Способ интерференционного контроля

144999 Класс 42 Ь, 12 вз ссс ДПИСЬНИЕ ИЗОБРЕТ К АВТОРСКОМ) СВИДЕТЕЛЬС Подппсна группа ЛЯ 114 Ю. В. Коломийцев ОСОБ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОГО КОНТР6 апреля 1960 г. за .ЛЪ 663251/25евий и открытий при Совете Миннстро Заявлено1 елам изоб Комитет Бюллетене изобретений М Опубликован чя осуществлен Известны способы интерференционного контроля правильнос 1 и формы торических и цилиндрических поверхностей.Однако известные способы не сбеспечивают получения интерференционной картины.Предлагаемые способы не имеют указаннего недостатка. Это достигается тем, что дуга контролируемой торической или цилиндрической поверхности сравнивается с чугой эталонного сферического зеркала аналогичного радиуса кривизны с использованием малоответственных цилиндрических линз, устанавливаемых до разделения интерферирующих пучков лучей и после их соединения.На чертеже изобракена схема устройства д.ия предлагаемого способа. в сечениях по А-А и Б-Б.Для осуществления способа применяется интерферометр, состоящий из диафрагмы 1 с малым отверстием, освещенным монохроматпческим светом, объектива 2 коллиматора, отрицательных цилиндрических линз 3 и 4, микрообъективов 5 и 6, кубика 7 с полупрозрачной диагональю, вогнутого сферического зеркала 8, контролируемого кольца подшипника 9 и объектива 10 зрительной трубы. В горизонтальном сечении А-А объектив 2 совместно с линзой 3 и кубиком 7 дает изобоажение отверстия диафрагмы 1 на вершинах поверхностей зеркала 8 и подшипника 9. В вертикальном сечении Б-Б изображения отверстия совмещены с центрами кривизны Си С поверхностей зеркала и подшипника. При этом отраженные от этих поверхностей лучи в обоих сечениях идут обратно по прежним направлениям и после прохождения через объектив б и линзы 4 делаются направленными параллельно оптической оси. В фокусе Р объектива 10 получаются два совмешенньх изобракения.отверстия, Глаз, помещенный в точку Р, видит в объективе 10 интерференционную картину. Если поверхность подшипника 9 идеальна и если радиус кривизны дети 5 желоба равен радиусу зср3 о 1 ф 4999кала 8, то наблюдается равномерно освещенное поле зрения, наличие волнистости или отступлений дуги 5 от правильной окружности вызывает появление горизонтальных интерференционных полос. По наименьшему числу полос можно измерить величину местных ошибок желоба в сечении 5 и построить профиль поверхности в этом сечении. Если радиусы кривизны поверхностей зеркала и подшипников несколько отличаются друг от друга, то перемещением кольца вдоль оптической оси можно получить вертикальные полосы. При этом ошибки поверхности измеряются по местным искривлениям полос или по их числу, пересекающему вертикальный диаметр поля зрения. Достоинством данной схемы является сравнение торической поверхности подшипника 9 со сферической поверхностью зеркала 8, которая может быть изготовлена с большой точностью, Через линзы 3 и 4 и объективы 5 и б проходят интерферирующие пучки лучей, и поэтому к качеству пОлучаемого изображения можно не предъявлять высоких требований. Схема осуществления способа может быть при этом видоизмененз. Цилиндрические линзы 3 и 4 рассчитываются так, чтобы изображЮние отверстия в сечении А-А совпали с центром 0 кольца. При этом возможен контроль волнистости на участке поверхности не только по дуге 5, но и в перпендикулярном к ней сечении.В этом случае в качестве поверхности сравнения принимается эталонная торическая поверхность зеркала 8, Согласно имеющемуся заключению предлагаемый способ, основанный на применении в оптической схеме целесообразного расположения цилиндрических линз, не требующий их высокой точности, открывает возможности технического усовершенствования таких изделий, как шариковые подшипники. До настоящего времени для шариковых подшипников измерение геоМетрии торических поверхностей желобов внутренних колец с точностью до десятых и даже сотых долей было недоступно.Предлагаемый способ рекомендуется для применения в промышленности как в системе выборочного контроля массовых подшипников так и для контроля радиусов кривизны и волнистости поверхности желобов внутренних колеи подшипников, к которым предъявляются повышенные требования.Предмет изобретенияСпособ интерференционного контроля правильности формы торических и цилиндрических поверхностей, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью получения интерференционной картины, дуга контролируемой торической или цилиндрической поверхности сравнивается с дугой эталонного сферического зеркала близкого радиуса кривизны с использо. ванием малоответственных цилиндрических линз нормальной точносги, устанавливаемых до разделения интерферирующих пучков лучей и после их соединения.144999 Маиежева Техред А. А Кудрявицкая Корректор Г. Е, Кудрявцева1 О едакто 1-62 г. Формат бум. 70 Х 108/аТираж 750БТИ при Комитете по зелам изобретений ипри Совете Министров СССРМосква, Центр, М. Черкасский пер., д. бъем 0,26 изд, л Цена 4 коп одп. к печ.ак. 564 омитета по делам изобретений и открытипиетров СССР, Москва, Петровка, 14. ипография БТ овете