Способ контроля ориентации объекта при пробивке отверстий в нем
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК А 1 51 4 С 01 В 9/О АРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТ ГОС О ДЕ ИИОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ЬСТ АВТОРСКОМУ СВИД(56) Войнов В,А. и др. Алмазная об- работка подложек микросхем. - Средства связи,1983, В 2, с. 66-69. (54)СПОСОБ КОНТРОЛЯ ОРИЕНТАЦИИ ОБЪЕК 1 ТА ПРИ ПРОБИВКЕ ОТВЕРСТИЙ В НЕМ (57) Изобретение может использоваться в радиоэлектронике при ультразвуковой пробивке некруглых отверстий в подложках микросхем. Целью изобретения является повышение точности ориентации объекта при пробивке некруглых.801270552 отверстий в нем за счет контроля положения торца рабочего инструмента,осуществляющего пробивку. Предварительно наносят слой пластичного материала на контрольный объект, фиксируют на нем след торца рабочего инструмента, наблюдая след торца инструмента в микроскоп, ориентируют перекрытие его окуляра вдоль осей симметрии следа торца. Фиксируют окуляр вданном положении, заменяют контрольный объект рабочим и совмещают осиего реперной метки с перекрестиемокуляра микроскопа, разворачивая рабочий объект, после чего его перемещают на базовое расстояние под рабочий инструмент.Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может найти применение в радиоэлектронике приультразвуковой пробивке некруглыхотверстий в подложках микросхем. 5Целью изобретения является повышение точности ориентации при пробивкенекруглых отверстий за счет контроляположения торца рабочего инструмента,осуществляющего пробивку. 10На чертеже показана последовательность действия при контроле ориентации объекта.На чертеже показаны подвижнаякаретка 1, контрольный объект 2, на 15наружную поверхность которого предварительно наносят слой пластичного материала 3, след торца рабочего инструмента 4, перекрестие окуляра микроскопа 5, рабочий объект 6, например подложка микросхемы и репернаяметка 7.Контроль согласно способу осуществляют следующим образом,Устанавливают на подвижную каретку 1 контрольный объект 2, перемещают его в зону обработки под рабочийинструмент, опускают рабочий инструмент на контрольный объект, фиксируяна нем след торца инструмента 4. За- ЗОтем перемещают каретку на базовоерасстояние (Ь), подводя контрольныйобъект под микроскоп. Наблюдают следторца инструмента в микроскоп, ориентируя перекрытие его окуляра 5 вдоль 3его осей симметрии. Фиксируют окулярв данном положении. Заменяют контрольный объект рабочим и совмещают осиего реперной метки 7 с перекрестиемокуляра микроскопа 5, разворачиваярабочий объект.После этого перемещают каретку набазовое расстояние ,под рабочийинструмент.Формула и з о б р е т е н и яСпособ контроля ориентации объектапри пробивке отверстий в нем, заключающийся в том, что совмещают реперную метку объекта с оптической осьюмикроскопа и перемещают объект набазовое расстояние под рабочий инструмент, о т л и ч а ю щ и й с я тем,что, с целью повышения точности ориентации при пробивке некруглых отверстий, перед совмещением реперной метки объекта с оптической осью микроскопа фиксируют след торца инструмента, осуществляющего пробивку отверстия на контрольном объекте, перемещают контрольный объект на базовоерасстояние под микроскоп, ориентируют перекрестие окуляра микроскопавдоль осей симметрии следа торца инструмента и заменяют контрольныйобъект рабочим, а после совмещенияренерной метки объекта с оптическойосью микроскопа разворачивают объектвокруг оптической оси микроскопа,совмещая линии его реперной метки ссоответствующими линиями перекрестияокуляра микроскопа,.Пилипе 9/40 Тираж 670 ПодВНИИПИ Государственного комитетапо делам изобретений н открыт 13035, Москва, Ж, Раушская наб.,сноеСР аз 62 4 5 Составитель Я едактор Н.Горват Техредд,сердю
СмотретьЗаявка
3953594, 19.09.1985
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Г-4149
ВИШНЕВ АНАТОЛИЙ НИЛОВИЧ, СЕДЫХ АНАТОЛИЙ СЕРГЕЕВИЧ, МАКСЯЧКИН ВЛАДИСЛАВ ИВАНОВИЧ
МПК / Метки
МПК: G01B 9/04
Метки: нем, объекта, ориентации, отверстий, пробивке
Опубликовано: 15.11.1986
Код ссылки
<a href="https://patents.su/3-1270552-sposob-kontrolya-orientacii-obekta-pri-probivke-otverstijj-v-nem.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ контроля ориентации объекта при пробивке отверстий в нем</a>
Предыдущий патент: Устройство для определения положения штрихов
Следующий патент: Фотоэлектрическое устройство для наведения на границу света и тени его варианты
Случайный патент: Способ очистки цинка от железа