Турбомолекулярный вакуумный насос

, Д. Даниломошин ва 00 ОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИ ВТОРСКОМУ СВИДЕ(ЭД) 5, расположенный в полостиимеет охлаждаемый корпус 6, сопорными втулками (ОВ) 7 и 8. В7 выполнена из магнитопроводнот вакуумнои шение оте чистоты двигатель ротора 3, абже нный рхняя ОВ материа1278488 Формула изобретения ла, снабжена кольцевым постоянным магни том 16, обхватывающим ее, и имеет с внутренней стороны кольцевую радиальную канавку 9, в которой размещен кольцевой элемент 15 с образованием зазора, заполненного магнитной жидкостью. Со стороны верхнего торца ОВ 7 выполнена кольцевая осевая расточка 10 и сообщенный с ней паз 11, в которых установлена гильза 13 с буртиком 14 с образованием зазора, заполненного легкоплавким металлом. На валу 4 ротора 3 над ОВ 7 установлено отражатель 1Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям турбомолекулярных вакуумных насосов.Целью изобретения является улучшение откачных характеристик и повышение чистоты создаваемого вакуума.На чертеже представлен насос, продольный разрез.Турбомолекулярный вакуумный насос содержит вертикальный корпус 1 со статорными дисками 2, установленный по оси 1 г 1 корпуса 1 дисковый полый ротор 3, закрепленный на валу 4, и связанный с ним приводной электродвигатель 5, расположенный в полости ротора 3 и имеющий охлаждаемый корпус 6, снабженный верхней 7 и нижней 8 опорными втулками. Верхняя опорная втулка 7 корпуса 6 электродвигателя 5 снабжена с внутренней стороны кольцевой радиальной канавкой 9, имеющей в поперечном сечении форму треугольника, обращенного основанием к валу 4, а со стороны верхнего торца -- 2 О кольцевой осевой расточкой 10 и сообщенным с ней кольцевым радиальным пазом 11 с треугольным поперечным сечением, и вал 4 ротора 3 снабжен отражательным кольцом 12, размещенным над верхней опорной втулкой 7, гильзой 13 с кольцевым треугольным 25 буртиком 14, расположенной в расточке 10 и пазу 11 с образованием зазора, заполненного легкоплавким металлом, и кольцевым элементом 15 с наружными выступами, размещенными в радиальной канавке 9 с образованием зазора, заполненного магнитной жидкостью, причем верхняя опорная втулка 7 выполнена из магнитопроводного материала и снабжена кольцевым постоянным магнитом 16, обхватывающим ее в зоне радиальной канавки 9. Кроме того, полость кор- З 5 пуса 6 электродвигателя 5 заполнена инертным газом под давлением, равным половине атмосферного, а высота Ь уровня легкоплавкого металла меньше глубины Н, расцое кольцо 12. Полость корпуса 6 ЭД 5 заполнена инертным газом под давлением, равным половине атмосферного. Легкоплавкий металл в зазоре, образованном гильзой 13 в расточке 10, а также магнитная жидкость в зазоре, образованном элементом 15 в канавке 9, обеспечивают герметичность полости насоса от полости корпуса 6 ЭД 5 и исключают проникновение в полость насоса паров органических жидкостей, используемых для смазки опор вала 4. 1 з.п. ф-лы, 1 ил. 2точки 10, но превышает высоту Н треугольного буртика 14.Насос работает следующим образом.Газ, поступающий на вход насоса, взаимодействует со статорными дисками 2 и ротором 3 и переносится к выходу из насоса. Легкоплавкий металл в зазоре, образованном гильзой 13 в расточке 10, а также магнитная жидкость в зазоре, образованном кольцевым элементом 15 в радиальной канавке 9, обеспечивают герметичность полости насоса от полости корпуса 6 электродвигателя 5. В результате гарантированной герметичности при любых возможных давлениях в полости насоса (от рабочего до атмосферного) вследствие заполнения полости корпуса 6 электродвигателя 5 инертным газом при давлении, равном половине атмосферного, газ из этой полости не проникает в полость насоса, а следовательно, исключается проникновение в нее шаров органических жидкостей, используемых для смазки опор вала 4 ротора 3.Таким образом, обеспечивается улучшение откачных характеристик, т.е. отсутствует источник газовой нагрузки со стороны электродвигателя, а также повышается чистота создаваемого вакуума. 1. Турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий вертикальный корпус со статорными дисками, установленный по оси корпуса дисковый полый ротор, закрепленный на валу, и связанный с ним приводной электродвигатель, расположенный в полости ротора и имеющий охлаждающий корпус, снабженный верхней и нижней опорными втулками, отличающийся тем, что, с целью улучшения откачных характеристик и повышения чистоты создаваемого вакуума,1278488 Тех ред И. Ве рес Корректор М. немчик Тираж 586 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий13035, Москва, Ж - 35, Раушскаи наб., д, 4/5 Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4Редактор О. ГоловачЗаказ 6772/29 верхняя опорная втулка корпуса электродвигателя снабжена с внутренней стороны кольцевой радиальной канавкой, имеющей в поперечном сечении форму треугольника, обращенного основанием к валу, а со стороны верхнего торца - кольцевой осевой расточкой и сообщенным с ней кольцевым радиальным пазом с треугольным поперечным сечением, и вал ротора снабжен отражательным кольцом, размещенным над верхней опорной втулкой, гильзой с кольцевым треугольным буртиком, расположенной в расточке и пазу с образованием зазора, заполненного легкоплавким металлом, и кольцевым элементом с наружными выступами, размещенным в радиальной канавке с образованием зазора, заполненного магнитной жидкостью, причем верхняя опорная втулка выполнена из магнитопроводного материала и снабжена кольцевым постоянным магнитом, обхватывающим ее в зоне радиальной канавки.2, Насос по п. 1, отличающийся тем, что полость корпуса электродвигателя заполнена инертным газом под давлением, равным половине атмосферного.