Оптико-электронный профилометр

Номер патента: 1578471

Авторы: Антонов, Бутенко, Дудник, Зелинский, Федоров, Хвалов

ZIP архив

Текст

СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНИРЕСПУБЛИН 9) 8 1 В 2 ИЯ тра ИЛОМЕТ ь Об ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР ОПИСАНИЕ ИЗОБР Н А ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТ(71) Институт проблем регинФормации АН УССР(57) Изобретение относится к крольно-измерительной технике. изобретения - повышение точностиза счет более точного опрецеленияэнергетического центра световогопятна. Профилометр состоит пз источика 1 излучения, интерФерометра, образованного светоделителем 3 и уголковыми отражателями 4 и 5, двухплощадного Фотоприемника 11 н привода13. Смещение луча, вызванное изменением наклонов поверхности контролируемого объекта, компенсируется перемещением Фотоприемника 11 под действием привода 13 по сигналам с Фотоприемника 11. Перемещение Фотоприемника измеряется с помощью интерферометра. 2 ил, 3 1578471Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может бытьиспользовано для измерения Формы отражающих поверхностей.Цель изобретения " повышение точности за счет более точного определения энергетического центра световогопятна.На Фиг, 1 представлена блок-схемапрофилометра; на Фиг. 2 - схема вычислительного блока.Профилометр состоит из оптическисвязанных источника 1 излучения, све"тоделителей 2 и 3, уголковых отражателей 4 и 5, светоделителя 6 и Фотоприемникови 8, оптически. связанныхс светоделителем 2 зеркал 9 и 10 ифотоприемника 11, схемы 12 слеженияза лучом, электрически. связанной свыходами Фотоприемника 11, привода13, электрически связанного с выходом схемь 12 и механически связанного с фотоприемником 11, вычислительного блока 14, входы которого подключены к выходам фотоприемников 7 и 8соответственно, регистрирующего блока 15, первый вход которого. подключенк выходу блока 14, блока 1 б перемещения контролируемого объекта, выходкоторого подключен к входу блока 15,Уголковый отражатель 5 механическисвязан с Фотоприемником 11. Фотопри"емник 11 предназначен для оптическойсвязи с контролируемым объектом че-рез светоделитель 2 и зеркала 9 и 10и выполнен двухплощадным. Светрделитель 3 и уголковые отражатели 4 и 5установлены на схеме интерферометраМайкельсона,40Вычислительный блок 14 выполнениз компараторов 17 и 18, входы которых являются входами блока .14, моновибраторов 19 и 20, входы которых подключены к выходам компараторов 17 и18, последовательно соединенных инвертора 37, вход которого подключенк выходу компаратора 18 и моновибратора 21, последовательно соединенныхинвертора 22, вход которого подключенк выходу компаратора 17 и моновибрато 50ра 23, схемы И 24, входы которой подключены в выходам моновибратора 20 иинвертора 22 соответственно, схемыИ 25, входы которой подключены к .выходам монавибратора 21 икомпаратора18, схемы И 26, входы которой подключены.к выходам моновибратора 19 и компаратора 17 схемы И 27, входы которой подключены к выходам моновибратора 23 и инвертора 37, схемы И 28, входы которой подключены к выходам моновибратора 20 и компаратора 17, схемы И 29, входы которой подключены к выходам моновибратора 21 и инвертора 37 соответственно, схемы И 30, входы которой подключены к выходам моновибратора 19 и инвертора 22, схемы И 31, входы которой. подключены к выходам моновибратора 23 и компаратора 18, схемы ИЛИ 32, входы которой подключены к выходам схем И 24-27 схемы ИЛИ 33, входы которой подключены к выходам схем 28"31, реверсивного счетчика 34, входы которого подключены к выходам схем ИЛИ 32 и 33 соответственно, и последовательно соединенных цифроаналогового преобразователя 35, вход которого подключен к выходу счетчика 34, и арифметического блока Зб, выход которого является выходом блока 14.Оптико-электронный профилометр работает следующим.образом.Изменение наклона поверхности контролируемого обьекта вызывает изменение положения луча в плоскости Фотоприемника 11. Сигналы с фотоприемника 11., соответствующие смещению луча, обрабатываются в схеме 12, По сигналу от схемы 12 привод 13 компенсирует смещение луча передвижением фотоприемника 11, Перемещения фотоприемника 11 измеряются с помощью интерферометра, образованного свето- делителем 3. и уголковыми отражателями 4 и 5, сигналы с выхода которого поступают на Фотоприемники 7 и 8,. Сигналы с фотоприемников 7 и 8 поступают на входы блока 14, который вычисляет профиль поверхности контролируемого объекта. Профиль пове 1 хности регистрируется блоком 15.Вычислительный блок 14 работает следующим образом.Поступающие на вход компараторов 17 и 18 синусоидальные сдвинутые по фазе на /2 напряжения преобразуются в последовательности прямоугольных импульсов Б и Б . В инверто- ,рах 37 и 22 они инвертируются, Напряжения на .выходах инверторов 37 и 22 обозначим Г и Ю, соответственно. Поступающие на моновибраторы 20, 21, 19 и 23 прямоугольные импульсы Б0, 01 своими передними фронтами Формируют короткие прямоугольньы. предназначенный для оптической связис источником излучения через коцтро"лируемую поверхность, о т л и ч а -15 ю щ и й с я тем что с целью повышения точности, он снабжен последовательно соединенными схемой слеженияза лучом, электрически связанной сфотоприемником, ц приводом перемсще ния фотоприемника., светоделцтелеми интерферометром перемещений,. оптически связанным с источником излучения через светодслитель, а измерительное плечо интерферометра мехаци чески связано с Фотоприемником,Ц = (ОЮ И и,) и (О/Ц 1 Л 11 ) Ч Ч (ОВ А Ц,) Ч (О/ц, А ц )1(О/П Л 11,) Ч (О/11, Л П ) У М (О/О В 6, ) Ч (О/6, И П ),Один из этих сигналов поступает на суммирующий, а второй - на вычитающий вход реверсивного счетчика 34, Цифровой сигнал на выходе реверсивного счетчика 34 цифроаналоговым преобразователем 35 преобразуется а аналоговый сигнал. Последний в арифметичесиг. Я оставитель М.Кузиехред Л.Сердюкова в ельдман, Т Корректор Т.Малец Редакто Заказ 1905 Тираж 489 ВНИИПИ Государственного комитета по изобрете 113035, Москва, Б, РаушскГКНТ СССР и я Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 101 5 . 1578471 6 импульсы О/,1, О/П, О/11, О/О. ком блоке 36 о соответствующему алэтих импульсов при помощи восьми схем горитму пересчитывается в величину И 24-3 1 и двух схем ИЛИ 32 и 36 форми- текущего отклонения профиля контролируются последовательности импульсов, руемого объекта, соответствующие возрастанию и убыва 5нию радиуса контролируемого объекта формула изобретения по алгоритмам1

Смотреть

Заявка

4430670, 24.05.1988

ИНСТИТУТ ПРОБЛЕМ РЕГИСТРАЦИИ ИНФОРМАЦИИ АН УССР

АНТОНОВ АЛЕКСАНДР АЛЕКСАНДРОВИЧ, ДУДНИК НИКОЛАЙ ПЕТРОВИЧ, ЗЕЛИНСКИЙ АЛЕКСАНДР АНТОНОВИЧ, ФЕДОРОВ ВИКТОР НИКОЛАЕВИЧ, ХВАЛОВ ВИКТОР АЛЕКСЕЕВИЧ, БУТЕНКО ЛАРИСА ВАСИЛЬЕВНА

МПК / Метки

МПК: G01B 21/30

Метки: оптико-электронный, профилометр

Опубликовано: 15.07.1990

Код ссылки

<a href="https://patents.su/3-1578471-optiko-ehlektronnyjj-profilometr.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Оптико-электронный профилометр</a>

Похожие патенты