Способ контроля поверхностей

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНРЕСПУБЛИН ЯО 13830(5 1/30 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ асср ,АНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУм,; Р О АВТ(56) Авторское свидЯф 1260780, кл. С 0 9 11Д.К. Саттаров Черепанова етельство СССР В 11/30, 1984.(54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ПОВЕРХНОСТЕЙ(57) Изобретение относится к неразрушающим методам контроля изделий оптического приборостроения и позволяет выявлять локальные дефекты навнутренних поверхностях каналовмикроканальных пластин по всей ихдлине. Способ заключается в заполнении микроканалов на всю их длину нематнческим жидким кристаллом(НЖК) под действием капиллярныхсил и наблюдении излучения торцов микроканалов с помощью поляризационногомикроскопа. Это позволяет визуализировать дефекты поверхности, так какизлучение из торцов бездефектныхканалов почти полностью гасится, апри наличии дефектов за счет дополнительной фазовой задержки наблюдается повышенная интенсивность излучения торца, Для анализа картин распределения интенсивности излучения всечении нескольких тысяч микроканалов используется ЭВМ, По окончанииконтроля слой НЖК удаляются из микроканалов с помощью растворителей,не вызывающих изменений в состоянииповерхностей. 2 ил.Изобретение относится к неразрушающим методам технологии оптического приборостроения и может быть использовано для выявления дефектовна внутренних поверхностях каналовмикроканальных пластин,Цель изобретения - появление локальных дефектов внутренних поверхностей каналов микроканальных пластин по всей их длине.На фиг, 1 приведена оптическаясхеманаблюдения по предлагаемомуспособу на фиг. 2 - бездефектный идефектный микроканалы, заполненныежидким кристаллом.Схема содержит источник 1 излучения, конденсатор 2, поляризатор 3,микроканальную пластину 4, анализатор 5, объектив 6 микроскопа, дефектные каналы 7 микроканальной пластины,Для выявления дефектных каналовмикроканальной пластины из баратногостекла толщиной 1-2 мм эти каналы 25диаметром 9,5 мкм заполняют нематическим жидким кристаллом МББА поддействием капиллярных сил, Локальныедефекты внутренних поверхностей каналов создают локальные деформацииоднородно ориентированных молекулжидкого кристалла, которые визуализируются в поляризованном свете засчет возникающей фазовой задержки,Тогда излучение источника 1 черезконценсор 2 и поляризатор 3 вводится в каналы микроканальной пластины4, заполненные жидким кристаллом.Излучение, проходящее бездефектныйканал, почти полностью гасится наанализаторе 5, скрещенном с поляризатором 3, В случае наличия в канале дефектов излучение, проходящеечерез него с фазовой задержкой, проходит через анализатор 5 в объектив45поляризационного микроскопа 6 инаблюдается оператором.Для анализа распределения интенсивности излучения торцов несколькихтысяч микроканалов может быть использована ЭВМ. Для этого в память ЭВМ 50 методом сканирования торцов микроканалов вводится информация о значениях фиксируемых интенсивностей, азатем рассчитываются на полученноммассиве случайных значений интенсивности моменты первого и второго порядка. Дефектные каналы обнаруживаются в этом случае при анализе распределений интенсивности просканированных каналовЕсли в микроскоп одновременнонаблюдается 250 микроканалов со стороны их торцов, то с помощью ЭВМза 3-5 мин методом сканированиянаблюдается и обрабатываются 5 тысмикроканалов.Слой жидкого кристалла по окончании контроля поверхностей удаляетсяиз микроканалов с помощью растворителей, например спирта или ацетона,не вызывающих каких-либо измененийсостояния контролируемых поверхностей.Таким образом, с помощью предло-.женного способа обеспечивается ви-.зуализация дефектов внутренних поверхностей каналов микроканальныхпластин йо всей их длине,Формула и з о б р е т е н и яСпособ контроля поверхностей,заключающийся в том, что создают контакт поверхности с нематическим жидким кристаллои, наблюдают излучениеиз области контакта в оптическиймикроскоп, о т л и ч а ю щ и й с ятем, что, с целью выявления локальных дефектов внутренних поверхностейканалов микроканальных пластин повсей их длине, контакт создают путемзаполнения каналов под действиемкапиллярных сил с ориентацией длинных осей молекул параллельно оси канала, размещают каналы вдоль оптической оси поляризационного микроскопа между скрещенными анализатороми поляризатором и наблюдают излучение торцов каналов,1383090 А.Гусе дюкова Составител Техред Л.Се Корректор М,Максимишин Редактор С,Патрушев Заказ 1280/ Тираж 680НИИПИ Государственного комитета ССпо делам изобретений и открытий13035, Москва, Ж, Раушская наб,одписное Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, у ектная, 4