Способ контроля плотности материалов

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТ ИЧЕСКРЕСПУБЛИК 19) (11) А 4 О 01 В 15 Г ЕНИЯ кий инст овател мского им, С,олитехниКирова 088,8) идетельст1 В 15/02ОЛЯ ПЛОТН о СССР 1980,СТИ ИАТЕ относится к изм пособам л с поа именнои твердых можетвательской пучков, в иссле по и мож ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССф ОПИСАНИЕ ИЗОБР К А ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ(71) Научно-исслетут интроскопии Тческого института(57) Изобретениетельной технике,контроля плотностмощью электронныхбыть использовано Изобретение относится к измерительной технике, а именно к с собамконтроля плотности твердых тел с помощью электронных пучков, етбыть использовано в исследовательскойработе и на производстве,Цель изобретения - увеличение глубины контроля путем использованиявторичного тормозного излучения дляопределения плотности материала,На чертеже представлена схема реализации способа,Пучок электронов с энергией Е направляют на поверхность первого образца 1 с плотностью ) на область,выделяемую каналом 2 коллиматора 3 наего поверхности, с радиусом г, Регистрируют выходящее из этой областитормозное излучение, проходящее че 2работе и на производстве, Целью иэобретения является увеличение глубиныконтроля, Она достигается использованием вторичного тормозного излучения цля определения плотности материала,На поверхности контролируемого материала вьщеляют предварительно определенные с помощью контрольных образцов две области поверхности, разделенные промежуточной областью первую область облучают пучком электронов, экранируют тормозное излучениеиз промежуточной области, измеряютинтенсивности тормозного излученияиз выделеннъх областей и по их отношению определяют плотность материала.1 ил. реэ канал 4 коллиматора 3 на первыи детектор 5йЭкранируют торцом 6 коллиматора 3 (Д кольцевую область йоверхиости с внеш- Я ним радиусом В и внутренним г, та- ф" ким, что В - г 7 Н, где Н - пробег электронов с энергией Е в материалеРегистрируют тормозное излучение иэ области поверхности за пределами экранируемой области вторым детектором 7, аналогичным детектору 5, Поглотители 8 и 9 исключает регистрацию в обратно рассеянных электронов,Определяют отношение результатов регистраций блоком 10 измерения отношений выходных сигналов детекторов5 и 7Устанавливают вместо первого образца второй образец с плотностью Го . Регистрируют тормозное излучение .г ф1525451 25 из тех же выделенных областей и определяют отношение результатов регистраций и различие д н отношений приВи г. Затем проводят описанныедействия при выделении области, ограниченной радиусами ВВ , и т,ди определяют различие отношений АЬ и т.д.Затем выделяют область с радиусом 10г и экранируют области с внутреннимрадиусом г и внешними радиусамиВВзв Въа и определяют Д Д,Ди т,д. Затем устанавливают коллиматоры с радиусом канала г и Радиу сами торца В, В, В з, г и В м,В , Ви т,д. и определяют ДЬп, Д, и Ь Д, Ь . Из всех Авыбирают наибольшее значение Д ко.торому соответствуют гф и В20Устанавливают коллнматор с радиусом какала для проводки пучка г ирадиусом торца коллиматора В , экранирующего область с внутренним радиусом г и внешним радиусом ВКонтролируемый материал устанавливают на торец колииматора и определяют различие Ь между отношением,соответствующим одному из образцов,например первому, и отношением,соответствующим контролируемому материалу,По различиям отношений результатов регистраций А и Ь и плотносхтям образцов определяют, например линейно интерполируя, плотность контролируемого материала по соотношениюДФ%.тшшаюшей 1 /кПрк использовании трех и болееобразцов с известными плотностями 40для определенияможет быть использована интерполяция более высокихпорядков, чем линейная, или аналитическая аппроксимация, например полиноминальная, методом наименьших квадратов,Формула и э о б р е т е н и яСпособ контроля плотности материалов, заключающийая в том, что выделяют первую область поверхности материала и вторую область поверхностиматериала за пределами первой области, облучают первую область пучкомэлектронов заданной энергии и определяют плотность материала, о т л и -ч а ю щ и й с я тем, что, с цельюувеличения глубины контроля при заданной энергии электронов в пучке,предварительно выбирают контрольные.образцы материалов разной плотности,выделяют на поверхности каждого образца первую область поверхности ивторую область поверхности, отделенную от первой промежуточной областью,ширина которой больше пробега электронов заданной энергии в данном материале, первую область каждого образца облучают пучком электронов заданной энергии, экранируют тормозноеизлучение из промежуточной области,регистрируют интенсивность тормозного излучения иэ первой и второй областей, вычисляют их отношение, изменяют размеры выделенных областей иповторно определяют отношение интенсивностей тормозного измерения иэ выделенных областей, выбирают такиеразмеры выделенных областей, при которых изменение отношения интенсивностей тормозного излучения иэ первой и второй областей достигает максимума при переходе от одного контрольного образца к другому, а на поверхности контролируемого материалавыделяют первую область поверхностии вторую область поверхности, отделенную от первой промежуточной областью,с выбранными размерами, при облучении первой области пучком электроновзаданной энергии экранируют тормозное излучение из промежуточной области,. регистрирует интенсивноститормозного излучения из первой и второй областей, вычисляют их отношениеи по нему определяют плотность материала.1525451 Составитель А.Себякедактор М,Келемеш Техред М. Ходанич ектор И,Нас изводственно-издательский комбинат "Патент", г. Укгррод, ул. Гагарина, 10 Заказ 7208/32 Тиразк 683 ВНИИПИ Государственного комитета по 113035, Москва, ЖПодписноеобретениям и открытиям при ГКНТ ССРаушская наб., д, 4/5