Способ измерения коэффициента передачи напряжения элемента памяти

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 514 С 11 С 29 ВСЕСОЮЗНЕБ ЫФ 1Б, 5 л01 ИЗОБРЕТЕНИ ЛИ ТЕЛЬСТВУ АВТОРСКОМ 1(53) 681.327.6 эовано при исследовании запоминающих устройств, Цель изобретения - повьппение точности измерения коэффициента передачи заряда элемента памяти.Поставленная цель достигается тем,что после измерения первого порогового напряжения на управляющий затворподают второе импульсное напряжениеи измеряют второе пороговое напряже-ние, а коэффициент передачи зарядавычисляют по формуле К = (1+(Ч+,-Ч )/ (Ч -Ч), где К - к о эффи цие нт п ер едачй заряда, Ч Ч - соответственно первое и второе значения пороговыхнапряжений; Ч Ч- максимальныезначения амплитуды соответственно первого и второго импульсных напряжений,юл ". 47 и А,Е,Кото 088.8) 1 ессгоп Печ 1 сез,р.р. 328-340.(56) 1 Е 1981, ч Тгапэ. оП, Ф ИЕНТА ПЕ- ПАМЯТИ и Ч - пороэисготсут лектэле мен а Велич эатворны скорости жения Ч э и дЧс 1 дс С С - еУ Одному а)К ечки чер ответств ктр т передачи; на управляющем ть пов а- ениим эа ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯПРИ П(НТ СССР Арр 11 ей Рйуз 1 сэ 1 есгегз, 197У 2, р.р. 189-191.(54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ КО РЕДАЧИ НАПРЯЖЕНИЯ ЭЛЕМЕНТ 7) Изобретение относится к вычисл льной технике и может быть исполь зобретение относится к микр ике, в частности к исследова трофиэических характеристик ов памяти на транзисторах с вающим затвором.Целью изобретения является повышение точности измерения коэффициента передачи заряда элемента памяти.Сущность способа измерения коэффициента передачи заряда заключается в том, что при подаче на сток, исток и подложку нулевого потенциала и при потенциале на управляющем затворе, открывающем канал транзистора, потенциал на плавающем затворе определяется выражениемЧ = (Ч Ч +Чо (1) где К - коэффициенЧ 4 - напряжение овые напряжения гранра соотвегс гвенно при ствии и при наличии зана плавающем загворе. ка утечки 1 через межектрик пропорциональна ения порогового напряяэана с ним выражением к утечки,кость между плавающи равляющим затворами тому же значению т э межэатворньп диэл ет одинаковая разно ежду управляющим и орами, Пользуясь выр(6) 45 ем (1), это условие можно записатьследующим образом; ч - (ч -ч +ч )к = ч -(ч -ч, +о 1 315 и коэффициент передачи определяютпо формуле 1 О Ч, -Чт К= (1+ ---- ) (4) Ч -Ч, коэффициент передачи ЭП; 15 максимальные значения амплитуды первого"и второго импульсов соответственно,20 пороговые напряжения ЭП после воздействия соответственно первым и вторым импульсными напряжениями.При подаче линейно возрастающего 25ЙЧчнапряжения на затвор ( - = сопвС)1 с1ток утечки 1 . Ч и соответственно падение напряжения на межзатворном диэлектрике Ч - Ч стабилизируется. Данное квазиравновесное состояние следует из модифицированного уравнения (1) с учетом (2) д(Ч-Ч) ЙЧя 11 К(1-К) ---- (5) 35йС ОС После того, как инжекционный токустанавливается на уровне Г 11-К йЧС --- пороговое напряжениец К 2 слинейно изменяется во времени, причем Таким образом, измерив пороговыенапряжения ЭП Ч и Ч после воздей 1ствия соответственно первым и вторым50импульсами напряжения с максимальными амплитудами Ч, и Ч можно определить коэффициент передачи К по формуле (4) .Дополнительным положительным эф 55 фектом предлагаемого способа является устранение необходимости изгоговления тестового транзистора для измерения величины К,В качестве примера конкретного применения способа измеряют коэффициенты передачи п-канальных ЭП с площадью канала 5 мкм. Исходные значения порогоного напряжения составляют около 2 В. Диапазон изменения порогово . напряжения при измерении токов уте чки лев рез межзатворный диэлектрик не пренышает для каждого ЭП 4 В.Для первого варианта способа значения амплитуд импульсов, подаваемых на управляющий затвор, составляют 40 и 45 В. Длительность импульсов изменяется в пределах (О, 1-2,0) с и выбирается так, чтобы изменение порогового напряжения в течение одного импульса составляет (0,1-0,2) В,Для второго варианта максимальные значения амплитуд первого и второго импульсов составляют соответственно 50 и 55 В. Скорость развертки равняется 800 В/с. Измеренные значения ко эффициентов передачи заряда, полученные двумя разными вариантами, отличаются не более, чем на 27.сТаким образом, использование предлагаемого способа измерения коэффициента передачи ЭП позволяет повысить точность измерений в несколько раз и освобождает от необходимости изготовления дополнительного тестового транзистора с омическим контактом между управляющим и плавающим затворами,формула изобретения Способ измерения коэффициента передачи напряжения элемента памяти на транзисторе с плавающим затвором, включающий подачу на сток, исток и подложку транзистора нулевого напряжения, подачу на управляющий затвор первого импульсного напряжения положительной полярности, измерение первого значения порогового напряжения, вычисление коэффициента передачи, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения точности измерения коэффициента передачи напряжения, после измерения первого порогового напряжения на управляющий затвор подают второе импульсное напряжение положительной полярности, максимальное значение амплитуды которого превышает на 1 - 10 В максимальное значение амплитуды первого импульсноо напряжения, проводят измерение второго значения поК (1 амплитуд соответственно первого и второгоимпульсных напряжений. Корректор М.Иароши Заказ 7963/54 Тираж 558 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул, Гагарина, 101 5 1531176 рогового Напряжения, причем первое и второе импульсные напряжения являются или последовательностью импульсов прямоугольной формы, или импульса 5 ми линейно возрастающего напряжения с одинаковой скоростью нарастания амплитуды, а коэффициент передачи К вычисляют по формуле Составитель Б.ВенковРедактор Г.Волкова Техред Л.Олийнык е, -1 )Ч -Чу,соответственно первое и второе значения пороговых напряжений - максимальные значения