Интерферометрический способ измерения линейных перемещений объектов

СООЗ СОЮТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИК 9) 111) 15 О 4 С О 1 В 11 РЕТЕНИ руются конт измерения б ОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОбРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТ ОПИСАНИЕ ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ(71) Институт электроники АН БССР (72) А.Л. Старков и В,Н. Ильин (53) 531.14(088.8)(54) ИНТКРФЕРОИЕТРИЧЕСКИЙ СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ ОБЪЕКТОВ (57) Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться для измерения перемещений объектов. Цель изобретения - повышение точности измерения при расширении диапазовеличин - достигается заики контраста интер- картины, связанного с нтности источника. Фори измерительный оптирегистрируют количест" ционных полос, по котот величину перемещения достижении величиной печетного значения дискретлину опорного канала на чину в направлении перета. При этом стабилизист картины и погрешность ьших расстояний. 1 ил. на измеряемых путем стабили ференционной длиной когере мируют опорныи ческие каналы во интерйерен рым определяю объекта. При ремещения рас но изменяют д такую же вели мещения объекИзобретение относится к измерительной технике и может использоваться для измерения больших перемещенийобъектов.Цель изобретения - повышение точности измерения при расширении диапазона измеряемых величин путем стабилизации контраста интерференционнойкартины, связанного с длиной когерентности источника.На чертеже представлена оптическая схема, поясняющая способ.Способ осуществляется следующимобразом. 15Пучок излучения источника 1 монохроматического света делится светоделителем 2 на два, один иэ которых,отразившись от зеркала 3 и зеркала4, связанного с объектом, формирует 20измерительный канал 5 интерферометра, а другой, отразившись от зеркал 6 или , или 8, формирует опорный канал 9 интерферометра. Оба каНала проходят через плоскопараллельную пластину 10, предназначеннуюдля перемещения пучков параллельносамим себе, Пройдя каналы 5 и 9,1пучки интерферируют на светоделителе2, а интерференционная картина регистрируется двумя фотоприемниками11 и 12 с двумя щелевыми диафрагмами 13 и 14.С помощью диафрагм 13 и 14 выходные сигналы с фотоприемников 11 и12 сдвигаются по фазе друг относиотельно друга на 90 , что позволяет,вести реверсивный счет интерференциОННЫХ ПОЛОСеПри перемещении объекта регистрируют интерференционные полосы фото 40приемниками 11 и 12 м по количествуМ полос определяют величину перемещения объекта 1 = И - где Ъ2 длина волны света в воздухе.При больших перемещениях объекта снижается контрастность интерференционных полос иэ-за конечной длины когерентности источника света и соответственно увеличивается погрешность измерения, поэтому осуществляют непрерывное измерение разности хода интерферирующих пучков и при достижении разности хода величины Б=0,8 ф-К 1., где К - заданная контрастность йолос," Е - длина когерентности источника света, дискретно путем поворота пластины 10 изменяют длину опорного канала на величину Б в направлении перемещения объекта, при этом пучок канала 9 переходит с одного из зеркал канала 9 на другое из зеркал этого же канала. Зеркала канала 9 расположены на расстоянии Б одно от другого.При изменении длины опорного канала 9 на величину Б происходит стабилизация разности хода пучков, контрастности полос и погрешности измерения больших перемещений.Формула изобретенияИнтерферометрический способ измерения линейных перемещений объектов,заключающийся в том, что формируютизмерительный и опорный каналы, регистрируют интерференционную картинуи по числу интерференционных полоссудят о величине перемещения, О тл и ч а ю щ и й с я тем, что, сцелью повышения точности при расширении диапазона измеряемых величин,после регистрации интерференционнойкартины определяют разность ходапучков измерительного и опорного каналов и при достижении этой разностью значенияБ = 0,8 Д-К 1,где К - контрастность интерференционных полос,Ь - длина когерентности источниника света,дискретно изменяют длину Опорноно1397719 Редак Корректор М.Пожо е еш Заказ 2261/3 Тираж 680И Государственного комитета СССделам изобретений и открытийМосква, Ж, Раушская наб., д. исно я, 4 рое зводственно-полиг Составитель А.ГордТехред А.Кравчук ское предприятие, г, Ужгор