Вакуумный крионасос

) Р 04,3 37/08 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИПРИ ГННт СССРПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯг ЛЬС ТОРСКОМУ СВИ(56) Авторское свидетельство СССРУ 992813, кл, Р 04 В 37/08, 1981. 80;, 1447011 А 2(57) Изобретение относится к вакуум ной технике и может быть использова но для получения высокого вакуума, Цель изобретения " повышение зкономичности крионасоса путем снижения расхода криоагента на предваритель ное охлаждение. Ио оси корпуса 1 с верхней крышкой 2 расположен откачи,3 снабжен горловиной 4, закрепленнойна крьгшке 2, Змеевик 5 закреплен наповерхности С 3 с тепловым контактоми имеет входной конец 6, герметичновведенньц во внутреннюю полость С 3и расположенный выше уровня криоагента. В горловине 4 С 3 размещен 10сиФон 9 для подачи криоагента, установленный с возможностью осевого перемещения и снабженный уплотнительным кольцом 10, Кольцо 1 О расположе Изобретение относится к вакуумной технике, а именно крионасосам, предназначенным для получения высокого вакуумаЦелью изобретения является повышение экономичности путем снижения расхода криоагента на предварительное охлаждение насоса.На чертеже представлена схема крионасоса30Вакуумный крионасос содержит кор пус 1 с верхней крьппкой 2 и расположенный по оси корпуса 1 откачивающий элемент, выполненный в виде сосуда 3 для криоагента, снабженного горло викой 4, закрепленной на верхней крьппке 2, змеевиком 5, закрепленным на поверхности сосуда 3 с тепловым контактом и имеющим входной копец 6, герметично введенный во внутреннюю полость сосуда 3 и расположенный впше уровня криоагента, и кассетой 7 с адсорбентом 8, размещенным между витками змеевика 5, Насос дополнительно содержит размещенный в горловине 4 сосуда 3 сифон 9 для подачи криоагента, установленный с возможностью осевого перемещения и снабженный уплотнитель 1 ым кольцом 10, расположенным на его наружной поверхности, и закрепленное на нижнем торце горлови ны 4 клапанное седло 11, Кассета снабжена газопроницаемым экраном 12, закрепленным с тепловым контактом Яа змеевике 5 выходной ,очрц 13 ко5 торого герметично подсоединен к горловине 4 выше седла 11, Кроме того, крионасос снабжен поддоном 14 дпя сбора конденсата, закрепленным с тепно на наружной поверхности сифона:9.На нижнем торце горловины 4 закреплено клапанное седло 11, Выходнойконец 13 змеевика 5 герметично подсоединен к горловине 4 вьппе седла11. Между витками змеевика 5 размещена кассета 7 с адсорбентом 8. Кассета 7 снабжена газопроницаемым экраном 12, Конденсация откачиваемогогаза на поверхностях С 3 и змеевика5 происходит в виде твердой фазы,Неконденсируемые газы откачиваютсяадсорбентом 8 через экран 12. 1 ил,ловым контактом на нижних виткахзмеевика 5, и охлаждаемым экраном15, расположенным между стенкой корпуса 1 и сосудом:3,Крионасос работает следующим образом,Предварительно осуществляется вакуумирование полости корпуса 1 иохлаждение экрана 15, а также предварительное захолаживание сосуда 3 путем подачи в него по змеевику 5 хлад" -агента (жидкого азота). После доведения температуры сосуда 3 до температуры хладагента последний удаляетсяиз сосуда 3, сифон 9 опускается вгорловину 4 гаким образом, что уплотнительное кольцо 1 О входиг в контактс клапанным седлом 11, обеспечиваяразделение в зоне торца горловины 4полости сосуда и горловины, Черезсифон 9 в полость сосуда 3 подаетсякриоагент (жидкий гелий), который,охлаждает сосуд 3, а его пары черезвходной конец 6 отводятся по змеевику 5, дополнительно охлаждая сосудВыход паров осуществляется через горловнну:4, По мере охлаждения сосуда3 и повышения уровня криоагента в немвозможно попадение в змеевик 5 парожидкостной смеси и выброс части жидкости через выходной конец 13. Благодаря соединению выходного конца .13змеевика 5 с горловиной 4 жидкийкриоагент задерживается в горловине,а пары его отводятся, При подъеме си"фона 9 жидкий криоагент вновь можетбыть возвращен в сосуд 3, что обеспечпвает экономичное использование криоагентаВакуумный крионасос, содержащийкорпус с верхней крышкой и располо ТехредМ,Моргентал Корректор ВЖрняк Редак тор Л. Письман Заказ 3329 Тираж 498 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям прн ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина, 101 5 14При работе крионасоса в форвакуумном режиме, когда давление откачивае мого газа превыпает его давление в тройной точке, образующейся на стен-: ках сосуда 3 и на змеевике 5 жидкий конденсат стекает в поддон 14, где в дальнейшем при понижении давления замораживается.При работе крионасоса в качестве высоковакуумного средства откачивае мый газ целесообразно подавать в него при условии достижения рабочей температуры на стенках сосуда:Э Конденсация откачиваемого газа на поверхностях сосуда и змеевика осу ществляется в этом случае в твердую фазу, а неконденсируемые газы откачиваются адсорбентом, проникая к нему через газопроницаемый экран 12, Формула и э обретения 47011 6женный по оси корпуса откачивающийэлемент, выполненный в виде сосудадля криоагента, снабженного горловиной, закрепленной на верхней крышке,и змеевиком, закрепленным на поверхности сосуда с тепловым контактом иимеющим входной конец, герметичновведенный во внутреннюю полость сосуда и расположенный выше уровнякриоагента, о т л и ч а ю щ и й с ятем, что, с целью повышения экономичности путем снижения расхода криоагента на предварительное охлаждение,насос дополнительно содержит раэмещенный в горловине сосуда сифон дляподачи криоагента, установленный своэможностью осевого перемещения иснабженный уплотнительным кольцом,20 расположенным на егонаружной поверхности, и закрепленное на нижнем торце горловины клапанное седло, а выходкой конец змеевика герметично подсоединен к горловине выше седла,