Вакуумная ловушка

ЕТСНИХЛИСТИЧЕСНИ О О 19) Ш) УБЛ 51) 4 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНН А ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ носи мнщм ся к вакуумасосам с рскоеехничесохлацение нием. Цель ономичносие обслуживания)едачи излуопроводностьюнемые элеьп к цим исплопе тепл хлажд ючеГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ(71) Специальное конструктобюро ордена Ленина физико-ткого института им. А.Ф.Иоффе(54) ВАКУУН 11 АЯ ЛОВУ (57) Изобретение от ной технике - вакуу термоэлектрическим изобретения - повыш ти работы и облегче путем уменьшения те чецием от экрановпо ацтимцгратору. О менты (ОЭ) 2 и подк1263917 точник холода установлены в корпусе 1. Источник холода выполнен в виде многокаскадной термоэлектрическойбатареи 3. Экраны 4 соединены с ОЭ 2и при помощи теплопроводов 5 - степлым каскадом 6 батареи 3. Батарея3 размещена в гофрированном сильфоце 8, сообщенном с атмосферой, атеплопроводы выполнены в виде пластин, установленных в гофрах 9 сильоца 8. Сильфонный антимигратор 7подсоединен средней частью к тепломукаскаду 6 батареи 3. Пары масел илидругих примесей идут со стороны вакуумного насоса навстречу потоку откачиваемого газа. Дойдя до ловушки,Изобретение относится к вакуумнойтехнике, а именно к вакуумным ловушкам с термоэлектрическим охлаждением,Цель изобретения - повышение эко"номичцосги работы и облегчение об 5слуяива ния .На чертеже изображена вакуумнаяловушка,Вакуумная ловушка содержит корпус1, расположенные в нем охлаждаемые щэлементы 2 и подключенный к последним источник холода, выполненныйв виде мцогокаскадной термоэлектрической батареи 3. Ловушка дополнительно содержит экраны 4, соединенные с охлаждаемыми элементами 2, ипри помощи теплопроводов 5 - с теплым каскадом 6 термоэлектрическойбатареи 3.Ловушка снабжена сильфоцным антимигратором 7, подсоединенным сред"ней частью к теплому каскаду 6 термоэлектрической батареи 3.Кроме того, ловушка снабжена сообщенным с атмосферой гофрированным 25сильфоцом 8, термоэлектрическая батарея 3 размещена в последнем, атеплопроводы выполнены в виде пластин, установленных в гофрах 9 силь-Фона 8,ЗОВакуумная ловушка работает следующим образом.Парь масел или других примесейидут со стороны вакуумного насоса они огибают экраны 4 и проходят кОЭ 2, где задерживаются, переходяв твердую Фазу. Жидкая Фаза примесейдвижется вдоль антимигратора 7 дозон с температурой ниже температурызатвердевания, где намораживается изадерживается . Температура экранов 4активно понижается путем охлажденияболее теплым источником 6 через прижатые друг к другу теплопроводы 5 игофры 9. Активное охлаждение экрановболее теплыми каскадами батареи приводит к понижению теплопередачи излучением от экранов и передачи теплатеплопроводностью по антимигратору,2 з.п. ф-лы. 1 ил,навстречу потоку откачйваемого газа из вакуумируемого объема.Дойдя до ловушки, они огибают экран 4 и проходят к охлаждаемьм элементам 2, где задерживаются, переходя в твердую Фазу, исключающую их миграцию по поверхности. Жидкая Фаза примесей, осевшая на стенках корпуса 1 и экранов 4, движется вдоль сильфонного антимигратора 7, пока не доходит до зон с температурой ниже температуры затвердевания, где намораживается и задерживается,Для уменьшения теплопритока излучением от экранов 4 их температура активно понижается путем охлаждения более теплым источником холода через прижатые друг к другу теплопроводы 5 и гофры 9 сильфона 8.Активное охлаждение экранов более теплыми каскадами термоэлектрической батареи приводит к значительному понижению геплопередачи излучением от экранов и передачи тепла теплопроводностью но антимигратору.Это позволяет значительно сократить мощность, потребляемую термоэлектрической батареей. Формула и з о б р е т е и и я 1. Вакуумная ловушка, содержащая корпус, расположенные в нем охлаждаемые элементы и подключенный к пос12639 17 Составитель Э.МогильницкаяРедактор Н.Слободяник Техред И.Поович Корректор В,Синицкая Заказ 5542/36 Тираж 586 Подпис ное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Прсизводственно-полиграфическое предприятие, г.ужгород, ул.Проектная, 4 ледним источник холода, выполненный в видемногокаскадной термоэлектрическойбатареи, о т л и ч а ю щ а яс я тем, что, с целью повышения экономичности работы, ловушка дополнительно содержит экраны, соединенные с охлаждаемыми элементами, и при помощи теплопроводов - с теплым каскадом термоэлектрической батареи,2. Ловушка по п. 1, о т л и ч а ющ а я с я тем, что она снабжена 4сильфонным антимигратором, подсоединенным средней частью к теплому каскаду термоэлектрической батареи.3. Ловушка по и. 1, о т л и ч а - ю щ а я с я тем, что, с целью облег-. чения обслуживания, она снабжена сообщенным с атмосферой гофрированным сильфоном, и термоэлектрическая батарея размещена в последнем, а теплопроводы выполнены в виде пластин, установленных в гофрах сильфона.