Электростатическая система отклонения

Номер патента: 1321306

Автор: Якушев

ZIP архив

Текст

, 1980.СКАЯ СИСТЕМА я к электроннойтронно-лучевымспольэовано дляения пучков зарятическая сис емалт отклоняющие. Оси,С 1 стема откл О;клоняющие пла телями 2, сцентр ми сторжнями 3,шайбь( 5, пр(лжи ви.(7,2) содекимидзоляциэолируР 8 П 8 Онения (ф(иг,1 стины 1 с плос ирс ванн ь(м(л иОснование 4, иНО 8 КОЛЬЦО 6 ржит пжа- нныющие л(ные ГосудА. стВенныЙ комитетОО ИЗОБРЕТЕНИЯМ и ОТКРЫТИЯПИ (КИТ СССР АВТОРСКСУ.У ГВИ,57) Изобр(8 гени(8 Отно (ит(,Оптике Б частНос(и (, Зл 8при(ЬО,ам, и мох(8( бь ть иразработки систем Отклонженных часгиц, Злек(ростаОтклонения ЗСО) содерж Иэобое, ение, тносится к электронной Опике, э час(нОО(и к электронно-лучевым приборам, и может быть использовано для раэрабо(тки систем Отклонения пучксв заряженнь(х частиц,Целью (изобретения является уменьшение габаритов и металлоемкости системы отклонения за счет уменьшения размеров установо(ных элементов при сохранении точности сборки.На фиг,1 показана с(лстема откло(чения, продольный разрез; на фиг.2 - то же, гюперечный раЗрез; на фиГ,З и 4 - отклоняющая пластина, соответственно разрез и вид по пластины ОП) 1 с плоскими держателями 2, сцен.(.рированными изоляционными стержнями 3, основание 4, изолирующие шайбы 5. Каждая ОП 1 состоит иэ полос, расположенных по общей, например цилиндрической, поверхности параллельно образующей цилиндра, установленных во внутренней поверхности секторов кругового кольца, каждь(й из которых имеет два центрирующих отверстия под стержни 3 и отверстия для винтов 7, при этом секторы размещены попарно в Одной плоскости для одной пары ОП 1. повернутых относительно нее на 90. Это позволяет уменьшить габариты и металлоемкость ЭСО за счет уменьшения размеров в 1,7 - 2 раза по высоте. 4 ил,Каждая отклоняющая пластина 1 (фиг.З и 4) состоит из полос 8, расположенных по общей, например цилиндоической, поверхности параллельно образующей цилиндра, установленных во внутренней поверхности секторов 9. кругового кольца. Сектор имеет два центрирующих отверстия 10 под стержни 3 и отверстия 11 для прохода винтов 7. Секторы попарно размещены в одной плоскости для одной пары пластин и в другой плоскости - для другой пары пластин, повернутых относительно первых на 90,В сборе стержни 3 центрируют смежные концы секторов так, что полосы одной пластин ы, вложен н ые .между полосами. составляющими другие пластины, располагаются по одной общей поверхности. При этом винты 7 через прижимное кольцо б и дистанционные изолирующие шайбы 5 надежно фиксируют систему в собранном ви В атой конструкции высота пакета:екторов в 1,7-2 раза ниже по сравнени 1 з с известным техническим решением. Это позволяет, например ВГ 1 лотную ус" 5 танавливэть такие отклоняющие системы к выходному Отверстию ксНй:8, к их зкрано.: встроеннрх,злектронных душе. Ожесп-Ктрометров с анализаторами Гипа цилиндрическоезеркало, Сокращается расстояние о:. "Г обьективноЙ линзы до обьекта исследования улучшается фокусир:Вка злектронноГО пучка, повышается разрешен 8 с 1 ектро. метра,5КОН СТОУКЦИЯ ОТКЛ ОН Я ГО Це 1 СИСГЕМ Ь имеет меньшие ГабВриты, прост:.;: в изГотов лении, Н 8 требу 8 т сложной юсГирОВки. Формула изобретения Электростатичес ая система отклонения, содержащая отклоняющие пластины, выполненные а виде ряда полос, расположенных пО коническОЙ или цилиндрической поверхности параллельно образующих и ус,а ВЛВНГЫХ 60 ВБР РВННВЙ ПОВЕРХНОСТИ плоских держателе, сриентированных перГ 1 ендикулярно Г 1 родольной оси сист 8 мы и заФиксированных Ги:,жду собой через изолирующиеийбы ц,.,Нтрирующими стержнями. размеще. ( ьми , Отверсиях деожате- ЛИ ОТЛ ИЧа Ю Ща Г Г Я ТЕМ хО С ЦЕЛЬЮ УМЕНЬШЕНИЯсОВРИТОс, И Металлое КОСТИ, Д 8 ржатели Отклоняющих пластин выполн 8 ны в виде зеаоров круГОВОГО кольца и для каждой пазы противГиложньм Гластин расположе ни в Одной Глоскости,.1321306 Составитеяь Й,ГригорьеваРедактор ТЯоакарева Техред М.Моргентал Корректор Л,Бескид Производственно-иэдательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул,Гагарина, 101 Тираж 299венного комитета по изо113035, Москва, Ж, Р Подписноеретениям и открытиям при ГКНТ СССР шскэя наб., 45

Смотреть

Заявка

3980017, 25.11.1985

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ В-8754

ЯКУШЕВ Г. А

МПК / Метки

МПК: H01J 29/74

Метки: отклонения, электростатическая

Опубликовано: 15.11.1991

Код ссылки

<a href="https://patents.su/3-1321306-ehlektrostaticheskaya-sistema-otkloneniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Электростатическая система отклонения</a>

Похожие патенты