Способ обработки оптических деталей

(56) Авторское581105, кл. САвторское св1212997, кл. (54) СПОСОБ ОБР ТАЛЕЙ идетельство СССР 3 С 15/00, 1975. етельство СССР 03 С 15/00, 1984 ОТКИ ОПТИЧЕСКИХ растСкоГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИПРИ ГКНТ СССР ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ(57) Изобретение относится к технологии оптического производства в оптикомеханической и электронной промыпленности. Цель изобретения - повышение скорости травления и снижение трудоемкости процесса обработки. Способ обработки оптических деталей включает предварительную подготовку их поверхо ности перегретым паром при 110-130 С в течение 5-10 мин и травление в воре фтористоводородной кислоты. рость травления составляет 5 - 29 мкм/мин. 1 табл.1451115 Изобретение относится к технологии оптического производства и может быть использовано в оптико-механи еской и электронной промьпцленностях, например, 5 при изготовлении несущих элементов конструкций повышенной прочности из стекла и ситалла.Цель изобретения - повьшение скорости травления и снижение трудоемкости процесса обработки.11 редварительно перед травлением детали обрабатывают перегретым водяным паром при 110-130 С в течение 5- 10 мин. 5Способ обработки оптических деталей из хрупких материалов реализуют следующим образом,Обработку оптических деталей перегретым водяным паром проводят в автоклаве марки ГКпо следующему режиму: температура водяного пара 110- 130 С, время обработки 5-10 мин. Травление осуществляют в растворе 40 -ной фтористоводородной кислоты до 25 съема на глубину 50 мкм. Съем материала определяют индикатором часового типа, который имеет шкалу измерений О О/ " l/Б 1 Б. Б 1. + Н ОБ 1. Б 1.Г;ГО 0 0 0+ НБ.О+ (Б 10,), (Н,О) трудоемкость изготовления деталей повышенной конструкционной прочности.Использование изобретения позволяет повысить скорость травления оптических материалов за счет дополнительного воздействия водяного пара собрабатываемой поверхностью деталей,расщеплением силоксановых связей каркаса стекла и ситалла и образованиемактивных силанольных групп; снизитьтрудоемкость изготовления деталей повышенной конструкционной прочности в4-5 раз за счет уменьшения времениобработки,40Таким образом, повышение скорости травления оптических материалов можно объяснить гидролитическим расщеп 0 лением силоксановых связей ( БдО 45Б 1. ) при автоклавировании стекла ги ситалла с образованием активных силанольных групп ( Б + Б 1 )О- О 50Из данных таблицы видно, что оптимальные режимы обработки деталей в среде перегретого пара с последующим травлением лежат в следующем интервале температура водяного пара 120 С,55 время обработки 7,5 мин. При этих режимах наблюдается максимальное увеличение скорости травления оптических материаловчто резко снижает мкм, время травления контролируют секундомером.Результаты сравнительных испытаний приведены в таблице. Анализ полученных экспериментальных данных позволяет заключить, что в предлагаемом способе наблюдается повышенная скорость травления исследованных оптических материалов засчет введения в производственный циклдополнительной операции обработки поверхностей деталей в среде перегретого водяного пара, что снижает трудоемкость изготовления деталей повышен ной конструкционной прочности в 45 раз. ИК-спектральный анализ показал, что в процессе автоклавирования стекла и ситалла на их поверхности образуются реакционно-способные ЕБ-ОН группы (валентные колебания в области 2700-3000 см ), возмущенные Н-связями с адсорбированной водой, кремниевая и поликремневая кислоты по схеме: Формула изоб ре тени яСпособ обработки оптических деталей путем предварительной подготовки их поверхности и травления в растворе4511 фтористоводородной кислоты, о т л ич а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения скорости травления и сниже 154ния трудоемкости, предварительную подготовку ведут перегретым паромопри 110-130 С в течение 5-10 мин.1 Способ травления Марка оптического материала.0,4 Стекло 6 Ва 4Стекло К 8Ситалл СОМ 0,3 24 время обработки 1 О мин 0,4 12 Кварцевое стеклоКВ 0,5 отемпература водяного пара 120 С Стекло 6 Ва 4 0,4 16 0,3 Стекло К 8 время обработки 7,5 мин 0,4 18 Ситалл СОМ Кварцевое стеклоКВ 0,5 температура водяного пара 130 С Стекло 6 Ва 4 0,4 12 0,3 Стекло К 8 Ситалл СОМ 25 время обработки 5 мин 0,4 12 Кварцевое стеклоКВ 0,5 Составитель О, СамохинаРедактор Н. Киштулинец Техред Л. Сердюкова Корректор М, Самборская Заказ 7031/18 Тираж 416 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-полиграФическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 Предварительная обработка перегретым водяным паром по следующему режиму:отемпература водяного пара 110 С Скорость Трудоемкость травления процесса, н/ч, мкм/мин при съеме50 мкм