Способ контроля ширины штриха дифракционной решетки

СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИН 59 4 з 01 В 21/О 2м ее ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ ЕТЕЛЬСТВУ ОМУ ов, А. Г. СуВ. Т., Митов в маши- .: Машино 1 М 21 32,ШИРИНЫ РЕШЕТКИ измеритель - повысчет измеГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ(54) СПОСОБ КОНТРОЛЯШТРИХА ДИфРАКЦИОННОЙ(57) Изобретение относится кной технике. Цель изобретенияшение точности измерения за,801290065 рения относительной неиндентичности коэффициентов передачи при преобразовании в электрический сигнал. Пучок лучей, формируемый источником 1 когерентного монохроматического излучения, направляют на дифракционную решетку 5, Дифракционные максимумы 2 и 1 порядка преобразуются фото- преобразователями 2, 3 в электрические сигналы, которые делятся друг на друга блоком 4 деления. По результату деления , судят о ширине штриха дифракционной решетки 5. При калибровке устройства фото- преобразователи 2, 3 меняют местами и вновь находят отношения электрических сигналов рмм с помощью блока 4 деления. Вычисляют неидентичность коэффициентов передачи о фотопреобразователей 2, 3 по формуле О = Ло е л 1 7 а - 1. 2 мл.Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля средней ширины штрихов дифракционной решетки.Цель изобретения - повышение точности контроля за счет измерения относительной неидентичности коэффициентов передачи при преобразовании.На фиг. 1 представлена функциональная схема устройства, реализующего предлагаемый способ; на фиг. 2 - дифракционный спектр дифракционной решетки.Устройство содержит источник 1 когерентного монохроматического излучения, фотопреобразователи 2 и 3, установленные в зоне формирования максимумов второго и первого порядка, блок 4 деления, входы которого подключены к фотопреобразователям 2 и 3, и дифракционную решетку 5.Способ реализуется следующим образом.При освещении дифракционной решетки 5 источником 1 когерентного монохроматического излучения в зоне установки фото- преобразователей 2 и 3 формируются дифракционные максимумы второго и первого порядков. Электрические сигналы, снимаемые с фотопреобразователей 2 и 3 делятся друг на друга блоком 4 деления.Ширина штриха дифракционной решетки 5 вычисляется по соотношениюЬ= - агс созу -7 ГГ% 7 цгде б - ширина штриха дифракционной решетки;Т - период дифракционной решетки;(/2 - амплитуда электрического сигнала,снимаемого с фотопреобразователя 2;Ь 3 - амплитуда электрического сигнала,снимаемого с фотопреобразователя 3,При измерении относительной неидентичности коэффициентов передачи фотопреобразователей 2 и 3 с помощью блока 4 деления находится величина ро, равная/2Ро -УЗгде У 2 и УЗ - амплитуды электрических сигналов, снимаемых с фотопреобразователей 2 иЗ.Затем фотопреобразователи 2 и 3 переставляются местами, т. е. фотопреобразователь 2 фиксирует интенсивность дифракционного максимума первого порядка, а фотопреобразователь 3 фиксирует интенсивность дифракционного максимума второго порядка. С помощью блока 4 деления находитсявеличина р-, равная02ин ЦЗУ 7где У 2 и УЗ - амплитуды электрическихсигналов, снимаемых с фотопреобразователей 2 иЗ.Относительная неидентичность коэффициентов передачи фотопреобразователей 2и 3 вычисляется по формуле10=7 ЬПо величине о,судят о неидентичностикоэффициентов передачи фотопреобразователей 2 и 3, связанной с погрешностьюизмерения ширины штриха дифракционнойрешетки 5.Использование предлагаемого способапозволяет повысить точность измерения ширины штриха дифракционной решетки засчет возможности оперативной проверки и 20 подстройки коэффициентов передачи фотопреобразователей,формула изобретенияСпособ контроля ширины штриха дифракционной решетки, заключающийся в том, чтоосвещают дифракционную решетку когерентным монохроматическим пучком света, формируют в проходящем или отраженном пучке света дифракционную картину, раздельно преобразуют интенсивности максимумовп-го и т-го порядков в электрические сигналы, а по отношению амплитуд электрических сигналов, определяют ширину штрихадифракционной решетки, отличающийся тем,что, с целью повышения точности контроля35 за счет измерения относительной неидентичности коэффициентов передачи при преобразовании в электрический сигнал, преобразуют интенсивности максимумов гп-го и иго порядков раздельно и периодически вэлектрические сигналы, находят отношение40 амплитуд электрических сигналов, вычисляют относительную неидентичность о коэффициентов передачи по формулеБ =+=а -- 1,45 где о - относительная неидентичность коэффициентов передачи;ро - отношение амплитуд электрическихсигналов при преобразовании максимумов и-го и т-го порядков- отношение амплитуд электрических50 сигналов при преобразовании максимумов гп-го и а-го порядков.теико роизводств ектная,едактор Т. Маказ 7887/34ВНИИПИ Гос Техре Тираж ударственного комитета13035, Москва, Ж - 3 нно-полиграфическое п тавитель Т. АйсинИ. Верес Коррект678 ПодписСССР по делам изобретенРаушская наб., д. 4/5едприятие, г. Ужгород, ул ор М. Демчикое й и открытий