Устройство для определения адгезии металлических пленок

(бР 4 Я 01 М 19/О ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН СВИДЕТЕЛЬСТВУ Н АВТОРСН 3 8 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИИ(46) 30.09.86. Бюл. У 36 (71) Гомельский политехинческий институт(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ АДГЕЗИИ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК (57) Изобретение относится к испытательной технике, предназначено для определения адгезии металлических пленок и позволяет повысить точность определения адгезии метал.801260769 лических пленок к поверхности подложки, выполненной из оптически прозрачного материала. Дно ванны 3,заполненной гиротропной жидкостью 4,закрывают подложкой 1, на поверхностькоторой нанесена металлическая пленка 16. Возбуждают в гиротропной жидкости 4 ультразвуковые колебанияконцентратором 6 до возникновенияв металлической пленке 16 зон разрушения, появление и характер которыхрегистрируют при помощи потока поляризованного излучения от источника 8, проходящего через поляризатор11, полупрозрачное зеркало 9, подложку 1, зоны разрушения металлическойпленки 16 и гиротропную жидкость 4и падающего на зеркальную поверхность 7 концентратора 6. Гиротропная1260769 пГР жидкостг 4 пвг Наливает на угол 90 плоскость п.пяризации проходящего через нее ,ггицейно-поляризованного излучения, Отраженный от поверхности 7 и преломленный зеркалом 9 поток излучения попадает через поляризатор 12 на приемник 10 поляризованного излучения. Скрещенные поляриза - торы 11 и 12 позволяют измерять Изобретение относится к испытательной технике, а именно к устройствам для определения адгезии металлических пленок.Цель изобретения - повышение точности определения адгеэии металлических пленок к поверхности подложек, выполненных из оптически прозрачных материалов.На чертеже показана схема пред О лагаемого устройства.Устройство содержит подложку 1 из оптически прозрачного материала, одна из поверхностей которой предназначена для нанесения на нее металлической пленки, держатель 2 подложки 1, ванну 3 беэ дна, Установленную на держателе 2 и заполненную жидкой средой, в качестве которой использована гиротропная 20 жидкость 4, например спиртовой раствор сахара, источник 5 ультразвуковых колебаний, концентратор б, установленный в ванне 3 со стороны подложки 1, предназначенной для гь нанесения на нее металлической пленки, обращенная к подложке 1 поверхьость 7 которого выполнена зеркальной, и регистрирующую систему, выполненную в виде источника 8 поляризованного излучения, установленногд вне ванны 3 напротив концен - тратора б по другую сторону от подложки 1, полупрозрачного зеркала 9, установленного под острым углом к подложке 1, приемника 10 поляризованного излучения и двух скрещенных поляризаторов 11, 12, один иэ которых установлен между полупрозрачным зеркалом 9 и источником 8 поляризованного излучения, а другой - между только интенсипнос гь потока излучения, прошедшего через зоны разрушения пленки 16, и получатьинформацию о кинетике и степени ееразрушения, Полупрозрачное зеркало9, установленное под острым уломк подложке 1, обеспечивает посылкуизлучения на приемник 10 поляризованного излучения. 1 ил. 2полупрозрачным зеркалом 9 и приемни. - ком 10 поляризованного излучения.Подложка 1 является дном ванны 3.Источник 8 поляризованного излучения выполнен в виде ксеноновой лампы 13 и линзы 14, а приемник 10 поляризованного излучения выполнен в виде матрицы 15 фотодиодов, электрически связанной с системой (на чертеже не показана) обработки данных.Устройство работает следующим образом.Подложку 1 с нанесенной на нее металлической пленкой 16 устанавливают на держателе 2 и закрывают ею дно ванны 3. Ванну 3 заполняют гиротропной жидкостью 4. Включают источник 8 и приемник 10 поляризованного излучения и проводят юстировку оптической системы и проектирование оптического изображения поверхности раздела подложка металлическая пленка на поверхности датчиков матрицы 15 фотодиодов, Включают источник 5 ультразвуковых колебаний, концентратор 6 которого передает колебания гиротропной жидкости 3, под действием которой в металлической пленке 16 возникает нарушение ее сплошности и появляются зоны разрушения. При этом поток излу чения от ксеноновой лампы 13, пройдя через фокусирующую линзу 14 и поляризатор 11, попадает на полупрозрачное зеркало 9 и частично отражается а оставшаяся часть потока излучения проходит через подложку 1 на поверхность раздела подложка - металли- ческая пленка. При отсутствии зон разрушения металлической пленки 1669 4степени разрушения пленки 16 и плотности рапределения разрушений по ее поверхности. Полупрозрачное зеркало 9 регистрирующей системы, установленное под острым углом к подложке 1, обеспечивает возможность посылки излучения, дважды про шедшего через жидкую среду и исследуемую пленку 16 на приемник 10 поляризованного излучения. 12607 поток излучения отражается и полностью задерживается поляризатором12, при наличии эон разрушения металлической пленки 16 поток излучения проходит через металлическую плен ку 16 и попадает в гиротропную жидкость 4, которая начинает поворачивать плоскость поляризации. ДлиФормула изобретения Составитель В. СвиридовТехред М,Ходанич Корректор Л.Пилипенко Редактор М.Товтин Тираж 778 Подписное ВНК 4 ПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Рауаская наб., д. 4/5,ну оптического пути излучения в гиротропной жидкости подбирают такой, 1 О чтобы после выхода из подложки 1 поток излучения имел плоскостьо поляризации, повернутую на угол 90 по отношению к потоку, падающему на поверхность металлической пленки 16. 15 Поток излучения попадает на зеркальную поверхность 7 концентратора 6, отражается от нее и, вторично пройдя эоны разрушения металлической пленки 16, преломляется зеркалом 20 9 в направлении поляризатора 12. После прохождения потока через поляризатор 12 его интенсивность целиком определяется сплошностью металлической пленки 16, и поток приобретает 25 состояние, удобное для отражения на матрице 15 фотодиодов приемника 10 поляризованного излучения.Выполнение рабочей поверхности 7 концентратора 6 зеркальной позволяет испольэовать ее одновременно в качестве зеркала регистрирующей системы и в качестве средства для воздействия на жидкую среду и возбуждения в ней колебаний высокой35 частоты.Выполнение жидкой среды гиротропной, т,е. способной вращать плоскость поляризации проходящего через нее линейно-поляризованного излу 40 чения, позволяетизменять плоскость поляризации излучения, падающего на приемник 10.Установка скрещенных поляризаторов 11 и 12 позволяет измерять толь 45ко интенсивность света, прошедшегочерез зоны разрушения пленки, иполучать информацию о кинетике и. Устройство для определения адгезии металлических пленок, содержащее подложку иэ оптически прозрачного материала, одна из поверхностей которой предназначена для нанесения на нее металлической пленки,деожатель подложки, ванну, установленную на держателе и заполненную жидкой средой, источник ультразвуковых колебаний, концентратор которого установлен в ванне со стороны подложки, предназначенной для нанесения на нее металлической пленки, и регистрирующую систему, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности, подложка является дном ванны, обращенная к подложке поверхность концентратора выполнена зеркальной, в качестве жидкой среды использована гиротропная жидкость, а регистрирующая система выполнена в виде источника поляризованного излучения, установленного вне ванны напротив концентратора по другую сторону от подложки, полупрозрачного зеркала, установленного под острым углом к подложке, приемника поляризованного излучения и двух скрещенных поляризаторов, один иэ которых установлен между полупрозрачным зеркалом и источником поляризованного излучения, а другой между полупрозрачным зеркалом и приемником поляризованного излучения.