Способ определения сопротивления контактного соединения проволоки и тонкой пленки

(51)4 С 01 К 2 ОСУДАРСТВЕННПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕ нОмитет сссРНИЙ И ОТНРЫТИИ СВИД ОПИСА ОБРЕТ(21 (22 (46 (72 (53 циального соединени сделаны и и Согласно д сопротивле ка , пров тем опреде волокаи и эапрозаданнон дл ины 1 участ пленка" от ляюттанк ест мпрессионным методом. - Известия в, Приборостроение, 1967, У17-123,Ющук С.И., Попенко А,Излектросопротивленияых контактов. - Заводя, 1973, У 4, с. 450 СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ СКОНТАКТНОГО СОЕДИНЕННКОЙ ПЛЕНКИ он чально заданн тивление цепи волока - кон и измеряюполовина у опрока "про актное соедине ка "тонкая пле еа" половина учас Сопротивление нтактного с нения Изобретение может быть испольно для измерения электросопроения контактных соединений интеьных микросхем и микросборок. изобретения - упрощение процесзмерения - достигается за счет ючения операции изготовления с едикой певузС ание ноч тор (54 НИЯ И Т(57зовтивгралЦелсаиск Измере- тонкоплеская лабора.ОПРОТИВЛЕИЯ ПРОВОЛОКИ разца с тремя контактнымот каждого из которыхва проволочных вывода,ному способу измеряется ие участков "тонкая пленонтакта, равные половине определяется по формуле, приведеннов описании изобретения. Реализацияспособа поясняется чертежом, гдепроволока 1 через контактное сонение 2 соединена с тонкой плен3, расположенной на подложке 4, 5 и6 - места подсоединения зазкимов измерительного прибора к проволоке 1,а 7 и 8 - места установки щупов напленку 3, 1 ил.+ 2 ккэ + Кп (3) Изобретение относится к электротехнике, и частности к микроэлектронике, и может быть использовано для измерения злектросопротивления контактных соединений интегральных 5 микросхем и микросборок.Цель изобретения - упрощение процесса измерения путем исключения операции изготовления специального образца с тремя контактными саединени ями, от каждого из которых сделаны по два проволочных вывода.На чертеже представлен объект для измерения сопротивления контактного соединения проволоки и тонкой плен ки согласно изобретению.Согласно чертежу: "проволока" 1 через контактное соединение 2 соединена с "тонкой пленкой 3, расположен ной на подложке, причем 4, 5 и б -места подсоединения зажимов измерительного прибора к "проволоке" 1, а 7 и 8 - места установки щупов на "тонкую пленкун 3,В качестве измерительного прибора может быть использован например, мост постоянного тока М 0-62.Измерение сопротивления контактного соединения проволоки .и пленки осуществляется следующим образом. З 0Измеряется сопротивление К отдельного участка тонкой пленки" 3 путем установки на пленку двух щупов на заданном расстоянии, например 7 .Проводится замер сопротивления измери- З 5 тельным прибором и регистрируется измеренный результат. При этом результат измерения можно представить в виде где К - сопротивление щупа;ЦК - переходное сопротивление контакта щуп - тонкая пленка ; 45Кд - сопротивление участка "тонкой пленки".Измеряется сопротивление К от 7 дельного участка "проволоки" 1 путем подсоединения к ней двух зажимов на заданном расстоянии, например 1 Проводится замер сопротивления на измерительном приборе и регистрируется измеренный результат. При этом результат измерения можно представить в виде где К - сопротивление зажима;К - переходное сопротивлениеконтакта щуп -проволока ;К - сопротивление участка "пропрволоки,Измеряется сопротивление В участка цепи проволока 1 - контактное соединение 2 - пленка 3 путем подсоединения зажима (от первой клеммы измерительного прибора) к проволоке 1 на1расстоянии - 1 от места контактного2соединения 2 и установки щупа (от второй клеммы измерительного прибора)1 на пленку 3 на расстоянии - 1 от мес 2 та контактного соединения 2 и регистрируется результат измерения сопротивления.При этом результат измерения сопротивления участка цепи "проволока- контактное соединение -тонкая плен 1 Фка можно представить в виде где КЗФ,К э Клр Ко КмМ, Кь, -сос-"вляющие измеренного сопротивления согласно уравнений (2) и (3);К - сопротивление контактного соединения. Иэ уравнения (4) находим сопротивление контактного соединения Таким образом, сопротивление контактного соединения находим, проведя три отдельных замера сопротивления участка пленки К, участка проволоки К и участка цепи проволока - контактное соединение К по формуле Для обеспечения необходимых расстояний при установке зондов используют инструмент или прибор для измерения линейных размеров, например микроскоп УИМ,К - К,где К,Составитель А, КомиссаровТехред Л.Сердюкова Корректор И, Муска Редактор М, Келемеш Эакац 4405/41 Тирах 728 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам иэобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Проиэводственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 3 125098формула иэ обре тения Способ определения сопротивления контактного соединения проволоки и тонкой пленки, в котором измеряют со-противление цепи "проволока" - кон 1 и тактное соединение в . тонкая пленка о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью упрощения процесса, измеряют сопротивление участка "тонкая пленка" 1 О заданной длины, измеряют сопротивление участка "проволока" также эаданной длины, затеи определяют длины участков "проволока" и "тонкая пленка от места контакта, равные полови не первоначально заданных, и измеряют сопротивление цепи: половина уча 2 4стка "проволока" - контактное соединение " половина участка тонкаяпленка, сопротивление контактногосоединения определяют по формуле измеренное сопротивлениезаданного участкатонкаяпленка";сопротивление заданного участка "проволока";измеренное сопротивлениецепи : половина участка