Устройство для присоединения полупроводниковых кристаллов

(51)4 В 23 К 3/00 РЕТЕНИВУ ОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЬГГИЙ ИСАНИЕ ИЗОБ ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬС(54)(57) 1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПРИСОЕДИНЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ КРИСТАЛЛОк корпусам приборов, содержащееблоки нагревания и охлаждения, ин(струмент с вакуумной присоской дляудержания кристаллов и приспособление для размещения корпусов приборов, о т л и ч а ю щ е е с я тем,что, с целью повышения качествапаяемых изделий путем создания не 801222451 А обходимого градиента температур при их нагревании и охлаждении и сокраще" ния расхода золота,. оно снабжено тепло распределяющим средством с расположен ными в нем блоками нагревания и охлаждения, в теплораспределяющем средстве выполнена профилированная кольцевая проточка, в которой установлено приспособление для размещения корпусов приборов, выполненное в виде кольца, с возможностью перемещения в кольцевой проточке.2. Устройство по п. 1, о т л ич а ю щ е е с я тем, что, с целью обеспечения возможности заполнения теплораспределяющего средства инертным газом, оно снабжено крышкой с загрузочно-выгрузочным окном для установки корпусов приборов и отверстием для ввода инструмента с кристаллом.бора заходит в зону максимального нагрева под отверстие 12, через которое инструментом 13 производится посадка кристаллов на корпус прибора. Последний с припаянным кристаллом, периодически передвигаясь с позиции на позицию, постепенно охлаждается, попадает в зону интенсивного охлаждения под загрузочновыгрузочное. окно 9, где охлаждается до необходимой температуры и выгружается. В освободившееся гнездо загружают очередной корпус. Цикл повторяется. Устройство может работать в автоматическом режиме.В теплораспределяющем средстве для создания необходимого градиента температур при пайке приборов и их охлаждении блок нагрева смещен в сторону загрузки корпусов элементов против хода перемещаемых элементов, а блок охлаждения смещен в сторону места пайки также против хода перемещаемых элементов, причем зоны максимально отдаваемой мощности нагрева 1и максимальный теплосъем приходятся соответственно на зоны пайки элемента и его выгрузки.Инертный газ, подаваемый при неЗо большом избыточном давлении, препятствуетт попаданию в устройство воздуха. Уплотняющая графитовая вставка10, помещенная между крьппкой и поворотным кольцом 5 служит для уменьшения утечки газа через верхнюю частьзагрузочно-выгрузочного окна.Устройство для присоединенияполупроводниковых кристаллов череззолотокремниевую эвтектику методомпайки за счет контактного плавленияк основаниям локально золоченыхкорпусов СВЧ-транзисторов позволя"ют получить высококачественные соединения системы кристалл-основаниес обеспечением надлежащего внешнеговида и качества никельсодержащегопокрытия, нанесенного. на осгальнуюповерхность корпусов,Использование изобретения дляпайки кристаллов только, например,к локально золоченным корпусамКТтранзисторов позволяет получитьэкономию золота в количестве 46 кгна каждый миллион штук корпусов. 1222451Изобретение относится к техноло-гическому оборудованию для сборкиполупроводниковых приборов, в частности к устройствам для присоединения полупроводниковых кристалловчерез золотокремниевую эвтектикуи основаниям корпусов СВЧ-транзисторов.Цель изобретения - повышение качества паяемых изделий путем созда Ония необходимого градиента температур при их нагревании и охлаждениии сокращение расхода золота напокрытие корпусов, а также обеспечение возможности заполнения теплораспределяющего средства инертнымгазом,1На фиг. 1 приведено устройство,разрез, на фиг. 2 - сечение устройства А-А на фиг. 1. 20Устройство для присоединениякристаллов состоит из теплораспределяющего средства 1 с профильнойкольцевой проточкой 2, блоком 3 нагрева и блоком 4 охлаждения. В кольцевой проточке теплораспределяющегосредства размещено кольцо 5 с гнездами 6 для корпусов приборов 7.Теплораспределяющее средство закрыто крышкой 8 с загрузочно-выгрузочным окном 9, уплотненным графитовойвставкой 10 и кварцевь 1 м стеклом длянаблюдения 11 с отверстием 12 дляввода инструмента 13. Для поворотакольца с изделиями имеется вал 14с водилом 15.Устройство работает следующимобразом.Производится включение нагревателей блока 3 и подача воды в.блок 4 О4 охлаждения. Одновременно подаетсяинертный газ, в полость кольцевойпроточки 2 теплораспределяющегосредства 1. После чего корпус прибора 7 через загрузочно-выгрузочное 4окно 9 устанавливают в гнездо. Затем водилом 15 через вал 14 от механизма, работающего по программе(не показан) поворачивается кольцо5, подводя следующее гнездо подзагрузочно-выгрузочное окно и производится установка следующего корпуса. При прохождении ряда позиций,постепенно нагреваясь, корпус при