Датчик абсолютного давления
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
Изобретение относится к областиизмерительной техники и может бытьиспользовано прц конструировании иизготовлении датчиков абсолютногодавления,Цепью изобретения является увеличепце точности измерения за счет повышения эффективности откачки и уменьшения давления остаточных газов в 10вакуумируемой полости,Ца фиг,1 представлен датчик абсолютного давления; на фиг,2 - вид А нафиг,1,Датчик абсолютного давления, вкоторый встроено устройство вакуумирования, содержит с одной стороны приемный цтудер 1, через который воздействует измеряемое давпение 1, корпус 2, воспринимающий элемент 3, выпопняемый в виде мембраны, передаточный шток 4 связацць;й с чувствительным элементом 5, а с другой сторонывакуумируемую камеру 6, в которой содержится геттерцый у еп, ыпопцеццый 25в виде пластины 7 на которуо нанесен геттерный материал 8,Для откачки воздуха в процессеизгочовлеция и настройки датчиков спчжит ниппель 9, ЗСДатчик абсолютного давления, разде"ленный на две полоски: приемную (ограниченнук приемным штудером 1 и воспринимающим элементом - мембраной 3)и опорную-вакуумируемую (ограниченную 35воспринимающим элементом 3, корпусом2 и вакуумируемой камерой 6), помещают в откачной объем, При этом в датчике ниппель 9 открыт и через него идетоткачка воздуха из опорной полости. 40После достижения необходимого разрежения в откачцом объеме и соответстенно, в опорной полости датчика-О - 10 мм рт,ст, отверстие в ниппеле 9 заваривается, т,е, опорнаяполость изолируется от окружающейсреды. Из-за газовыделения внутриопорной полости датчика разрежениев ней уменьшается до величины 1010 ьмм рт,ст Поэтому дпя поглощенияостаточных и адсорбировацных газовдатчик вместе с встроенным в негогеттерным устройстзсм нагревахтдо температуры активизации геттел" го материала 8 (практически до 200 О2 эО О) и выдерживают его при такойтемпературе в течение 15-25 мин, Заэто время адсорбированные на внутренней поверхности опорной полостидатчика газы успевакт десорбироваться и поглотиться геттерцым материалом,1 агодаря тому, что геттерный материал находится на пластине, расположенной цад стверстием, оц не подвергается уцосу и не затрудняет откачкуодуха и остаточных газов при вакуумировании датчика,Геттерный материал 8 может бытьнанесен на пластинув виде пленки(например, титана) или в виде спеченной композиции (титан 60-653магний 40-357),Работа датчика абсолютного давления происходит следующим образом,При и.мецении давления Р усилие,хразвиваемое воспринимающим элементом3, передается на чувствительный элемент 5,Усилие, развиваемое чувствительнымэлементом 5 от давления в опоройкамере Р , вычитается из усилияот давления Р1 ем меньше давление Р, тем точнееизмерение абсолютного давленияИзобретение позволяет создаватьв опорной камере более низкие давления,Ф о р ь у и а и з о б р е т е н и яДатчик абсолютного давления, содержащий корпус, мембранный чувствительный элемент, который разделяет корпус на опорную и измерительную камеру, ниппель с отверстием, закрепленный в стенке опорной камеры, и расположенный в опорной камере геттерный узел,отличающийся тем, что, с целью увеличения точности измерения за счет повышения эффективности откачки и уменьшения давления остаточных газов, в нем геттерный узел выполнен в виде пластины, которая закреплена на внутренней стенке опорной камерь над отверстием ниппеля, причем ца пластину нанесен геттерный материал1569608 Составитель О,СлюсаревТехред М.Дидык Корректор О,Цилле Редактор Л.Гратилло Заказ 1439 Тираж 470 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб д. 45 Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул, Гагарина, 101
СмотретьЗаявка
4383840, 05.01.1988
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-1891
МИХАЙЛОВ ПЕТР ГРИГОРЬЕВИЧ, МАРИН ВИКТОР НИКОЛАЕВИЧ, МАТВЕЕВ АЛЬБЕРТ КОНСТАНТИНОВИЧ, ИВАНОВА НАТАЛЬЯ ВЛАДИМИРОВНА
МПК / Метки
МПК: G01L 7/00
Метки: абсолютного, давления, датчик
Опубликовано: 07.06.1990
Код ссылки
<a href="https://patents.su/3-1569608-datchik-absolyutnogo-davleniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Датчик абсолютного давления</a>
Предыдущий патент: Устройство для измерения мощности резания
Следующий патент: Способ заполнения трубки плавким веществом
Случайный патент: Фотополимерная печатная форма