Способ получения диэлектрической пасты

ZIP архив

Текст

(511 4 Н 01 В 3/12 ГОСУДАРСТЭЕННЫИПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ ИПРИ ГКНТ СССР ОМИТЕТТНРЫТИЯМ ЕТЕНИЯ АНИ ЛЬСТИ У шающей способности ты и напряж ния и 1 Р 25Н1,огила,нченко,РНКГ) СССВ74,тельст1/06, В Д.Э 1 РрЧВС -57 микросхем.ие разрекое с еоргании, содер- аллиэуюементаи 7,3 а с разбавляю и раст олучеп Пасту ложку ВК печати.о на керамическую подом трафаретнойс нанесенным рисунинают при 115+5 Сзатем вжигают впри 625-725 С (с аносят ет одложк й подс ом схем н течение конвейе й печи К АВТОРСКОМУ СВИ( ) Изобретение относится к электр технике, в частности к получению диэлектрических паст для изоляционных слоев толстопленочных1 ель изобретения - повыше 1 зобретение относится к электротехнике, в частности к получению диэлектрических паст для изготовления изоляционных слоев толстопленочных микросхем методом трафаретной печати,Цель изобретения - повышение разрешающей способности пасты и повышение напряжения гробоя изоляционного слоя.П р и м е р 1. Приготовление и испытание диэлектрической пасты,В трехгорлую круглодоную колбу помещают 0,5 г (1) этилцеллюлозы, 6,25 г (12,50 ь) дибутилфталата, смесь перемешивают до полного смачивания этилпеллн 1 озы. После чего добавляют 5,76 (11,50:) терпинеолаои нагревают при 90 С в течение 30 робоя изоляционного слоя, получаемого на ее основе, В смесителесмешивают, мас.У,: 56,8-58,48 порошка кристаллизующегося стекла или ситаллоцемента и 14,20-14,62 корундоного порошка с содержанием 99,5 Ес -окиси алюминия с органическимсвязующим, содержащим этилцеллюлозу,терпинеол и дибутилфталат в количестве 0,50-2,65; 2,37-17,50 и 6,2521,68 мас.7, соответственно. Послеобразования однородной массы добавляют 1,50-2,50 мас,l олеиновой кислоты до образования однородной пасты.Паста имеет растекаемость 30 мкм инапряжение пробоя после вжигания1800 В). 2 табл,40 мин, Полученное органиче зующее смешивают с 36,5 г н ческой порошковой композици жащей 29,2 г (58,40 И) крист щегося стекла или ситаллоц размером частиц 0,1-2 Й мкм (14,6 РХ) корундового порошк мером частиц 0,1-15 мкм, до 1 г (2 ь) олеиновой кислоты рают в агатовой ступке до и однородной массы, 1492385выдержкой при пиковой температуре10 миц).Составы диэлектрических паст приведены в табл, 1,П р и м е р 2. Приготовление ииспытание диэлектрической пастообразной композиции Д.В трехгорлую колбу загружают2,82 г (11,29/) вакуумного масла,0,56 (2,25/) канифоли, 0,56 г (2,25 Х)стеарина. Смесь нагревают при перемешивании до полного растворениястеарина (159 С) а затем смесь охлаждают до 60-70 С и выдерживают при15этой температуре в течение 40-50 мин,периодически перемешивая, Полученноеорганическое связующее ВККС смешивают с 18,8 г неорганической порошковой композиции, содержашей 15,04 г(60,15/) электровакуумного стеклаС-1 и 3,76 г (15,04 Х) глиноземаГК, добавляют 1,13 г (4,51/) ланолина и 1,13 г (4,51/) вазелицовогомасла и растирают в агатовой ступкедо получения: однородной массы.Пасту наносят на керамическую подложку методом трафаретной печати намикрометрическом столе П 11 - 40-48.Подложку с нанесенным рисунком-схемой загружают ири комнатной темпе 30ратуре в коцвейерцую печь и вжигаютпри 750+10 С.П р и м е р 3. Приготовление ииспьггание диэлектрической пастообразцой композиции Г. 35В термостойкую колбу загружают0,21 г (0,83/) вазелицового масла,3,11 г (12,43/) вакуумного масла,1,24 г (,97 Х) лацолица, 0,83 г(3,32/) стеарина и 0,62 г (2,49/) 40канифоли, Смесь нагревают при 150 Сдо полного растворения стеарина, азатем смесь охлаждают до 60-70 С ивыдерживают при этой температуре втечение 40-50 миц, периодически перемешивая, Полученное ограцическоесвязующее смешивают с 18,9 г неорганической порошковой композиции, содержащей 15,2 г (61,15 Х) ситаллоцемента СЦи 3,70 г.(14,81/) коруц 50дового порошка ПКГ,-99,5 и растираютв агатовой ступке до получения однородной массы. Получение рисункасхемы аналогично описанному в примере 2, 55 Качество яожженных пленок проверяют под микроскопом при 16-кратном увеличеции, растекаемость с помощью микроскопа инструментального, напряжение пробоя изоляционнбго слоя определяют с помощью уцинерсальной пробойной установки типа УПУК, тангенс угла диэлектрических потерь на приборе Г 4-7, сопротивление изоляции тераомметром типа Е 6-13 А при напряжении 100 ВСвойства покрытий, полученных на основе диэлектрических пастообразных композиций, приведечы в табл, 2 (пример 1 состав 1-2, пример 2 - состав 12, пример 3 - состав 13).Таким образом, данный способ позволяет получать диэлектрическую пасту, обеспечивающую получение покрытий толщиной 60-65 мкм с 100 Х-ным вьглодом годных от ерстий при размере окон ца траф,.рете 400 х 400 мкм. Растекаемость составляет 30 мкм.Напряжение пробоя 1750-1800 В при удовлетворительных величинах танген- са угла диэлектрических потерь и сопротивления изоляции,Формула изобретенияСпособ получения диэлектрической пасты, при котором смешивают минеральный наполнитель и органическое свяэующее, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения разрешающей способности пасты и напряжения пробоя изоляционного слоя, полученного на ее основе, в качестве органического свя ующего используют этилцеллюлозу, терпинеол и бутилфталат в количестве 0,50-2,65; 2,37-17,50 и 6,25-21,68 мас.Х соответственно, в качестве минерального наполнителя - кристаллизующееся стекло или ситаллоцемент в количестве 56,8058,48 мас.% и корунд, содержащий 99,5 мас.Х с( -окиси алюминия в количестве 14,20-14,62 мас/, органическое связующее смешивают с минеральным цаполнителем, после чего добавляют 1,5-2,5 мас./ олеиновой кислоты и смешивают компоненты до образования однородной пасты.1492385 Таблица 1 Содержание компонентов, мас.3 Состав Кристаллиэующееся стеклоили ситаллоПорошоккорундовый Олеиновая кислота Терпинеол Либутилфталат Этилцеллюлоэа цемент Таблица 2, т Качество покрытий РастекаНапряжение про- боя Толщина Сопро- тивлеТангенс Состав емость,мкмугла ди- электриПосле нанесения После вжигание ния изоляческих потерь ции,ОмХорошее60-65 60-65 50 30 1790 Не меХорошее Не более30 1 О нее10 30 60-65 Отличноеф"Хорошее Отличное 1800 ХорошееОтличноеХорошееОтличноеПлохое ОтличноеХорошееОтличное 30 10 10 50 50 (прототип) 43 55 30 10 1 О 13 730 Поверхность покрытия гладкая, отсутствуют непропечатанные места,незначительная неровность поверхности устраняется в процессевжигания, Практически отсутствуют изломы краев покрытия.Поверхность покрытия гладкая, блестящая. Отсутствуют дефекты покрытия в виде раковин, трещин, крупных пор, непропечатанных мест, Краяпокрытия ровные без изломов,Поверхность нервная, края отпечатков изломаны, имеются непропечатанные участки, поры, трещины. 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 4 5 6 7 8 9 10 11 12 ЭО 30 30 30 30 30 30 1,30 0,76 1,30 2,00 1,00 1,35 0,50 2,65 2,08 1,25 0,76 60-65 60-65 60-65 60-65 60-65 60-65 60-65 18,20 20,32 18,20 15,00 12,50 21,68 21,20 20,08 8,32 6,25 10,64 6,50 4,32 6,50 8,00 11,50 4,07 4,80 2,37 15,60 17,50 15,20 3,00 2,20 2,00 2,50 2,00 1,50 2,50 1,80 1,50 2,00 1,00 1750 1800 1750 1750 1800 1750 1800 820 56,80 57,92 57,60 58,00 58,40 57,12 56,80 58,48 58,00 58,40 57,92 30 ф 10ЭО 10-430 1030 10ЭО,1 О 430 1030 10 14,20 14,48 14,40 14,50 14,60 14, 28 14,20 14,62 14,50 14,60 14,48 1 О" 10" 10 и 1010 п 10 и 1 О

Смотреть

Заявка

4273908, 08.06.1987

ДОНЕЦКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ, ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Р-6668

АРТАМОНОВ АНАТОЛИЙ АЛЕКСАНДРОВИЧ, МОГИЛА НАДЕЖДА ИВАНОВНА, ПИВЕНЬ АННА НИКОЛАЕВНА, РОМАНЧЕНКО АЛЛА БОРИСОВНА, БРАГИН ВЛАДИМИР ПЕТРОВИЧ, МЕРЧЕНКО ИРИНА БОРИСОВНА, КОСОВА ЛЮДМИЛА НИКОЛАЕВНА

МПК / Метки

МПК: H01B 3/12

Метки: диэлектрической, пасты

Опубликовано: 07.07.1989

Код ссылки

<a href="https://patents.su/3-1492385-sposob-polucheniya-diehlektricheskojj-pasty.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ получения диэлектрической пасты</a>

Похожие патенты