Устройство для электрохимической обработки

САНИ ТЕНИЯ ТВУ сукова ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР ТОРСНОМЪ СВИДЕТ(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ(57) Изобретение относится к оборудованию для электрохимической обработки деталей и может быть использовано в радиотехнической и радиоэлектронной промышленности при изготовлении трафаретов для формирования ферритовых полей и для получения рисунка пленочных элементов при изготовлении толстопленочных плат микросбори. Целью изобретения является повышение качества обработки путем обеспечения равномерности и точности травления. Включают источник 17 питания и электродвигатель 11, устанавливают требуемый ток и проводят процесс травления.1565923 5 10 20 25 Анод 8 с закрепленными на нем изделиями ; 18, подлежащими травлению, и экраны 9 , вращают в горизонтальной плоскости, при этом происходит равномерное перемешивание электролита 2, исключаются застойные зоны, что способствует получению отверстий требуемой формы с высокой точностью, Конструктивные особенности Изобретение относится к оборудованию для электрохимической обработки деталей и может быть использовано в радиотехнической и радиоэлектронной промышленностии при изготовлении трафаретов для формирования ферритовых полей и получения рисунка пленочных элементов при изготовлении толстопленочных плат микро- сборки. Целью изобретения является повышение качества обработки путем обеспечения равномерности травления,На фиг. 1 представлено устройство, общий вид в разрезе; на фиг. 2 - выполнение анода; на фиг, 3 - выполнение экрана в случае обработки изделий прямоугольной формы,Устройство содержит ванну 1 с электролитом 2 и терморегулятором 3, ванну 4 термостатирования с подогревателем 5 и теплоносителем 6, анодную штангу 7 с анодом 8, выполненным в виде диска, экраны 9, подвижный контакт 10, электродвигатель 11, установленный на кронштейне 12, соединительную муфту 13 с изоляционной прокладкой 14, катоды 15 со штангой 16, источник 17 питания постоянного гока и трафареты 18,Анодная штанга 7 с анодом 8 помещена в ванну 1. Трафареты 18, подлежащие травлению, размещены в отверстиях 19 дискового анода 8. По обеим сторонам анода 8 на одинаковом расстоянии неподвижно размещены экраны 9. Посредством подвижного контакта 10 анодная штанга 7 подключена к положительному полюсу источника 17 питания. Электродвигатель 11 предназначен для вращения анодной штанги 7, Катоды 15 выполнены в виде кольцевых желобов с полу- окружностями в сечении, расположенными выпуклой частью к аноду 8 на одинаковом устройства, в частности выполнение катодов 15 в виде кольцевых желобов с полуокружностями в сечении, расположенными выпуклой частью к аноду 3 и на одинаковом расстоянии от вращающегося анода, и экранов 9, позволяют обеспечить равномерное травление отверстий по всей площади изделий. 3 ил. расстоянии от анода 8, при этом анод 8 выполнен с отверстиями 19 прямоугольной формы - по форме и размерам обрабатываемых трафаретов (не показаны), а экран 9 выполнен с отверстиями 20 эллипсной формы, обеспечивающей наибольшее снижение краевого эффекта, в случае обработки трафаретов прямоугольной формы,После включения источника 17 питания и электродвигателя 11 устанавливают требуемый ток и проводят процесс травления. Анод 8 с закрепленными на нем изделиями 18, подлежащими травлению, и экраны 9 вращают в горизонтальной плоскости, при этом происходит равномерное перемешивание электролита 2, исключаются застойные зоны, что способствует получению отверстий требуемой формы с высокой точностью.Конструктивные особенности устройства, в частности выполнение катодов 15 в виде кольцевых желобов с полуокружностями в сечении, расположенными выпуклой частью к аноду 8 на одинаковом расстоянии от вращающегося анода и экранов 9, позволяет обеспечить равномерное травление отверстий по всей площади изделий. Формула изобретения Устройство для электрохимической обработки, преимущественно для травления сквозных отверстий, содержащее источник питания постоянного тока, ваннудля электролита, анод, катоды, расположенные симметрично аноду, экраны с отверстиями и привод вращения анода с экранами, о т л ич а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения качества обработки путем обеспечения равномерности травления, катоды выполнены в видекольцевых желобов с полуокружностями в сечении, расположенными выпуклой частью к аноду.1565923 Составитель В.Трегубактор И.Дербак Техред М.Моргентал ректор И.Муска водственно-издательскиИ комбинат "Патент", г, Ужгород, ул. Гагарина, 10 каз 1201 Тираж 550ВНИИПИ Государственного комитета113035, Москва, Ж Подписноеизобретениям и открытиям при ГКНТ С5, Раушская наб., 4/5