Вакуумный молекулярный насос

(51)5 Г 04 И 1 0 ИСАНИЕ ИЗОБРЕТ ТЕЛЬСТВУ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЭОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР К АВТОРСКОМУ С 8(71) Научно-исследовательский институт прикладной математики и кибернетики при Горьковском государственном университете им.Н.И.Лобачевского (72) В.П.Иванов(56) Дэшман С. Научные основы вакуумной техники, - М.: Мир, 1964, с.123(54) ВАКУУМНЫЙ МОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС(57) Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить откачные характеристики и повысить надежность насоса. В зазоре между корпусом 1 и центральным ротором (ЦР) 4установлен внешний ротор (ВР) 7,сноб"женный винтовыми канавками 9. Корпус1, ВР 7 и ЦР 4 выполнены сферически"ми. Газ поступает через входной патрубок 2 и, взаимодействуя со стенкамипаза 5 ЦР 4, переносится к выходномупатрубку 3. ВР 7, вращаясь вокругоси, перпендикулярной оси ЦР 4,уменьшает обратные перетечки газа вдольстенок корпуса 1. 3 ил.Изобретение относится к областивакуумной техники, а именно к конструкциям молекулярных вакуумныхнасосов.Цель изобретения - улучшение откачных характеристик и повышение надежности.На фиг. 1 представлен насос, продольный разрез; на фиг. 2 - сечениеА-А на фиг. 1; на фиг. 3 - сечениеБ"Б на фиг.2.Вакуумн:й молекулярный насос, содержащий корпус 1 с входным и выходным патрубками 2 и 3, размещенный вкорпусе 1 центральный ротор ч, снабженный по меньшей мере одним кольцевым пазом 5, и расположенную в последнем уплотнительную вставку 6,закрепленную на корпусе 1 между патрубками 2 и 3Насос дополнительносодержит внешний ротор 7, охватывающий центральный ротор М, Корпус 1,центральный и внешний роторы 1 и 7выполнены сферическими, оси вращенияроторов 4 и 7 расположены взаимноперпендикулярно, причем внешний ротор 7 снабжен осевыми окнами 8 и винтовыми канавками 9, выполненными наего внешней и внутренней поверхностях, входной и выходной патрубки 2и 3 размещены диаметрально противоположно на оси, совпадающей с осьювращения внешнего ротора 7, а уплотнительная вставка 6 снабжена шевронными выступами 1 О, выполненными наее поверхности, обращенной к кольце 1вому пазу 5 центрального ротораи плоской перегородкой 11, установленной со стороны выходного патрубка 3, при этом вершины шевронныхвыступов 10 направлены к плоскойперегородке 11,Насос работает следующим образом.Предварительно полость корпуса 1вакуумируется внешним фервакуумнымнасосом. Центральный и внешний роторы ч и 7 приводятся во вращениевокруг взаимно перпендикулярныхосей. Откачиваемый газ взаимодействует с поверхностью центральногоротора ц и стенками паза 5 и пере 1 О 15 20 25 30 35 40 45 50 носится от входного патрубка 2 к выходному патрубку 3. Обратная перетеч. ка газа по пазу 5 предотвращается вставкой 6 с шевронными выступами 10 и плоской перегородкой 11, а также внешним ротором 7, вращение которого обеспечивает преимущественное отрешение молекул газа от стенок паза 5 в сторону нагнетанияСовокупность конструкции уплотнительной вставки и наличия внешнего ротора, значительно снижая перетечки, обеспечивает улучшение откачных характеристики насоса, а также повышает его надежность вследствие допустимости больших зазоров между центральным ротором и корпусом. Формула изобретения Вакуумный молекулярный насос, содержащий корпус с входным и выходным патрубками, размещенный в корпусе центральный ротор, снабженный по меньшей мере одним кольцевым пазом, и расположенную в последнем уплотнительную вставку, закрепленную на корпусе между патрубками, о т л и ч а ю щ и й с я тем, цто, с целью улучшения откачных характеристик и повышения надежности, насос дополни" тельно содержит внешний ротор, охватывающий центральный ротор, корпус, центральный и внешний роторы выполнены сферическими, оси вращения последних расположены взаимно перпендикулярно, причем внешний ротор снабжен осевыми окнами и винтовыми канавками, выполненными на его внешней и внутренней поверхностях, входной и выходной патрубки размещены диаметрально противоположно на оси, совпадающей с осью вращения внешнего ротора, а уплотнительная вставка снабжена шевронными выступами, выполненными на ее поверхности, обращенной к кольцевому пазу центрального ротора, и плоской перегородкой, установленной со стороны выходного патрубка, при этом вершины шевронных выступов направлены к плоской перегородке, 1537896д