при ГКНТРаушская наб., д, 4/5