Преобразователь давления
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1605146
Автор: Пухов
Текст
(54) ЛРЕОБРАЗОВ (57) Изобретени тельной технике проводниковым тм давления, и ка ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР К АВТОРСКОМУ СВИ(56) Авторское свидетельство СССРУ 1303857, кл. С 01 Ь 9/04, 1987,ЕЛЬ ДАВЛЕНИЯотносится к измерив частности к полузометрическим датчиозволяет повысить,.801 605146 2точность измерения за счет уменьшения неоднородности поля напряжений. Преобразователь давления содержит полупроводниковую пластину 1, в которой выполнены канавки 2, образующие по форме квадрат. В углах квадрата выполнены углубления. В середине канавки 2 закреплены тензорезисторы 4, соединенные в мостовую схему. Полупроводниковая пластина 1 закреплена в корпусе 8 клеевым составом 9. В преобразователе давления точность измерения не превышает О,1 Е за счет выравнивания поля напряжений в полупроводниковой пластине 1. 2 ил.Изобретение относится киэмерительной технике, в частности к полупро- водниковым тензометрическим датчикамдавления, и может быть использованов информационно-измерительных системах в качестве первичного измерительного преобразователя давления жидкостей и газов,Целью изобретения является повышение точности преобразования эа счетуменьшениянеоднородности поля напряжений.На фиг.1 показан чувствительныйэлемент; на фиг.2 - конструкция преобразователя давления.Преобразователь соцержнт полупроводниковую пластину 1, в которой выполнены четыре канавки 2 длиной 1, спостоянным поперечным сечением Ы,образующие по форме квадрат. В углахквадрата, образованного канавками 2,выполнены углубления 3 цлиной 1 в направлении канавок 2. В середине кана"вок. 2 закреплены тензорезисторы 4 25длиной 1, которые проводниками 5 и6 соединены между собой в мостовуюсхему и с внешней аппаратурой. Утолщенные секторы 7 выполняют роль концентраторов напряжений. Длина углублений 3 удовлетворяет соотношениюМ . 1-1- с.1- а отношение глубины уг 2 2 флублений 3 к толщине материала плас,тины 1 между поверхностью углубления 3и нижней поверхностью пластины Гнаходится в пределах 1/4 - 3/4, Полу=проводниковая пластина 1 закреплена вкорпусе 8 с помощью клеевогосостава 9,Преобразователь давления работает 40следующим образом.Под действием измеряемого давленияканавки 2 и углубления 3 пластины 1упруго деформируются. Под воздействием цеформаций тензорезисторы 4, расположенные попарно в областях одинаковых, но противоположных по знаку деформаций, меняют величины сопротивлени%, что приводит к разбалансу мосто-. вой схемы. Сигнал разбаланса мостовой схемы с помощью проводников 5 и бподается к внешней аппаратуре. Утолщенные секторы 7 не деформируются, а дешормация углублений 3 не влияет на оцнороцность деформации канавок 2. Ршибка преобразования (нелинейность) преобразователей давления с углублениями 3 не превышает 0,1 Е по сравнению с 0,25- 0,30% для преобразователей без дополнительных углублений.Формула изобретенияПреобразователь давления, выполненный в виде квадратной полупроводниковой пластины, в которой по главнымкристаллическим осям на верхней поверхности пластины выполнены четыреканавки длиной 1. с постоянным поперечным сечением шириной И, образующиепо форме квадрат, причем по крайнеймере в двух из канавок в их серединезакреплены тензорезисторы цлиной 1,о т л и ч а ю щ и й с я тем, что,с целью повьппения точности за счетуменьшения неоцнородности поля напря"жений, в углах квацрата, образованного канавками, на их поверхности выполнены углубления длиной 1 в направлении канавок, причем длина углубленийИ 1-1удовлетворяет соотношению - (1 (а отношение глубины углублений к тол-щине материала пластины между поверхностью углубления и нижней поверхностью пластины находится в пределах 1/4 - 3/4,1605146 Составитель Л.ПетровРедактор Л.Гратилло Техред Л.Олийнык Корректор Т,Палий Заказ 3449 Тиоаж 466 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ ССР 113035, Москва, Ж"35, Раушская наб., д. 4/5 производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул. Гагарина, 10 1
СмотретьЗаявка
4617982, 12.12.1988
ЯРОСЛАВСКОЕ НАУЧНО-ПРОИЗВОДСТВЕННОЕ ОБЪЕДИНЕНИЕ "ЭЛЕКТРОНПРИБОР"
ПУХОВ ВЛАДИМИР НИКОЛАЕВИЧ
МПК / Метки
МПК: G01L 9/04
Метки: давления
Опубликовано: 07.11.1990
Код ссылки
<a href="https://patents.su/3-1605146-preobrazovatel-davleniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Преобразователь давления</a>
Предыдущий патент: Датчик абсолютного давления и способ его вакуумирования
Следующий патент: Волнопродуктор для гидролотка
Случайный патент: Способ получения 1, 4-диоксан-2, 3-диона