Устройство для управления смещением электронной пушки сверхвысоковольтного электронного микроскопа

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК ЯО 14994 А 1 3 37/(51) 4 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯН А ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ И ства ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ УПРАВЛЕНИЯ СМЕЩЕНИЕМ ЭЛЕКТРОННОЙ ПУШКИ СВЕРХВЪСОКОВОЛЬТНОГО ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПА(57) Изобретение относится к областиэлектронно-оптического приборостроения, в частности к устройствам управления электронными пушками сверхвысоковольтных электронных микроскопов.Цель изобретения - увеличение диапазона управлениясмещением электронной пушки при снижении энерго-.затрат на поддержание заданного реИзобретение относится к электрон но-оптическому приборостроению, в частности к устройствам управления электронной пушкой сверхвысоковольтного электронного микроскопа (СВЭМ).Целью изобретения является увеличение диапазона управления смещением при снижении энергозатрат на поддержание заданного режима работы микроскопа за счет использования в качестве коммутирующих элементов магнитоуправляемых герконов для высоковольтной развязки и дистанционного управления,На чертеже показан схема устрой 2жима работы микроскопа. Она достигается за счет использования в качестве коммутирующих элементов магнитоуправляемых герконов для высоковольтной развязки и дистанционного управления. Смещение задается резисторами делителя напряжения, включенного между отрицательным полюсом источника ускоряющего напряжения и катодом электронной пушки. Высоковольтные герконы соединяют точки соединения резисторов делителя напряжения с выводом модулятора. Система регулирования снабжена электромеханическим приводом управляющего герконами по стоянного магнита, а блок управления связан с приводом через оптронные ка налы связи. Устройство позволяет фиксировать заданный режим работы микроскопа при отключенном питании системы регулирования. 1 ил. В состав СВЭМ входит электронная пушка 1 катодом 2 и модулятором 3,формирующая электронный луч 4, между которым и отрицательным полюсом источника ускоряющего напряжения включен делитель 5 напряжения из последовательно соединенных высоко- вольтнык резисторов 6. Между точками соединения резисторов и модулятором 3 включены высоковольтные герконы 7, которые установлены с возможностью взаимодействия с постоянным магнитом 8, приводимым в движение электромеханическим приводом 9. При использовании в качестве привода электродвигателя с вращающимся отно 3 1499416сительно его оси постоянным магнитомгерконы располагаются в соосном цилиндрическом корпусе, который вместес электродвигателем располагаютвнутри защитного кожуха колонны микроскопа. Питание электродвигателяосуществляется от внутреннего акку"мулятора. Блок 10 управления связанс приводом через оптронные каналы 11связи, включающие светодиоды и фо"тодиоды инфракрасного диапазона,разнесенные на расстояние более одного метра. Одна из оптронных парслужит для обеспечения вращения электродвигателя (командный сигнал),другая - для задания направлениявращения (адресный сигнал),Устройство работает следуюцим об.разом. 20При включении электронной пушки 1между катодом 2 и модулятором 3 возникает некоторое смещение, котороеопределяет интенсивность электронно. -го луча 4. При необходимости изменения интвнсивности электронного луча в сторону увеличения или уменьшения смещения оператор включает адресный тумблер блока 10 или оставляет его в выключенном состоянии. Затем нажимает командную кнопку включения командного канала блока 10 идержит его до получения оптимального режима изображения. При этом возбуждаются адресные и командные светодиоды оптронных каналов 11 связи.Принятые адресным и командным фотодиодами оптические сигналы преобразуются в электрические и поступаютна соответствующие реле, в результате 40чего обмотка электродвигателя электро.механического привода 9 подключаетсяк источнику питания, а в случае включения адресного тумблера блока 10 -реверсируется. Электродвигатель привода 9 начинает вращаться, а механически связанный с его осью магнит 8 описывает окружность вдоль образующей расположения контактов герконов 7, замыкая их по мере прохождения. Соответствующий включенный геркон соединяет определенную точку делителя 5 с модулятором 3 электронной пушки.1При выключении адресного и командного сигналов установленное смещение на модуляторе 3 электронной пушки сохраняет свое значение без каких- либо энергозатрат.Формула изобретенияУстройство для управления смещением электронной пушки сверхвысоковольтного, электронного микроскопа, содержащее резистивный делитель напряжения, включенный между отрицательным полюсом источника ускоряющего напряжения и катодом электрон- . ной пушки, а также систему регулирования сопротивления участка делителя напряжения, подключенного к выводу модулятора электронной пушки, и блок управления, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью увеличения диапазона управления смещением при снижении энергозатрат на поддержание заданного режима работы микроскопа, система регулирования выполнена в виде набора высоковольтных герконов, включенных между точками соединения резисторов и выводом модулятора, и снабжена электромеханическим приводом, управляющего герконами постоянного магнита, а блок управления связан с электромеханическим приводом через оптронные каналы связи.1499416 ставитель В. Гаврюшинхред М.Ходанич Корректор М.Пожо Редактор азаренко раж 6 Подписи НТ СССР изводственно-издательский комби Заказ 4702/51 ВНИИПИ Госуда венно 11303 комитета по и Москва, Ж,бретениям и открытиям приаушская наб д. 4/5 атент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 10