Преобразователь давления

Номер патента: 1315837

Авторы: Волошин, Гречишникова, Малинская, Малюков

ZIP архив

Текст

(9) (1) СЮ 4 С О БРЕТЕНИЯ ПИСАН Щу У СВИДЕТЕЛЬСТВУ К АВТОР 54 57 о ляе ки л напр ска вер пот зу ОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИИ(56) Авторское свидетельствоВ 679835, кл, С 01 19/04, 197Патент США Ф 4063209, кл.31978. ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДАВЛЕНИЯ Изобретение относится к конт- но-измерительной технике и позвоповысить точность преобразовапутем устранения термоупругих яжений в области соединения крем ой пластины с корпусом. На по- ности кремниевой крышки выполнеольцевые канавки 4. Воздействие ка среды на пластину 1 приводит формации мембраны 7. В измвриной диагонали тензорезисторного а появляется сигнал, характерищий давление в среде. 3 ил.13158 Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для измерения давления в гидро-и газодинамических системах,Целью изобретения является повышение точности измерения преобразователя давления путем устранениятермоупругих напряжений, возникающихв области соединения кремниевойпластины с корпусом. 10На фиг;1 изображен предлагаемыйпреобразователь, разрез; на фиг,2разрез А-А на фиг.1; на фиг.3 - мембрана.Полупроводниковая пластина с полупроводниковой крьппкой 2, которая впериферийной области соединена поокружности с металлическим корпусом3. В области соединения с корпусом 3в крышке 2 выполнен ряд кольцевых 20каналов 4, а в местах расположениявыводов 5 резисторов К 1 - К 4 (фиг.3)имеются сквозные отверстия 6, На поверхности мембраны 7 диффузионныерезисторы К 1 - К 4 образуют замкнутыйтензорезисторный мост 8. В крьппке 2над мембраной 7 выполнена лунка 9 срадиусом большим, чем мембрана 7.,Глубина лунки равна высоте прогиба мембраны при номинальном давлениипреобразователя. Это позволяет повысить перегрузочную способность преобразователя, поскольку наличие упора снижает вероятность разрушениямембраны при превышении номинального 35давления, .Преобразователь давления работает следующим образом. 4-4 37 2Для измерения давления потока газа или жидкости преобразователь устанавливается при помощикорпуса 3в систему подлежащую ис едованию.гПри воздействии потока ж дкости илигаза (Р) на пластину 1 происходитдеформация мембраны 7, которая в результате тензоэффекта вызывает появление сигнала в измерительной диагонали тензорезисторного моста 8. Позначению этого сигнала можно судитьо давлении в системе,Деформация мембраны может бытьвызвана, помимо измеряемого давления,напряжениями в спае корпус 3 - кремниевая пластина 1. При этом в измерительной диагонали моста 8 возникает сигнал ошибки, вызва ный термоупругими напряжениями. Следовательно, уменьшение этих напрякеуий приведет к уменьшению сигнала ошибки,что повысит точность изме ения преобразователя Формула изобретенияПреобразователь давленюя, содержащий корпус, кремниевую пластинку смембраной, тензорезисторный мост, .расположенный на мембране и крьппку,размещенную между пластиной и корпусом, о т л и ч а ю щ и йя тем,что, с целью повышения точности путем устранения термоупругх напряжений, в нем на поверхностикрышки,обращенной к корпусу, вып лнены кольцевые канавки, а крьппка выполненаиз кремния,1315837 Составитель Техред А.Кра Сверчкоук Корректор С.Шекма Юрко к Заказ 2352 44 писное та СССытий омит отк ая оизводственно-полиграфическое предприятие, г.ужгород, ул.Проектная, 4 ВНИИПИпо113035,Тираж.776осударственноголам изобретенийква, Ж, Рауш

Смотреть

Заявка

4000988, 03.01.1986

ТАГАНРОГСКИЙ РАДИОТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ ИМ. В. Д. КАЛМЫКОВА

МАЛЮКОВ СЕРГЕЙ ПАВЛОВИЧ, ВОЛОШИН ВИКТОР АНАТОЛЬЕВИЧ, ГРЕЧИШНИКОВА ИРИНА ВАСИЛЬЕВНА, МАЛИНСКАЯ ТАТЬЯНА АЛЕКСЕЕВНА

МПК / Метки

МПК: G01L 9/04

Метки: давления

Опубликовано: 07.06.1987

Код ссылки

<a href="https://patents.su/3-1315837-preobrazovatel-davleniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Преобразователь давления</a>

Похожие патенты