Устройство для измерения удельного сопротивления

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 19) 01) 51)4 С 01 К 27 АРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СС ЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНР ПО ДЕ ЫТИЙОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ ЛЬСТВ К АВТОР И(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗИБНОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ(57) Изобретение относительной технике, в частройствам для измерениясопротивления электропрложек четырехзондовым мретение обеспечивает по УДЕЛ ся к измериости к устудельногооводящих подетодом. Изобвышение точ 2(56) Справочник. Технология т пленок/Под ред. Л.Майселла, Р М.: "Сов.радио", 1977, с. 311 Авторское свидетельство СС У 387303, кл, 6 01 К 27/02, оп 2106.73.ности измерения путем уменьшенияслучайных отклонений межзондовогорасстояния. Устройство содержит корпус 1, в котором размещены зонды 2,выполненные в виде электропроводящихпластин с заостренной контактирующейчастью. Каждый зонд отделен от последующего изолирующей прокладкой 3 стокосъемником 4. В центрирующие отверстия токосъемника и прокладок проходит стержень 5 с надетым на негоупругим изолятором б, Между корпусом1 и одним из внешних зондов установлена пружина.7. Корпус отделен отзондов 2 и токосъемников 4 изолирующими прокладками 8 и 9 из полиимиднойпленки. Пружина 7 плотно прижимаетзонды и изолирующие прокладки токосъемников, что устраняет люфт междузондами. 2 илИзобретение относится к измерительной технике, в частности к устройствам для измерения удельного сопротивления электропроводящих под 5 ложек четырехзондовым методом,Целью изобретения является повышение точности измерения путем уменьшения слуЧайных отклонений межзондового расстояния.На фиг. 1 изображено устройство для измерения удельного сопротивления; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1 15 (вдоль плоскости симметрии одного из зондов) .Устройство для измерения удельного сопротивления (фиг. 1) содержит 20 корпус 1, в котором размещены зонды 2, выполненные в виде электропроводных пластин с заостренной контактирующей частью (фиг. 2). Каждый зонд 2 отделен от последующего изолирую щей прокладкой 3 и токосъемником 4. Зонды 2, изолирующие .прокладки 3 и токосъемники 4, имеют центрирующие отверстия, через которые проходит стержень 5 с надетым на него упругим изолятором 6. Стержень 5 закреплен в корпусе 1, Между корпусом 1 и одним иэ внешних зондов, например 2, установлена пружина 7Корпус отделен от зондов 2 и токосъемников 4 изолирующими прокладками 8, 9 (фиг. 1). и35 10 (фиг. 2). В качестве материала корпуса используют сталь ХВГ. Зонды изготавливают из твердого сплава ВКМ толщиной О, 1-0,5 мм. В качестве изолирующих прокладок 3, 8 и 9 используют полиимидную пленку толщиной 50 мкм. Изолирующие прокладки 10 (фиг. 2) изготавливают из керамики "Поликор" толщиной 2 мм. Токосъемни 45 ками служит напыленная на полиимидную пленку проводниковая структура хром-медь толщиной 0,5-2,0 мкм. Стержень изготавливают из стали ХВГ, а эластичный изолятор 6 - из резины. Устройство для измерения удельного сопротивления работает следующим образом.При опускании корпуса 1 зонды 2 соприкасаются с измеряемой подложкой и начинают деформировать упругий изолятор 6, надетый на стержень 5. Опускание корпуса 1 и деформация упругого изолятора 6 происходит до тех пор, пока все зонды 2 не соприкоснутся контактирующей частью с подложкой и не будет достигнуто требуемое усилие прижима зондов к подложке. При этом стержень 5 ограничивает перемещение зондов в вертикальном направлении, а изолирующие прокладки 10 (фиг, 2) - в горизонтальном направлении. Изолирующие прокладки 3 и эластичный изолятор 6 обеспечивают электрическую развязку зондов 2 между собой, а токосъемники 4 - подключение зондов к внешней измерительной схеме (на фиг, 1 не показана). Пружина 7 обеспечивает плотное прилегание зондов, изолирующих прокладок и токосъемников друг к другу, что в свою очередь устраняет люфт между зондами.Формула изобретенияУстройство для измерения удельного сопротивления, содержащее корпус, размещенные в нем заостренные электропроводящие зонды и токосъемники, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности измерения за счет уменьшения случайных отклонений межзондового расстояния, зонды и токосъемники выполнены в виде злект-, ропроводных пластин, причем каждый зонд отделен о т последующего изолирующей прокладкой и токосъемником, причем зонды, изолирующие прокладки и токосъемники имеют центрирующее отверстие, сквозь которое проходит стержень с надетым на него упругим изолятором, а между корпусом и изолирующей прокладкой одного из крайних зондов установлена пружина.1385087 и СоставитЬл Техред Л.С МаксименкоковаКорректор В. Бутяга актор Н. Горв писное Зака комитета СССРоткрытий ая наб.,изводственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул, Проектная, 4 1/44ВНИИПИ Гос по делам 113035, Москва