Зондовая головка
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК ЯО 12248 51)4 Н 21 6 ВСЕСОРо ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯВТОРСНОЬФУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ У 14 Р.Манкулов 8.8) ельство СССР3/26, 1972.ьство СССР27/02, 1973. свиде 601 Р видете 601 К(57) Изобретение можзовано для измеренияких свойств полупров быть исполь ектрофизиче никовых матеОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ(21) 373284/2 (22) 20.07.84 (46) 15.04.86. (72) В.А.Марас и В.В.Карабано (53) 621. 382 (О (56) Авторское Ф 393732, кл.Авторское с В 387303, кл. риалов. Цель изобретения - повьппение точности измерения. Зонды расположеныв 9 -образных пазах кремниевой плас" тины с изоляцией. Пружины, изолированные прокладками, прижимают зонды к стенкам пазов. Токосъемные втулки зондов прижаты к электрической прокладке. Выполнение Ч -образных пазов в кремниевой пластине с ориентацией поверхности по плоскости (100) и схождением боковых стенок под углом 55 обеспечивает расположение фаз зондов относительно друг друга с больщой точностью и перемещение их вверх - вниз в одной плоскости. 2 ил,Изобретение относится к области измерения электрофизических свойств полупроводниковых материалов, а именно к устройствам для измерения удельного сопротивления полупроводниковых пластин.Цель изобретния - повышение точности измерения.На фиг. 1 изображена зондовая головка, профильный разрез; на фиг. 2 - то же, поперечный разрез.Зондовая головка имеет токовые и потенциальные зонды 1, которые расположены в-образных пазах 2 кремниевой пластины 3 с ориентацией (100). Зонды 1 изолированы от пластины 3 слоем диэлектрика 4, а пластина закреплена в корпусе 5 перпендикулярно его основанию 6. Зонды 1 прижаты к стенкам пазов 2 пружиной 7, изолированной от зондов диэлектрическими прокладками 8. На зонды насажены токосъемные втулки, упирающиеся в диэлектрическую прокладку 10.Зондовая головка работает следующим образом При опускании зондовой головки на полупроводниковую пластину зонды 1 за счет эластичной прокладки 10 прижимаются к пластине. С помощью токосъемных втулок 9 через определенные токовые зонды 1 пропускают электри ческий ток, а на других потенциальных зондах измеряют разность потенциалов.11 о результатам этих измерений определяют удельное сопротивление полупроводниковой пластины, Точность оп ределения удельного сопротивления взначительной степениопределяетсяточностью заданного взаимного расположения зондов, которая определяетсягеометрическими размерами пазов и 10 расстояниями между ними.Выполнение 9 -образных пазов вкремниевой пластине с ориентациейповерхности по плоскости (100) исхождением боковых стенок пазов подо15 углом 55 обеспечивает расположениезондов относительно друг друга сбольшой точностью и перемещениевверх " вниз в одной плоскости.Фо рмул а и зо бр ет ения20Зондовая головка, преимущественнодля измерения злектрофизических свойств полупроводниковых материалов, содержащая корпус с основанием и раз мещенные в нем перпендикулярно основанию токовые и потенциальные зонды, о т л и ч а ю щ а я с я тем, что, с целью повышения точности измерения, она снабжена размещенной перпендикулярно основанию кремниевой пластиной с ориентацией (100), в которой выполнены-образные пазы, с размещенными в них токовыми и потенциальными зондами.1224858 Яиа 2 Составитель В. МакеячкинРедактор .О. Колесникова Техред И.Попович Корректор Г. Решетняк Заказ 1956/51 Тираж 643 ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва Ж, Раушская наб., д, 4/5
СмотретьЗаявка
3773284, 20.07.1984
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ В-2892
МАРАСАНОВ ВАДИМ АЛЕКСАНДРОВИЧ, МАНКУЛОВ АЙК РУБЕНОВИЧ, КАРАБАНОВ ВЛАДИМИР ВАСИЛЬЕВИЧ
МПК / Метки
МПК: H01L 21/66
Опубликовано: 15.04.1986
Код ссылки
<a href="https://patents.su/3-1224858-zondovaya-golovka.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Зондовая головка</a>
Предыдущий патент: Способ контроля качества автомобильных ламп накаливания
Следующий патент: Многоканальное коаксиальное вращающееся соединение
Случайный патент: Устройство для получения литых штампов