Устройство для доводки плоских деталей

СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУ БЛИН 09) 51) 4 В 24 В 37/04 3 г,ЦгЮ Ь;уПИСАНИЕ ИЭОБРЕТЕНИ ОРСКОМ,К СВИДЕТЕЛЬСТВУ жено установленным на кассете датчиком контроля ее перекоса относитель,но притира, выполненным в виде крестообразного магнитопровода с пятьюперпендикулярными к плоскости крестастержнями, один из которых являетсяцентральным, а четыре - периферийными, равноудаленными от центрального,центральный стержень снабжен обмот. -кой возбуждения, а периферийные - обмотками считывания, подключенными кдополнительным входам блока управления, при этом ось центрального стержня совпадает с осью кассеты, иторцы всех стержней и электромагнитов системы нагружения расположеныв одной плоскости с рабочей поверх-ностью кассеты,2 25-08 Сл Фюй ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИИ(56) Авторское свидетельство СССРР 872227, кл. В 24 В 37/04, 1979.б 4)(57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ДОВОДКИ ПЛОСКИХ ДЕТАЛЕЙ, содержащее нритир,кассету и связанную с блоком управления электромагнитную систему нагружения, о т л и ч а ю щ е е с ятем, что, с целью повьппения точностиобработки, электромагниты системы нагружения установлены на перифериикассеты и предназначены для взаимодействия с притиром, устройство снаб 1222513 А22513 гповерхностью кассеты 2, так как вэтом случае будет получено максимально возможная сила прижатия участковдетали 7 к притиру 1. Крестообразный сердечник 4, расположенный вкассете 2, и притир 1, выполняющийроль якоря и изготовленный из магнитомягкого чугуна, представляют собоймагнитную цепь с зазором, роль кото 1 О рого выполняет обрабатываемая деталь 7, закрепленная на кассете 2,Таким образом, при поддержании постоянной магнитодвижущей силы Г=1Вове."1 вББ где 1 еоев - ток В обмотке воэ-15 буждения, а Уо число витков обмотки возбуждения, т,е. при поддержании 1 е постоянным, в обмоткахсчитывания наводятся ЗДСюфсцит.фвовБ. 1 еовБ,20с "1 вавзав Устройство содержит притир 1, кассету 2 с расположенными на ней электромагнитами 3 системы нагружения и крестообразным сердечником 4 датчика перекоса.Для исключения замыкания магнитного потока датчика перекоса через кассету 2 последняя изготавливается из немагнитного материала. Для точного контроля неплоскопараллельности обрабатываемой детали крестообразный (с пятью перпендикулярными к плоскости креста стержнями: центральным и четырьмя равноудаленными от него периферийными) сердечник датчика перекоса располагается на кассете 2 таким образом, что ось централь. ного стержня, на котором находится обмотка 5 возбуждения, совпадает с осью кассеты 2, На периферийных стержнях сердечника 4 находятся обмотки б считывания. Торцы стержней лежат в одной плоскости с рабочей поверхностью кассеты, так как если они будут углублены в теле кассеты, то ввиду увеличения воздушного зазора будет ослаблен магнитный поток в магнитопроводе датчика перекоса; что снизит точность контроля формы обрабатываемой детали вследствие снижения входного сигнала на блоке управления. Кроме того, расположение торцов стержней в одной плоскости с рабочей поверхностью кассеты технологически проще выполнить, Напротив каждой обмотки 6 считывания на периферии кассеты 2 устанавливаются электромагниты 3 системы нагружения так, что оси их сердечников параллельныоси кассеты, равноудалены от нее и пересекаются с осями креста крестооб". разного сердечника 4, а торцы сердечников, обращенные к притиру 1, нахо.дятся в одной плоскости с рабочей 25 где Ь, -Изобретение относится к технологии изготовления интегральных микросхем и может быть использовано для обработки плоских деталей большого диаметра из немагнитных материалов, например полупроводниковых подложек.Цель изобретения - повышение точности обработки за счет управления перераспределением давления по поверхности деталей большого диаметра в процессе обработки.На фиг. 1 представлено предлагаемое устройство, разрез; на фиг. 2 - то же, вид сверху,где 1 = 1-.4 - номер обмотки считывания;И - частота питания, Гц;К - магнитное сопротивлест.ние в стали;К - магнитное сопротивле 1 Зае,ние зазора между центральным стержнем и яко"30 рем.Так как разность толщин участковобрабатываемых деталей значительноменьшеих толщины, то можно записать: К: К , и, следовательПоскольку магнитная проницаемостьобрабатываемых деталей практическиравна единице, то К2 К, и,1 вавследовательно,40Сфсчит 1 еоъв фьореУо о1 абсолютная магнитная проницаемость, равная 4 и 10 ,ГН/м;площадь поперечного сечениязазора, м 2;величина зазора (толщинадетали) между якорем истержнем с -й обмоткойсчитывания,д 1 счит , 1 еоее 1 еоее фо2- К - величина, постоянная для данного устройства с учетом вышесказанного, следовательно, Е;=К 3Для исправления неплоскопараллельности необходимо, чтобы сила при. жатия каждого участка кассеты была1222513 740 Подписное . Т Заказ .1654 ППП "Патент",жгород, ул. Проектная,прямо пропорциональна величине толщины подложкив соответствующемучастке. Это достигается пропусканием через обмотки электромагнитов токов, вырабатываемых блоком управления, обратно пропорциональных величинам ЭДС, наводимых в соответствующих обмотках считывания и подаваемых на вход блока управления (не показан),Кроме этого, блок управления обеспечивает в процессе обработки многократное чередование контроля и исправления неплоскопараллельности детали, Во время контроля блок управления отключает электромагнитную систему нагружения для фиксирования реальной формы детали и исключения влияния сильного магнитного поля электромагнитов на магнитное поле датчика перекоса. В это же время производится установка соответствующих токов для электромагнитов системы нагружения по результатам измерения ЭДС, наводимых в катушках считывания. Во время же исправления 5 неплоскопараллельности отключаетсядатчик перекоса и производится обработка с нагружением, заданным предшествующим контролем. Кроме того,время контроля, время исправления 10 неплоскопараллельности в каждом цикле и количество циклов зависят отрежимов, условий обработки и требуемой точности, предъявляемой к геометрической форме детали.15 Электрическая связь между блокомуправления и обмотками датчика перекоса и электромагнитами, расположенными на вращающейся в процессе об работки кассете, осуществляется чере 3токосъемник (не показан).