Способ контроля формы отражающей поверхности зеркальных отражателей

(51) 5 САН ОБРЕТЕНИ ВИДЕТЕЛЬСТВУ Н АВТОРСКОМ(71) Сибирский физико-технический институт им. В.Д. Кузнецова при Томском государственном университете им. В.В. Куйбышева(56) Авторское свидетельство СССР Иф 593070, кл . С 01 В 11/24, 1977,Авторское свидетельство СССР 9 664022, кл. С 01 В 11/24, 1978. (54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ФОРМЫ ОТРАЖАЮЩЕЙ ПОВЕРХНОСТИ ЗЕРКАЛЬНЫХ ОТРАЖАТЕЛЕИ(57)Изобретение относится к оптическому приборостроению, конкретно к оптическим измерениям на основе спекл-интерферометрии. Цель изобретения - повышение точности контроля. Способ включает экспонирование фотопластинки диффузным излучением, образованным при проче Изобретение относится к оптическому приборостроению, а более конкретно к оптическим измерениям наоснове спекл-интерферометрии.Цель изобретения - повышение точсти контроля,На чертеже представлена одна извозможных схем устройства, позволяющая реализовать предлагаемый способУстройство включает когерентныйисточник 1 света, затвор 2, конден,сор 3, диФфузный рассеиватель 4,светоделитель 5, контролируемый зеркальный отражатель 6 с механизмом7 его перемещения, фотопластинку 8,источнии открыно а ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИПРИ ГКНТ СССР 801551989 А 1 канин когерентного излучения рез рассеиватель, и последующее отражение его от зеркального отражателя, местоположение которого от экс позиции к экспозиции изменяют путем смещения отражателя параллельно фотопластинке, Проводят нечетное число экспозиций, причем длительность первой экспозиции выбирают иэ равенства экспозиции обратной величине светочувствительности фотопластинки, а последующие экспозиции проводят циклами, включающими две экспозиции после размещения отражателя перед каждой экспозицией в симметричных относительно первоначального положениях, при этом величина смещений отражателя последовательно увеличивают от цикла к циклу на значение, равное первоначальному смещению, а длительность каждой экспозиции в цикле определяют из математического выражения, 1 з.п. ф-лы, 1 илСпособ о ся следующимобразом.Когерентное излучение отка 1, пройдя конденсор 3, пртом затворе 2 освещает диффузныйрассеиватель 4, Диффузное излучениотразившись от светоделителя 5 и зкального отражателя 6, поступает нфотопластинку 8 и регистрируется нней за время первой экспозиции, Певторой экспозицией зеркальный отражатель 6 с помощью механизма 7 егоперемещения смещается в плоскости,проходящей через его вершину и парлельной плоскости фотопластинки 8, 1551989М СМ.1 ЛС Г1-56 ва величПу а. Перед третьей экспозицией зеркальный отражатель .6 смещается на величину а симметрично относительно своего первоначального по 5 ложения и так далее, причем перед каждой последующей экспозицией величина перемещения кратна величине а.При восстановлении записи проявленную фотопластинку освещают плоской когерентной волной от источника, используемого при записи, и в фокаль" ной плоскости линзы, установленной за Фотопластинкой, получают картину периодически чередующихся узких интерференционных полос, По результатам измерения периода повторения аХ опре-. деляется радиус кривизны сферического зеркала К = 2 аХ 1/Ю ), где 1 - расстояние от плоскости, проходящей через вершину отражателя б, до плоскости Фотопластинки 8; 5 - длина волны используемого источника света; К фокусное расстояние используемой линзы. 25Нарушение эквидистантности интерференционных полос характеризует отклонение поверхности от сферической формы или волновые аберрации сферических зеркал. Точность измерения определяется точностью определения центра интерференционных полос и возрастает с увеличением числа экспозиций. Общее число экспозиций выбирают нечетным, длительность первой экспозиции выбирают из равенства экспози 35 ции обратной величине светочувствительности фотопластинки, а последующие проводят циклами, включающимидве экспозиции, после размещения от 40 ражателя перед каждой экспозицией в симметричных относительно первоначального положениях, при этом величины смещений отражателя последовательно увелнчивают от цикла к циклу на45 значение, равное первоначальному сме щению, а длительность каждой экспозиции в цикле выбирают равнойдлительность 1-и экспОзицииобщее число экспозиций;порядковьй номер Цикла экспозиций; где 1И -С и число сочетаний из Ипо ММ --- в. и из 1-1 по --22соответственно. М 1гл М лВ 1Ь 1С г1-М - общее число экспозиций ; щ - порядковый номер цикла э кси о зиций0 . 1- .11С г и1- 1С г число сочетаний из Ыпо ИН--- шииз Ипо2 2 ,соответственнодлительность первой экспозиции. где Формула изобретения1. Способ контроля Формы отражающей поверхности зеркальных отражателей, включающий освещение отражателя диффуэионно-рассеянным излучением, последовательную экспозицию фотопластинки излучением, отраженным от зеркального отражателя при различных его положениях, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью повышения точности контроля, используют когерентный источник излучения и экспозиции, начиная с второй, производят циклами при смещении отражателя в положении, симметричные относительно первоначального, и в плоскости, параллельной плоскости фотопластинки, при этом величину смещений отражателя последовательно От цикла к циклу увеличивают.2. Способ по и. 1, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что длительность каждой экспозиции в цикле выбирают равной1551989 Составитель А. СеминТехред Л. Сердюкова Корректор Н. Ренская Редактор А. Иандор Заказ 321 Тираж 488 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб д. 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 101