Способ измерения малых угловых поворотов объекта

СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИРЕСПУБЛИН 51)5 С 01 В 11 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНК А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 1) 4272488/24 2) 01.07.87 6) 150790, 1 Инстит т и юл. Р 26вышения квалификацииодного хозяйства сявичю отки интерференционно а о относится к коой технике и можано для измерен Изобретено-измерител трол и я пря-ыть использо олинейностиЦель изобр ативности за Спо повороплоскостнос е инфоргловыххносрных к повыш тен мируют тока и соотве .ность. танавл служит раженн ет измерения лируемои по о перпендик поворотов ко в вза аправлениях На чертеж оказана оптическ а еодержит лазер сирующую линз онтролируемое еркало 6, эк хема устройствУстройство с иматор 2, Фоку оделитель 4, к о 5 опорное з кол 3, свееркаизлучениятерференциопределяют вмещают и, наблюдая инную картину на экране,оложение ее центра. По ра ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯПРИ ГКНТ СССР(56) Коронкевич В.П. и др. Современные лазерные интерферометры. - Новосибирск: Наука, 1985, с.32,8-81. (54) СПОСОБ ИЗМЕЛЕНИЯ МАЛЫХ УГЛОВЫХ ПОВОРОТОВ ОБЪЕКТА(57) Изобретение относится к контро льно-измерительной технике, может быть использовано для измерения пря молинейности и плоскостности. Целью изобретения является повышение инФормативности эа счет измерения угл 2вых поворотов контролируемой поверхности в двух взаимно перпендикулярных направлениях. Способ объекта заключается в том, что коллимированный поток излучения формируют сходящимся, делят его на два потока, каждый иэ которых направляют на зеркально отражающие поверхности, одну из них принимают за контролируемую, отражающие поверхности располагают на различных расстояниях от точек фокусировки сходящихся потоков. Отраженные от зеркальных поверхностей потокисовмещают и, наблюдая интерференционную картину, определяют положение ее центра. По модулю вектора смещения центра интерференционной картины вычисляют угловые повороты контролируемой зеркальной поверхности.1 ил. ы,соб для измерения малых угловых тов объекта состоит в том, что ированный поток излучения форсходящимся, делят на два по- каждый из них направляют на тствующую отражающую поверхОдна иэ поверхностей усивается на объекте, другаяв качестве опорной, Отые от поверхностей потокимодулю вектора смещения центра интерференционной картины вычисляютугловые повороты зеркальной поверхности, а следовательно, и объекта.Если поверхность обеспечивает зеркальное отражение потока излучения,то объект можно устанавливать в потоке излучения непосредственно нанекотором расстоянии от точки фокуса. 10Устройство, реализующее данныйспособ измерения работает следующимобразом,Луч света, излучаемый лазером 1, проходит коллиматор 2, фокусируется линзой 3 в точку,.А. Светоделитель 4 делит световую волну на две, которые, отразившись от опорного зеркала 6 и контролируемого зеркала 5, как бы образуются двумя источниками излучения, распсложенными в точках А и А, при этом поверхности находятся от этих источников на расстояниях К и а. Отраженные от зеркал 5 и б когерентные волны имеют сферические фронты и отличаются их радиусами. Интерферируя, они образуют на экране 7 блока обработки кольцевую структуру,положение модуля вектора центра которой и угол поворота контролируемого зеркала 5 связаны соотношением;= М(1(К, - 1 К,), где М - модуль вектора смещения центра уК и К - радиусы фронтов интерФерирующих волн. Измеряя модульвектора смещения центра интерференционной картины, вычисляют угловые повороты контролируемого зеркала 5.Фо р м у л а и з о б р е т е н и яСпособ измерения малых угловых поворотов объекта, заключающийся в том, что коллимированный поток излучения разделяют на два потока, один направляют на опорное зеркало, а другой - на контролируемое, совмещают отраженные потоки, регистрируют положение интерференционной картины и определяют. угловое положение объекта, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения информативности за счет измеренич угловых поворотов контролируемого зеркала в двух взаимно перепендикулярных направлениях, в нем с помощью оптической системы перед разделением потоков Формируют их сходящимися, опорное и контролируемое зеркала смещают из точек фокуса оптической систе-. мы, а угловое положение 4 определяют по положению модуля вектора смещения центра интерференционной картины с оптической оси в соответствии с соотношением= М (1/К, - 1 В ),где М - модуль вектОра смещения центра интерференционной картины;К и К. - радиусы Фронтов интерферирующих волн.ри ГКНТ СССР роизводственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул. Гагарина, 101 Заказ 1905ВНИИПИ Госуд Тираж 494 Подписноественного комитета по изобретениям и открытия 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5